ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກແລະຄຸນລັກສະນະຂອງການເຄືອບ CVD silicon carbide

Silicon carbide (SiC)ເປັນວັດສະດຸທົນທານສູງທີ່ຮູ້ຈັກສໍາລັບການແຂງດີກວ່າຂອງຕົນ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນສູງ, ແລະທົນທານຕໍ່ການ corrosion ສານເຄມີ. ໃນບັນດາວິທີການຕ່າງໆເພື່ອນໍາໃຊ້ SiC ເທິງຫນ້າດິນ,ການເຄືອບ CVD SiC(ການປ່ອຍອາຍພິດທາງເຄມີຂອງ silicon carbide) ໂດດເດັ່ນຍ້ອນຄວາມສາມາດໃນການສ້າງເອກະພາບ, ການເຄືອບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງດ້ວຍການຍຶດເກາະທີ່ດີເລີດ. ເທັກໂນໂລຍີນີ້ແມ່ນມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍສຳລັບການນຳໃຊ້ອຸດສາຫະກຳທີ່ຫຼາກຫຼາຍ, ໂດຍສະເພາະໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ສານເຄມີທີ່ຮຸນແຮງ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງການເຄືອບ CVD SiC

ໄດ້ການເຄືອບ CVD SiCຂະ​ບວນ​ການ​ໄດ້​ຖືກ​ນໍາ​ໃຊ້​ຢ່າງ​ກວ້າງ​ຂວາງ​ໃນ​ທົ່ວ​ອຸດ​ສາ​ຫະ​ກໍາ​ຈໍາ​ນວນ​ຫນຶ່ງ​ເນື່ອງ​ຈາກ versatility ແລະ​ຜົນ​ປະ​ໂຫຍດ​ການ​ປະ​ຕິ​ບັດ​ຂອງ​ຕົນ​. ຫນຶ່ງໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕົ້ນຕໍແມ່ນຢູ່ໃນການຜະລິດ semiconductor, ບ່ອນທີ່ອົງປະກອບທີ່ເຄືອບ SiC ຊ່ວຍປົກປ້ອງພື້ນຜິວທີ່ລະອຽດອ່ອນໃນລະຫວ່າງການປຸງແຕ່ງ wafer. ອຸປະກອນທີ່ເຄືອບ CVD SiC, ເຊັ່ນ: susceptors, rings, ແລະ wafer carriers, ຮັບປະກັນຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມສູງແລະປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນໃນລະຫວ່າງຂັ້ນຕອນການຜະລິດທີ່ສໍາຄັນ.

ໃນ​ອຸດ​ສາ​ຫະ​ກໍາ​ອະ​ວະ​ກາດ​,ການເຄືອບ CVD SiCຖືກນໍາໃຊ້ກັບສ່ວນປະກອບສໍາຜັດກັບຄວາມຮ້ອນທີ່ຮຸນແຮງແລະຄວາມກົດດັນກົນຈັກ. ການເຄືອບຊ່ວຍຂະຫຍາຍຊີວິດຂອງແຜ່ນໃບຄ້າຍຄື turbine ແລະຫ້ອງເຜົາໃຫມ້, ເຊິ່ງເຮັດວຽກພາຍໃຕ້ສະພາບທີ່ຮຸນແຮງ. ນອກຈາກນັ້ນ, CVD SiC ຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປໃນການຜະລິດກະຈົກແລະອຸປະກອນ optical ເນື່ອງຈາກຄຸນສົມບັດສະທ້ອນແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຄວາມຮ້ອນຂອງມັນ.

ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທີ່ສໍາຄັນອີກອັນຫນຶ່ງຂອງ CVD SiC ແມ່ນຢູ່ໃນອຸດສາຫະກໍາເຄມີ. ທີ່ນີ້, ການເຄືອບ SiC ປົກປ້ອງອົງປະກອບເຊັ່ນ: ເຄື່ອງແລກປ່ຽນຄວາມຮ້ອນ, ປະທັບຕາ, ແລະປັ໊ມຈາກສານກັດກ່ອນ. ພື້ນຜິວ SiC ຍັງບໍ່ໄດ້ຮັບຜົນກະທົບຈາກອາຊິດແລະຖານ, ເຮັດໃຫ້ມັນເຫມາະສົມສໍາລັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຄວາມທົນທານຂອງສານເຄມີເປັນສິ່ງຈໍາເປັນ.

