ຂະບວນການ BCD

ຂະບວນການ BCD ແມ່ນຫຍັງ?

ຂະບວນການ BCD ເປັນເທກໂນໂລຍີຂະບວນການປະສົມປະສານຊິບດຽວທີ່ນໍາສະເຫນີຄັ້ງທໍາອິດໂດຍ ST ໃນປີ 1986. ເຕັກໂນໂລຢີນີ້ສາມາດເຮັດໃຫ້ອຸປະກອນ bipolar, CMOS ແລະ DMOS ຢູ່ໃນຊິບດຽວກັນ. ຮູບລັກສະນະຂອງມັນຫຼຸດລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຂອງພື້ນທີ່ຂອງຊິບ.

ມັນສາມາດເວົ້າໄດ້ວ່າຂະບວນການ BCD ນໍາໃຊ້ຢ່າງເຕັມສ່ວນຄວາມໄດ້ປຽບຂອງຄວາມສາມາດໃນການຂັບລົດ Bipolar, ການເຊື່ອມໂຍງ CMOS ສູງແລະການໃຊ້ພະລັງງານຕ່ໍາ, ແລະ DMOS ແຮງດັນສູງແລະຄວາມສາມາດໃນການໄຫຼຂອງກະແສໄຟຟ້າສູງ. ໃນບັນດາພວກເຂົາ, DMOS ແມ່ນກຸນແຈສໍາລັບການປັບປຸງພະລັງງານແລະການເຊື່ອມໂຍງ. ດ້ວຍການພັດທະນາເພີ່ມເຕີມຂອງເຕັກໂນໂລຊີວົງຈອນປະສົມປະສານ, ຂະບວນການ BCD ໄດ້ກາຍເປັນເຕັກໂນໂລຊີການຜະລິດຕົ້ນຕໍຂອງ PMIC.

ແຜນວາດຂອງຂະບວນການ BCD, ເຄືອຂ່າຍແຫຼ່ງ, ຂອບໃຈ

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງຂະບວນການ BCD
ຂະບວນການ BCD ເຮັດໃຫ້ອຸປະກອນ Bipolar, ອຸປະກອນ CMOS, ແລະອຸປະກອນພະລັງງານ DMOS ຢູ່ໃນຊິບດຽວກັນໃນເວລາດຽວກັນ, ປະສົມປະສານຂອງ transconductance ສູງແລະຄວາມສາມາດໃນການຂັບລົດການໂຫຼດທີ່ເຂັ້ມແຂງຂອງອຸປະກອນ bipolar ແລະການເຊື່ອມໂຍງສູງແລະການບໍລິໂພກພະລັງງານຕ່ໍາຂອງ CMOS, ດັ່ງນັ້ນເຂົາເຈົ້າສາມາດປະກອບ. ເຊິ່ງກັນ ແລະ ກັນ ແລະ ໃຫ້ຫຼິ້ນຢ່າງເຕັມທີ່ເພື່ອປະໂຫຍດຂອງເຂົາເຈົ້າ; ໃນເວລາດຽວກັນ, DMOS ສາມາດເຮັດວຽກໃນໂຫມດສະຫຼັບດ້ວຍການບໍລິໂພກພະລັງງານຕ່ໍາທີ່ສຸດ. ໃນສັ້ນ, ການນໍາໃຊ້ພະລັງງານຕ່ໍາ, ປະສິດທິພາບພະລັງງານສູງແລະການເຊື່ອມໂຍງສູງແມ່ນຫນຶ່ງໃນຂໍ້ໄດ້ປຽບຕົ້ນຕໍຂອງ BCD. ຂະບວນການ BCD ສາມາດຫຼຸດຜ່ອນການບໍລິໂພກພະລັງງານຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ປັບປຸງການປະຕິບັດລະບົບແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືທີ່ດີກວ່າ. ຫນ້າທີ່ຂອງຜະລິດຕະພັນເອເລັກໂຕຣນິກແມ່ນນັບມື້ນັບເພີ່ມຂຶ້ນ, ແລະຂໍ້ກໍານົດຂອງການປ່ຽນແປງແຮງດັນ, ການປົກປ້ອງ capacitor ແລະການຂະຫຍາຍອາຍຸຂອງຫມໍ້ໄຟແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນເພີ່ມຂຶ້ນ. ລັກສະນະຄວາມໄວສູງແລະປະຫຍັດພະລັງງານຂອງ BCD ຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການສໍາລັບຊິບການຄຸ້ມຄອງການປຽບທຽບ / ພະລັງງານທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ.

