ເຕົາຄິດຕັນດຽວແມ່ນອຸປະກອນທີ່ໃຊ້ aເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ graphiteການລະລາຍວັດສະດຸຊິລິຄອນ polycrystalline ໃນສະພາບແວດລ້ອມອາຍແກັສ inert (argon) ແລະນໍາໃຊ້ວິທີການ Czochralski ການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນດຽວທີ່ບໍ່ dislocated. ມັນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບດ້ວຍລະບົບດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້:
ລະບົບສາຍສົ່ງກົນຈັກ
ລະບົບສາຍສົ່ງກົນຈັກແມ່ນລະບົບປະຕິບັດງານພື້ນຖານຂອງເຕົາອົບໄປເຊຍກັນດຽວ, ເຊິ່ງສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຮັບຜິດຊອບໃນການຄວບຄຸມການເຄື່ອນໄຫວຂອງໄປເຊຍກັນແລະ.crucibles, ລວມທັງການຍົກແລະການຫມຸນຂອງໄປເຊຍກັນຂອງແກ່ນແລະການຍົກແລະການຫມຸນຂອງ.crucibles. ມັນຢ່າງຖືກຕ້ອງສາມາດປັບຕົວກໍານົດການເຊັ່ນ: ຕໍາແຫນ່ງ, ຄວາມໄວແລະມຸມຫມຸນຂອງໄປເຊຍກັນແລະ crucibles ເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມຄືບຫນ້າກ້ຽງຂອງຂະບວນການການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ. ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, ໃນຂັ້ນຕອນການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນທີ່ແຕກຕ່າງກັນເຊັ່ນ: ແກ່ນ, ຄໍ, ບ່າ, ການຂະຫຍາຍຕົວເສັ້ນຜ່າກາງເທົ່າທຽມກັນແລະຫາງ, ການເຄື່ອນໄຫວຂອງໄປເຊຍກັນຂອງເມັດແລະ crucibles ຕ້ອງໄດ້ຮັບການຄວບຄຸມຢ່າງຖືກຕ້ອງໂດຍລະບົບນີ້ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການຂອງການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ.
ລະບົບຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຄວາມຮ້ອນ
ນີ້ແມ່ນຫນຶ່ງໃນລະບົບຫຼັກຂອງ furnace ໄປເຊຍກັນດຽວ, ເຊິ່ງຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອສ້າງຄວາມຮ້ອນແລະຄວບຄຸມອຸນຫະພູມໃນ furnace ໄດ້ຢ່າງຖືກຕ້ອງ. ມັນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນປະກອບດ້ວຍອົງປະກອບເຊັ່ນ: ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ, ເຊັນເຊີອຸນຫະພູມ, ແລະເຄື່ອງຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ. ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນມັກຈະເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸເຊັ່ນ graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ. ຫຼັງຈາກກະແສໄຟຟ້າສະຫຼັບໄດ້ຖືກປ່ຽນແລະຫຼຸດລົງເພື່ອເພີ່ມກະແສໄຟຟ້າ, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນຈະສ້າງຄວາມຮ້ອນເພື່ອລະລາຍວັດສະດຸ polycrystalline ເຊັ່ນ polysilicon ໃນ crucible. ເຊັນເຊີອຸນຫະພູມຕິດຕາມກວດກາການປ່ຽນແປງຂອງອຸນຫະພູມໃນ furnace ໃນເວລາທີ່ແທ້ຈິງແລະສົ່ງສັນຍານອຸນຫະພູມກັບເຄື່ອງຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ. ຕົວຄວບຄຸມອຸນຫະພູມໄດ້ຢ່າງຖືກຕ້ອງຄວບຄຸມພະລັງງານຄວາມຮ້ອນຕາມຕົວກໍານົດການອຸນຫະພູມທີ່ກໍານົດໄວ້ແລະສັນຍານອຸນຫະພູມຄໍາຄຶດຄໍາເຫັນ, ດັ່ງນັ້ນການຮັກສາຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມໃນ furnace ແລະສະຫນອງສະພາບແວດລ້ອມອຸນຫະພູມທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ.
ລະບົບສູນຍາກາດ
ຫນ້າທີ່ຕົ້ນຕໍຂອງລະບົບສູນຍາກາດແມ່ນການສ້າງແລະຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດໃນ furnace ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ. ອາຍແກັສອາກາດແລະ impurity ໃນ furnace ໄດ້ຖືກສະກັດຜ່ານປັ໊ມສູນຍາກາດແລະອຸປະກອນອື່ນໆເພື່ອເຮັດໃຫ້ຄວາມກົດດັນອາຍແກັສໃນ furnace ບັນລຸລະດັບຕ່ໍາທີ່ສຸດ, ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວຕ່ໍາກວ່າ 5TOR (torr). ນີ້ສາມາດປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ວັດສະດຸຊິລິໂຄນຖືກ oxidized ໃນອຸນຫະພູມສູງແລະຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດແລະຄຸນນະພາບຂອງການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ. ໃນຂະນະດຽວກັນ, ສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດຍັງເອື້ອອໍານວຍຕໍ່ການກໍາຈັດສິ່ງເສດເຫຼືອທີ່ລະເຫີຍທີ່ສ້າງຂຶ້ນໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກແລະປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງໄປເຊຍກັນ.
ລະບົບ Argon
ລະບົບ argon ມີບົດບາດໃນການປົກປ້ອງແລະຄວບຄຸມຄວາມກົດດັນໃນ furnace ໃນ furnace ໄປເຊຍກັນດຽວ. ຫຼັງຈາກສູນຍາກາດ, ອາຍແກັສ argon ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (ຄວາມບໍລິສຸດຕ້ອງສູງກວ່າ 6 9) ເຂົ້າໄປໃນເຕົາ. ໃນອີກດ້ານຫນຶ່ງ, ມັນສາມາດປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ອາກາດພາຍນອກເຂົ້າໄປໃນ furnace ແລະປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ວັດສະດຸຊິລິໂຄນຖືກ oxidized; ໃນອີກດ້ານຫນຶ່ງ, ການຕື່ມຂອງອາຍແກັສ argon ສາມາດຮັກສາຄວາມກົດດັນໃນ furnace ຫມັ້ນຄົງແລະສະຫນອງສະພາບແວດລ້ອມຄວາມກົດດັນທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ. ນອກຈາກນັ້ນ, ການໄຫຼເຂົ້າຂອງອາຍແກັສ argon ຍັງສາມາດເອົາຄວາມຮ້ອນທີ່ຜະລິດໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກ, ມີບົດບາດເຮັດຄວາມເຢັນທີ່ແນ່ນອນ.
ລະບົບລະບາຍນ້ໍາ
ຫນ້າທີ່ຂອງລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນນ້ໍາແມ່ນເພື່ອເຮັດຄວາມເຢັນອົງປະກອບຕ່າງໆຂອງອຸນຫະພູມສູງຂອງ furnace ໄປເຊຍກັນດຽວເພື່ອຮັບປະກັນການເຮັດວຽກປົກກະຕິແລະຊີວິດການບໍລິການຂອງອຸປະກອນ. ໃນລະຫວ່າງການປະຕິບັດງານຂອງ furnace ໄປເຊຍກັນດຽວ, ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ,crucible, electrode ແລະອົງປະກອບອື່ນໆຈະສ້າງຄວາມຮ້ອນຫຼາຍ. ຖ້າພວກມັນບໍ່ເຢັນໃນເວລາ, ອຸປະກອນຈະຮ້ອນເກີນໄປ, ຜິດປົກກະຕິຫຼືແມ້ກະທັ້ງເສຍຫາຍ. ລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນຂອງນ້ໍາເອົາຄວາມຮ້ອນຂອງອົງປະກອບເຫຼົ່ານີ້ໂດຍການໄຫຼວຽນຂອງນ້ໍາເຢັນເພື່ອຮັກສາອຸນຫະພູມຂອງອຸປະກອນພາຍໃນຂອບເຂດທີ່ປອດໄພ. ໃນເວລາດຽວກັນ, ລະບົບເຮັດຄວາມເຢັນຂອງນ້ໍາຍັງສາມາດຊ່ວຍປັບອຸນຫະພູມໃນ furnace ເພື່ອປັບປຸງຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ.
ລະບົບຄວບຄຸມໄຟຟ້າ
ລະບົບການຄວບຄຸມໄຟຟ້າແມ່ນ "ສະຫມອງ" ຂອງ furnace ໄປເຊຍກັນດຽວ, ຮັບຜິດຊອບສໍາລັບການຕິດຕາມແລະການຄວບຄຸມການເຮັດວຽກຂອງອຸປະກອນທັງຫມົດ. ມັນສາມາດຮັບສັນຍານຈາກເຊັນເຊີຕ່າງໆ, ເຊັ່ນເຊັນເຊີອຸນຫະພູມ, ເຊັນເຊີຄວາມກົດດັນ, ເຊັນເຊີຕໍາແຫນ່ງ, ແລະອື່ນໆ, ແລະປະສານງານແລະຄວບຄຸມລະບົບສາຍສົ່ງກົນຈັກ, ລະບົບຄວບຄຸມອຸນຫະພູມຄວາມຮ້ອນ, ລະບົບສູນຍາກາດ, ລະບົບ argon ແລະລະບົບຄວາມເຢັນຂອງນ້ໍາໂດຍອີງໃສ່ສັນຍານເຫຼົ່ານີ້. ສໍາລັບຕົວຢ່າງ, ໃນລະຫວ່າງການຂະບວນການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ, ລະບົບການຄວບຄຸມໄຟຟ້າສາມາດປັບອັດຕະໂນມັດພະລັງງານຄວາມຮ້ອນຕາມສັນຍານອຸນຫະພູມທີ່ປ້ອນກັບຄືນໄປບ່ອນໂດຍເຊັນເຊີອຸນຫະພູມ; ອີງຕາມການຂະຫຍາຍຕົວຂອງໄປເຊຍກັນໄດ້, ມັນສາມາດຄວບຄຸມຄວາມໄວການເຄື່ອນໄຫວແລະມຸມຫມຸນຂອງໄປເຊຍກັນແກ່ນແລະ crucible. ໃນເວລາດຽວກັນ, ລະບົບການຄວບຄຸມໄຟຟ້າຍັງມີການວິນິດໄສຄວາມຜິດແລະຫນ້າທີ່ປຸກ, ເຊິ່ງສາມາດກວດພົບສະພາບຜິດປົກກະຕິຂອງອຸປະກອນໄດ້ທັນເວລາແລະຮັບປະກັນການດໍາເນີນງານທີ່ປອດໄພຂອງອຸປະກອນ.
ເວລາປະກາດ: ກັນຍາ-23-2024