Sputtering ເປົ້າຫມາຍສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາເອເລັກໂຕຣນິກແລະຂໍ້ມູນຂ່າວສານ, ເຊັ່ນ: ວົງຈອນປະສົມປະສານ, ການເກັບຮັກສາຂໍ້ມູນຂ່າວສານ, ການສະແດງໄປເຊຍກັນຂອງແຫຼວ, ຄວາມຊົງຈໍາ laser, ອຸປະກອນຄວບຄຸມເອເລັກໂຕຣນິກ, ແລະອື່ນໆພວກເຂົາເຈົ້າຍັງສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ໃນພາກສະຫນາມຂອງການເຄືອບແກ້ວ, ເຊັ່ນດຽວກັນກັບການສວມໃສ່. ອຸປະກອນການ, ການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ອຸນຫະພູມສູງ, ຜະລິດຕະພັນຕົກແຕ່ງທີ່ສຸດແລະອຸດສາຫະກໍາອື່ນໆ.
Sputtering ແມ່ນຫນຶ່ງໃນເຕັກນິກຕົ້ນຕໍໃນການກະກຽມວັດສະດຸຟິມບາງໆ.ມັນໃຊ້ ions ທີ່ຜະລິດໂດຍແຫຼ່ງ ion ເພື່ອເລັ່ງແລະລວບລວມຢູ່ໃນສູນຍາກາດເພື່ອສ້າງເປັນ beams ພະລັງງານຄວາມໄວສູງ, ລະເບີດພື້ນຜິວແຂງ, ແລະແລກປ່ຽນພະລັງງານ kinetic ລະຫວ່າງ ions ແລະປະລໍາມະນູຂອງຫນ້າດິນແຂງ. ອະຕອມຢູ່ເທິງພື້ນຜິວແຂງອອກຈາກຂອງແຂງແລະຖືກຝາກຢູ່ເທິງຫນ້າດິນ. ແຂງທີ່ຖືກລະເບີດແມ່ນວັດຖຸດິບສໍາລັບການຝາກຮູບເງົາບາງໆໂດຍການ sputtering, ເຊິ່ງເອີ້ນວ່າ sputtering ເປົ້າຫມາຍ. ປະເພດຕ່າງໆຂອງວັດສະດຸຟິມບາງໆ sputtered ໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນວົງຈອນປະສົມປະສານ semiconductor, ສື່ມວນຊົນການບັນທຶກ, ຈໍສະແດງຜົນຮາບພຽງແລະການເຄືອບດ້ານ workpiece.
ໃນບັນດາອຸດສາຫະກໍາຄໍາຮ້ອງສະຫມັກທັງຫມົດ, ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ມີຄວາມຕ້ອງການດ້ານຄຸນນະພາບທີ່ເຂັ້ມງວດທີ່ສຸດສໍາລັບເປົ້າຫມາຍ sputtering films. ເປົ້າຫມາຍ sputtering ໂລຫະທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ຕົ້ນຕໍໃນການຜະລິດ wafer ແລະຂະບວນການຫຸ້ມຫໍ່ກ້າວຫນ້າ. ເອົາການຜະລິດຊິບເປັນຕົວຢ່າງ, ພວກເຮົາສາມາດເຫັນໄດ້ວ່າຈາກ wafer ຊິລິໂຄນໄປສູ່ຊິບ, ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງຜ່ານ 7 ຂະບວນການຜະລິດໃຫຍ່, ຄື: ການແຜ່ກະຈາຍ (ຂະບວນການຄວາມຮ້ອນ), ການຖ່າຍຮູບໄຟ (Photo-lithography), Etch (Etch), Ion Implantation (IonImplant), ການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຮູບເງົາບາງ (Dielectric Deposition), ຂັດກົນຈັກເຄມີ (CMP), ໂລຫະ (Metalization) ຂະບວນການ. ສອດຄ້ອງກັນຫນຶ່ງຫນຶ່ງ. ເປົ້າຫມາຍ sputtering ແມ່ນໃຊ້ໃນຂະບວນການ "ໂລຫະ". ເປົ້າຫມາຍດັ່ງກ່າວໄດ້ຖືກລະເບີດດ້ວຍອະນຸພາກພະລັງງານສູງໂດຍອຸປະກອນການຝາກຮູບເງົາບາງໆແລະຫຼັງຈາກນັ້ນຊັ້ນໂລຫະທີ່ມີຫນ້າທີ່ສະເພາະແມ່ນສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນໃນ wafer ຊິລິໂຄນ, ເຊັ່ນ: ຊັ້ນ conductive, ຊັ້ນອຸປະສັກ. ລໍຖ້າ. ເນື່ອງຈາກຂະບວນການຂອງ semiconductors ທັງຫມົດແມ່ນແຕກຕ່າງກັນ, ບາງໂອກາດບາງສະຖານະການແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນສໍາລັບການຢັ້ງຢືນລະບົບມີຢູ່ຢ່າງຖືກຕ້ອງ, ດັ່ງນັ້ນພວກເຮົາຕ້ອງການບາງປະເພດຂອງອຸປະກອນ dummy ໃນຂັ້ນຕອນການຜະລິດສະເພາະໃດຫນຶ່ງເພື່ອຢືນຢັນຜົນກະທົບ.
ເວລາປະກາດ: 17-01-2022