ເຕັກໂນໂລຢີຫຼັກຂອງຂະບວນການ BCD
ອຸປະກອນທົ່ວໄປຂອງຂະບວນການ BCD ປະກອບມີ CMOS ແຮງດັນຕ່ໍາ, ທໍ່ MOS ແຮງດັນສູງ, LDMOS ທີ່ມີແຮງດັນແຕກແຍກຕ່າງໆ, ແນວຕັ້ງ NPN / PNP ແລະ Schottky diodes, ແລະອື່ນໆ. ຂະບວນການຈໍານວນຫນຶ່ງຍັງປະສົມປະສານອຸປະກອນເຊັ່ນ JFET ແລະ EEPROM, ເຊິ່ງກໍ່ໃຫ້ເກີດຄວາມຫລາກຫລາຍຂອງ. ອຸປະກອນໃນຂະບວນການ BCD. ດັ່ງນັ້ນ, ນອກເຫນືອຈາກການພິຈາລະນາຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງອຸປະກອນແຮງດັນສູງແລະອຸປະກອນແຮງດັນຕ່ໍາ, ຂະບວນການຄລິກສອງຄັ້ງແລະຂະບວນການ CMOS, ແລະອື່ນໆໃນການອອກແບບ, ເຕັກໂນໂລຢີການໂດດດ່ຽວທີ່ເຫມາະສົມຍັງຕ້ອງໄດ້ຮັບການພິຈາລະນາ.

ໃນເທກໂນໂລຍີການໂດດດ່ຽວ BCD, ເຕັກໂນໂລຢີຫຼາຍຢ່າງເຊັ່ນ: ການໂດດດ່ຽວທາງແຍກ, ການໂດດດ່ຽວຕົນເອງແລະການໂດດດ່ຽວຂອງ dielectric ໄດ້ປະກົດຕົວຫນຶ່ງຫຼັງຈາກທີ່ອື່ນ. ເຕັກໂນໂລຍີການໂດດດ່ຽວຂອງ Junction ແມ່ນເພື່ອເຮັດໃຫ້ອຸປະກອນຢູ່ໃນຊັ້ນ epitaxial N-type ຂອງ substrate P-type ແລະນໍາໃຊ້ຄຸນລັກສະນະຂອງຄວາມລໍາອຽງປີ້ນກັບກັນຂອງ PN junction ເພື່ອບັນລຸຄວາມໂດດດ່ຽວ, ເນື່ອງຈາກວ່າ PN junction ມີຄວາມຕ້ານທານສູງຫຼາຍພາຍໃຕ້ຄວາມລໍາອຽງປີ້ນກັບກັນ.

ເທັກໂນໂລຍີການໂດດດ່ຽວດ້ວຍຕົນເອງແມ່ນຄວາມໂດດດ່ຽວຂອງ PN junction, ເຊິ່ງອີງໃສ່ຄຸນລັກສະນະທາງເຊື່ອມຕໍ່ PN ທໍາມະຊາດລະຫວ່າງພື້ນທີ່ແຫຼ່ງແລະທໍ່ລະບາຍນ້ໍາຂອງອຸປະກອນແລະຊັ້ນຍ່ອຍເພື່ອບັນລຸການໂດດດ່ຽວ. ເມື່ອທໍ່ MOS ຖືກເປີດໃຊ້, ພາກພື້ນແຫຼ່ງ, ພື້ນທີ່ລະບາຍນ້ໍາແລະຊ່ອງທາງຖືກລ້ອມຮອບດ້ວຍພື້ນທີ່ການທໍາລາຍ, ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມໂດດດ່ຽວຈາກຊັ້ນຍ່ອຍ. ໃນເວລາທີ່ມັນຖືກປິດ, ຈຸດເຊື່ອມຕໍ່ PN ລະຫວ່າງພື້ນທີ່ລະບາຍນ້ໍາແລະ substrate ມີຄວາມລໍາອຽງປີ້ນກັບກັນ, ແລະແຮງດັນສູງຂອງພາກພື້ນແຫຼ່ງແມ່ນໂດດດ່ຽວໂດຍພາກພື້ນ depletion.

