ເຮືອກຣາຟ, ຊຶ່ງເອີ້ນກັນວ່າເຮືອ graphite, ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນຂະບວນການທີ່ສັບສົນຂອງການຜະລິດເຊລາມິກ semiconductor. ເຮືອພິເສດເຫຼົ່ານີ້ເຮັດຫນ້າທີ່ເປັນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການທີ່ເຊື່ອຖືໄດ້ສໍາລັບ wafers semiconductor ໃນລະຫວ່າງການປິ່ນປົວອຸນຫະພູມສູງ, ຮັບປະກັນການປຸງແຕ່ງທີ່ຊັດເຈນແລະຄວບຄຸມ. ດ້ວຍຄຸນລັກສະນະທີ່ເປັນເອກະລັກແລະການນໍາໃຊ້ທີ່ຫຼາກຫຼາຍ,ເຮືອກາຟໄດ້ກາຍເປັນເຄື່ອງມືທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor. ໃຫ້ສໍາຫຼວດລັກສະນະທີ່ສໍາຄັນທີ່ເຮັດໃຫ້ເຮືອກາຟອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນການຜະລິດເຊລາມິກ semiconductor.
1. ຄວາມທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ:
ເຮືອກາຟຜະລິດຈາກວັດສະດຸ graphite ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ມີຊື່ສຽງສໍາລັບການຕໍ່ຕ້ານຄວາມຮ້ອນພິເສດຂອງພວກເຂົາ. ຄຸນລັກສະນະນີ້ອະນຸຍາດໃຫ້ເຮືອ Graphite ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມທີ່ຮ້າຍແຮງທີ່ພົບໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຜະລິດ semiconductor, ເຊັ່ນ: ການປ່ອຍອາຍແກັສເຄມີ (CVD) ແລະການເຄືອບຊິລິຄອນ carbide. ຄວາມສາມາດໃນການຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງທາງດ້ານມິຕິພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂຄວາມຮ້ອນທີ່ຮຸນແຮງແມ່ນສໍາຄັນສໍາລັບການຮັບປະກັນການຜະລິດ semiconductor ທີ່ສອດຄ່ອງແລະເຊື່ອຖືໄດ້.
2. ຄວາມອິດເມື່ອຍທາງເຄມີ:
Graphite, ວັດສະດຸຕົ້ນຕໍທີ່ໃຊ້ໃນເຮືອກາຟ, ສະແດງໃຫ້ເຫັນ inertness ສານເຄມີທີ່ໂດດເດັ່ນ, ເຮັດໃຫ້ມັນທົນທານຕໍ່ກັບ corrosion ແລະປະຕິກິລິຍາເຄມີ. ລັກສະນະນີ້ແມ່ນໄດ້ປຽບໂດຍສະເພາະໃນການຜະລິດເຊລາມິກ semiconductor, ບ່ອນທີ່ສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງແລະທາດອາຍຜິດປະຕິກິລິຍາມັກຈະຖືກນໍາໃຊ້. ເຮືອ Graphite ສະຫນອງສະພາບແວດລ້ອມປ້ອງກັນສໍາລັບ wafers semiconductor, ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນແລະຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດຂອງຜະລິດຕະພັນສຸດທ້າຍ.
3. ການຄວບຄຸມມິຕິລະດັບທີ່ຊັດເຈນ:
ເຮືອກາຟໄດ້ຖືກອອກແບບດ້ວຍຄວາມແມ່ນຍໍາເພື່ອຮອງຮັບ wafers semiconductor ຂອງຂະຫນາດແລະຮູບຮ່າງທີ່ແຕກຕ່າງກັນ. ການອອກແບບທີ່ປັບແຕ່ງໄດ້ຂອງເຂົາເຈົ້າອະນຸຍາດໃຫ້ມີການຄວບຄຸມມິຕິລະດັບທີ່ຊັດເຈນ, ຮັບປະກັນຄວາມເຫມາະສໍາລັບ wafers ແລະຫຼຸດຜ່ອນຄວາມສ່ຽງຕໍ່ຄວາມເສຍຫາຍໃນລະຫວ່າງການຈັດການແລະການປຸງແຕ່ງ. ລະດັບຄວາມແມ່ນຍໍານີ້ເປັນສິ່ງຈໍາເປັນສໍາລັບການບັນລຸຄວາມຫນາຂອງການເຄືອບເອກະພາບແລະຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງເງິນຝາກໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor.
4. ຄວາມຫຼາກຫຼາຍໃນການນຳໃຊ້:
ເຮືອກາຟຊອກຫາການນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການຜະລິດ semiconductor ທີ່ຫຼາກຫຼາຍ, ລວມທັງ epitaxy, ການແຜ່ກະຈາຍ, annealing, ແລະ deposition ຮູບເງົາບາງໆ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນການສະຫນັບສະຫນູນຊິລິໂຄນ wafers ໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງຄວາມຮ້ອນຫຼືການອໍານວຍຄວາມສະດວກໃນການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຊັ້ນ epitaxial, ເຮືອ Graphite ສະເຫນີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືໃນທົ່ວຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ຫຼາກຫຼາຍ. ຄວາມສາມາດຂອງເຂົາເຈົ້າທີ່ຈະທົນກັບ exposure ແກ່ຍາວກັບອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມ corrosive ເຮັດໃຫ້ເຂົາເຈົ້າເຄື່ອງມື indispensable ໃນການຜະລິດ semiconductor ceramics.
5. ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງການເຄືອບ Silicon Carbide:
ເຮືອ Graphite ແມ່ນເຫມາະສົມດີສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການເຄືອບ silicon carbide (SiC), ອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນອຸປະກອນ semiconductor ກ້າວຫນ້າທາງດ້ານ. ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງ graphite ກັບ silicon carbide ຊ່ວຍໃຫ້ຊັ້ນ SiC ມີປະສິດທິພາບແລະເປັນເອກະພາບໃນຊັ້ນຍ່ອຍຂອງ semiconductor, ເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງອຸປະກອນແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື. ເຮືອ Graphite ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນການອໍານວຍຄວາມສະດວກໃນຂະບວນການຂອງເງິນຝາກ, ຮັບປະກັນການຄຸ້ມຄອງເອກະພາບແລະການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນກ່ຽວກັບຄວາມຫນາຂອງເຄືອບ.
ສະຫຼຸບແລ້ວ, ເຮືອ Graphite ເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນໃນການຜະລິດເຊລາມິກ semiconductor, ສະເຫນີການປະສົມປະສານທີ່ເປັນເອກະລັກຂອງຄວາມທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມທົນທານຂອງສານເຄມີ, ການຄວບຄຸມຂະຫນາດທີ່ຊັດເຈນ, ແລະຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ກັບການເຄືອບ silicon carbide. versatility ແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືຂອງເຂົາເຈົ້າເຮັດໃຫ້ເຄື່ອງມືທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ສໍາລັບຂະບວນການ fabrication semiconductor, ເຮັດໃຫ້ການຜະລິດອຸປະກອນ semiconductor ຄຸນນະພາບສູງແລະປະສິດທິພາບສູງ. ໃນຂະນະທີ່ເທກໂນໂລຍີ semiconductor ສືບຕໍ່ກ້າວຫນ້າ, ເຮືອ Graphite ຈະຍັງຄົງເປັນຊັບສິນທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້, ຂັບເຄື່ອນການປະດິດສ້າງແລະຄວາມກ້າວຫນ້າໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor.
ເວລາປະກາດ: 22-04-2024 ເມສາ