CVD Epitaxial Deposition ໃນ Barrel Reactor

ຄຸນລັກສະນະຂອງການເຄືອບ CVD SiC

ຄຸນສົມບັດຂອງການເຄືອບ CVD SiC ແມ່ນສິ່ງທີ່ເຮັດໃຫ້ມັນມີປະສິດທິພາບສູງໃນຄໍາຮ້ອງສະຫມັກເຫຼົ່ານີ້. ຫນຶ່ງໃນລັກສະນະຕົ້ນຕໍຂອງມັນແມ່ນຄວາມແຂງຂອງມັນ, ຈັດອັນດັບຢູ່ໃກ້ກັບເພັດໃນຂະຫນາດຄວາມແຂງຂອງ Mohs. ຄວາມແຂງກະດ້າງນີ້ເຮັດໃຫ້ການເຄືອບ CVD SiC ມີຄວາມທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່ແລະການຂັດ, ເຮັດໃຫ້ພວກມັນເຫມາະສົມກັບສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີແຮງບິດສູງ.

ນອກຈາກນັ້ນ, SiC ມີການນໍາຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ເຊິ່ງອະນຸຍາດໃຫ້ອົງປະກອບເຄືອບເພື່ອຮັກສາຄວາມສົມບູນຂອງເຂົາເຈົ້າເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງ. ນີ້ແມ່ນສິ່ງທີ່ສໍາຄັນໂດຍສະເພາະໃນການນໍາໃຊ້ semiconductor ແລະ aerospace, ບ່ອນທີ່ວັດສະດຸຕ້ອງທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ສຸດໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຄວາມເຂັ້ມແຂງຂອງໂຄງສ້າງ.

ຄວາມອິດເມື່ອຍທາງເຄມີຂອງການເຄືອບ CVD SiC ແມ່ນອີກປະໂຫຍດທີ່ໂດດເດັ່ນ. ມັນຕ້ານການຜຸພັງ, ການກັດກ່ອນແລະປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີກັບສານທີ່ຮຸກຮານ, ເຮັດໃຫ້ມັນເປັນເຄື່ອງເຄືອບທີ່ເຫມາະສົມສໍາລັບອຸປະກອນການປຸງແຕ່ງເຄມີ. ຍິ່ງໄປກວ່ານັ້ນ, ຄ່າສໍາປະສິດຕ່ໍາຂອງການຂະຫຍາຍຄວາມຮ້ອນຂອງມັນຮັບປະກັນວ່າຫນ້າດິນທີ່ເຄືອບຈະຮັກສາຮູບຮ່າງແລະການເຮັດວຽກຂອງເຂົາເຈົ້າເຖິງແມ່ນວ່າພາຍໃຕ້ສະພາບວົງຈອນຄວາມຮ້ອນ.

ສະຫຼຸບ

ສະຫຼຸບສັງລວມ, ການເຄືອບ CVD SiC ສະຫນອງການແກ້ໄຂທີ່ທົນທານ, ປະສິດທິພາບສູງສໍາລັບອຸດສາຫະກໍາທີ່ຕ້ອງການວັດສະດຸທີ່ສາມາດທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ສຸດ, ຄວາມກົດດັນກົນຈັກ, ແລະການກັດກ່ອນຂອງສານເຄມີ. ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງມັນຕັ້ງແຕ່ການຜະລິດ semiconductor ໄປສູ່ການບິນອະວະກາດແລະການປຸງແຕ່ງສານເຄມີ, ບ່ອນທີ່ຄຸນສົມບັດຂອງ SiC - ເຊັ່ນຄວາມແຂງ, ຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີ - ແມ່ນສໍາຄັນຕໍ່ຄວາມສໍາເລັດຂອງການດໍາເນີນງານ. ໃນຂະນະທີ່ອຸດສາຫະກໍາສືບຕໍ່ຊຸກຍູ້ຂອບເຂດຂອງການປະຕິບັດແລະຄວາມຫນ້າເຊື່ອຖື, ການເຄືອບ CVD SiC ຈະຍັງຄົງເປັນເຕັກໂນໂລຢີທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການເພີ່ມຄວາມທົນທານຂອງອົງປະກອບແລະອາຍຸຍືນ.

ໂດຍການໃຊ້ຄວາມຊໍານານຂອງຜູ້ຜະລິດພິເສດເຊັ່ນ: vet-china, ບໍລິສັດສາມາດໄດ້ຮັບສານເຄືອບ CVD SiC ທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງທີ່ຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງຂະບວນການອຸດສາຫະກໍາທີ່ທັນສະໄຫມ.


ເວລາປະກາດ: 18-12-2023
WhatsApp ສົນທະນາອອນໄລນ໌!