Dielectric isolation ໃຊ້ສື່ insulating ເຊັ່ນຊິລິຄອນ oxide ເພື່ອບັນລຸຄວາມໂດດດ່ຽວ. ໂດຍອີງໃສ່ການໂດດດ່ຽວ dielectric ແລະການໂດດດ່ຽວ junction, ການໂດດດ່ຽວ quasi-dielectric ໄດ້ຖືກພັດທະນາໂດຍການລວມເອົາຂໍ້ດີຂອງທັງສອງ. ໂດຍການເລືອກເອົາເຕັກໂນໂລຢີການໂດດດ່ຽວຂ້າງເທິງ, ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງແຮງດັນສູງແລະແຮງດັນຕ່ໍາສາມາດບັນລຸໄດ້.

ທິດທາງການພັດທະນາຂອງຂະບວນການ BCD
ການພັດທະນາເຕັກໂນໂລຢີຂອງຂະບວນການ BCD ບໍ່ຄືກັບຂະບວນການ CMOS ມາດຕະຖານ, ເຊິ່ງສະເຫມີປະຕິບັດຕາມກົດຫມາຍຂອງ Moore ເພື່ອພັດທະນາໃນທິດທາງຂອງຄວາມກວ້າງຂອງເສັ້ນຂະຫນາດນ້ອຍກວ່າແລະຄວາມໄວທີ່ໄວກວ່າ. ຂະບວນການ BCD ແມ່ນແຕກຕ່າງກັນປະມານແລະພັດທະນາໃນສາມທິດທາງ: ແຮງດັນສູງ, ພະລັງງານສູງ, ແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ.

1. ທິດທາງ BCD ແຮງດັນສູງ

BCD ແຮງດັນສູງສາມາດຜະລິດວົງຈອນຄວບຄຸມແຮງດັນຕ່ໍາທີ່ມີຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖືສູງແລະວົງຈອນລະດັບ DMOS ແຮງດັນສູງສູງສຸດຢູ່ໃນຊິບດຽວກັນໃນເວລາດຽວກັນ, ແລະສາມາດຮັບຮູ້ການຜະລິດອຸປະກອນແຮງດັນສູງ 500-700V. ຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ໂດຍທົ່ວໄປ, BCD ແມ່ນຍັງເຫມາະສົມສໍາລັບຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄວາມຕ້ອງການຂ້ອນຂ້າງສູງສໍາລັບອຸປະກອນພະລັງງານ, ໂດຍສະເພາະແມ່ນອຸປະກອນ BJT ຫຼື DMOS ສູງ, ແລະສາມາດນໍາໃຊ້ສໍາລັບການຄວບຄຸມໄຟຟ້າໃນແສງສະຫວ່າງເອເລັກໂຕຣນິກແລະຄໍາຮ້ອງສະຫມັກອຸດສາຫະກໍາ.

ເຕັກໂນໂລຢີໃນປະຈຸບັນສໍາລັບການຜະລິດ BCD ແຮງດັນສູງແມ່ນເຕັກໂນໂລຢີ RESURF ທີ່ສະເຫນີໂດຍ Appel et al. ໃນປີ 1979. ອຸປະກອນໄດ້ຖືກຜະລິດໂດຍໃຊ້ຊັ້ນ epitaxial doped lightly ເພື່ອເຮັດໃຫ້ການແຜ່ກະຈາຍຂອງພາກສະຫນາມໄຟຟ້າພື້ນຜິວ flatter, ດັ່ງນັ້ນການປັບປຸງລັກສະນະການແຕກຫັກຂອງພື້ນຜິວ, ດັ່ງນັ້ນການແຕກຫັກເກີດຂຶ້ນໃນຮ່າງກາຍແທນທີ່ຈະເປັນພື້ນຜິວ, ດັ່ງນັ້ນການເພີ່ມແຮງດັນການທໍາລາຍຂອງອຸປະກອນ. ການ doping ແສງແມ່ນວິທີການເພີ່ມແຮງດັນການທໍາລາຍຂອງ BCD. ມັນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ DDD ທໍ່ລະບາຍນ້ໍາສອງເທົ່າ (Double Doping Drain) ແລະການລະບາຍນ້ໍາຈືດໆ LDD (ເລັກນ້ອຍ Doping Drain). ໃນເຂດລະບາຍນ້ໍາ DMOS, ພາກພື້ນ drift N-type ໄດ້ຖືກເພີ່ມເພື່ອປ່ຽນການຕິດຕໍ່ຕົ້ນສະບັບລະຫວ່າງ N+ drain ແລະ P-type substrate ກັບການຕິດຕໍ່ລະຫວ່າງ N- drain ແລະ substrate P-type, ດັ່ງນັ້ນການເພີ່ມແຮງດັນການທໍາລາຍ.

2. ທິດທາງ BCD ພະລັງງານສູງ

ລະດັບແຮງດັນຂອງ BCD ພະລັງງານສູງແມ່ນ 40-90V, ແລະມັນຖືກນໍາໃຊ້ຕົ້ນຕໍໃນອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກຂອງລົດຍົນທີ່ຕ້ອງການຄວາມສາມາດໃນການຂັບຂີ່ໃນປະຈຸບັນສູງ, ແຮງດັນກາງແລະວົງຈອນຄວບຄຸມງ່າຍດາຍ. ຄຸນລັກສະນະຄວາມຕ້ອງການຂອງມັນແມ່ນຄວາມສາມາດໃນການຂັບຂີ່ໃນປະຈຸບັນສູງ, ແຮງດັນຂະຫນາດກາງ, ແລະວົງຈອນຄວບຄຸມມັກຈະຂ້ອນຂ້າງງ່າຍດາຍ.

3. ທິດທາງ BCD ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ

BCD ທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ, ລະດັບແຮງດັນແມ່ນ 5-50V, ແລະບາງເອເລັກໂຕຣນິກໃນລົດຍົນຈະບັນລຸ 70V. ຫຼາຍແລະຫຼາຍຫນ້າທີ່ສະລັບສັບຊ້ອນແລະຫຼາກຫຼາຍສາມາດໄດ້ຮັບການປະສົມປະສານຢູ່ໃນຊິບດຽວກັນ. BCD ທີ່ມີຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງຮັບຮອງເອົາບາງແນວຄວາມຄິດການອອກແບບແບບໂມດູນເພື່ອບັນລຸຄວາມຫຼາກຫຼາຍຂອງຜະລິດຕະພັນ, ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກເອເລັກໂຕຣນິກລົດຍົນ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕົ້ນຕໍຂອງຂະບວນການ BCD

ຂະບວນການ BCD ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນການຄຸ້ມຄອງພະລັງງານ (ການຄວບຄຸມພະລັງງານແລະຫມໍ້ໄຟ), ໄດຈໍສະແດງຜົນ, ເຄື່ອງເອເລັກໂຕຣນິກລົດຍົນ, ການຄວບຄຸມອຸດສາຫະກໍາ, ແລະອື່ນໆ chip ການຄຸ້ມຄອງພະລັງງານ (PMIC) ແມ່ນຫນຶ່ງໃນປະເພດທີ່ສໍາຄັນຂອງຊິບອະນາລັອກ. ການປະສົມປະສານຂອງຂະບວນການ BCD ແລະເຕັກໂນໂລຢີ SOI ຍັງເປັນລັກສະນະທີ່ສໍາຄັນຂອງການພັດທະນາຂະບວນການ BCD.

VET-China ສາມາດສະຫນອງຊິ້ນສ່ວນ graphite, softrigid ຮູ້ສຶກວ່າ, ຊິ້ນສ່ວນ silicon carbide, ຊິ້ນສ່ວນ silicon carbide cvD, ແລະຊິ້ນສ່ວນເຄືອບ sic / Tac ພາຍໃນ 30 ມື້.
ຖ້າທ່ານສົນໃຈຜະລິດຕະພັນ semiconductor ຂ້າງເທິງ, ກະລຸນາຢ່າລັງເລທີ່ຈະຕິດຕໍ່ພວກເຮົາໃນຄັ້ງທໍາອິດ.

ໂທ:+86-1891 1596 392
WhatsApp: 86-18069021720
ອີເມວ:yeah@china-vet.com