ອຸດສາຫະກໍາ semiconductor ຄວາມຕ້ອງການວັດສະດຸ graphite ແມ່ນສູງໂດຍສະເພາະ, ຂະຫນາດອະນຸພາກອັນດີງາມຂອງ graphite ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງ, ການສູນເສຍຂະຫນາດນ້ອຍແລະຂໍ້ດີອື່ນໆ, ເຊັ່ນ: sintered graphite ຜະລິດຕະພັນ mold.ເນື່ອງຈາກວ່າອຸປະກອນ graphite ທີ່ໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກໍາ semiconductor (ລວມທັງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນແລະ sintered ຕາຍຂອງເຂົາເຈົ້າ) ແມ່ນມີຄວາມຈໍາເປັນທີ່ຈະທົນທານຕໍ່ຂະບວນການເຮັດຄວາມຮ້ອນແລະເຮັດຄວາມເຢັນຊ້ໍາຊ້ອນ, ເພື່ອຍືດອາຍຸການບໍລິການຂອງອຸປະກອນ graphite, ມັນປົກກະຕິແລ້ວຕ້ອງການອຸປະກອນກາຟທີ່ນໍາໃຊ້ມີປະສິດທິພາບທີ່ຫມັ້ນຄົງ. ແລະຟັງຊັນຜົນກະທົບທີ່ທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນ.
01 ອຸປະກອນເສີມ Graphite ສໍາລັບການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ semiconductor
ຂະບວນການທັງຫມົດທີ່ໃຊ້ໃນການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນ semiconductor ແມ່ນດໍາເນີນການພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງແລະສະພາບແວດລ້ອມ corrosive. ເຂດຮ້ອນຂອງ furnace ການຂະຫຍາຍຕົວໄປເຊຍກັນປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນອຸປະກອນທີ່ມີອົງປະກອບ graphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນແລະ corrosion, ເຊັ່ນ: ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ, crucible, insulation cylinder, ທໍ່ຄູ່ມື, electrode, ຜູ້ຖື crucible, ຫມາກແຫ້ງເປືອກແຂງ electrode, ແລະອື່ນໆ.
ພວກເຮົາສາມາດຜະລິດຊິ້ນສ່ວນ graphite ທັງຫມົດຂອງອຸປະກອນການຜະລິດໄປເຊຍກັນ, ເຊິ່ງສາມາດສະຫນອງສ່ວນບຸກຄົນຫຼືໃນຊຸດ, ຫຼືສ່ວນ graphite ທີ່ກໍາຫນົດເອງຂອງຂະຫນາດຕ່າງໆຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ. ຂະຫນາດຂອງຜະລິດຕະພັນສາມາດຖືກວັດແທກຢູ່ໃນບ່ອນ, ແລະເນື້ອໃນຂີ້ເທົ່າຂອງຜະລິດຕະພັນສໍາເລັດຮູບສາມາດຫນ້ອຍລົງຫຼາຍກ່ວາ 5ppm.
02 ອຸປະກອນເສີມ Graphite ສໍາລັບ semiconductor epitaxy
ຂະບວນການ Epitaxial ຫມາຍເຖິງການຂະຫຍາຍຕົວຂອງຊັ້ນຂອງວັດສະດຸໄປເຊຍກັນດຽວທີ່ມີການຈັດລຽງຂອງເສັ້ນດ່າງດຽວກັນກັບ substrate ໃນ substrate ໄປເຊຍກັນດຽວ. ໃນຂະບວນການ epitaxial, wafer ໄດ້ຖືກໂຫລດຢູ່ໃນແຜ່ນ graphite. ການປະຕິບັດແລະຄຸນນະພາບຂອງແຜ່ນ graphite ມີບົດບາດສໍາຄັນໃນຄຸນນະພາບຂອງຊັ້ນ epitaxial ຂອງ wafer. ໃນພາກສະຫນາມຂອງການຜະລິດ epitaxial, ຫຼາຍຂອງ graphite ຄວາມບໍລິສຸດ ultra-ສູງແລະຖານ graphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ມີການເຄືອບ SIC ແມ່ນຈໍາເປັນ.
ພື້ນຖານ graphite ຂອງບໍລິສັດຂອງພວກເຮົາສໍາລັບ semiconductor epitaxy ມີລະດັບຄວາມກ້ວາງຂອງຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ, ສາມາດຈັບຄູ່ອຸປະກອນທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປໃນອຸດສາຫະກໍາສ່ວນໃຫຍ່, ແລະມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ການເຄືອບເອກະພາບ, ຊີວິດການບໍລິການທີ່ດີເລີດ, ແລະການຕໍ່ຕ້ານສານເຄມີສູງແລະຄວາມຫມັ້ນຄົງຂອງຄວາມຮ້ອນ.
03 ອຸປະກອນເສີມ Graphite ສໍາລັບການປູກຝັງ ion
implantation ion ຫມາຍເຖິງຂະບວນການເລັ່ງ plasma beam ຂອງ boron, phosphorus ແລະ arsenic ເປັນພະລັງງານສະເພາະໃດຫນຶ່ງ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນສີດມັນເຂົ້າໄປໃນຊັ້ນຫນ້າດິນຂອງວັດສະດຸ wafer ໄດ້ມີການປ່ຽນແປງຄຸນສົມບັດວັດສະດຸຂອງຊັ້ນຫນ້າດິນ. ອົງປະກອບຂອງອຸປະກອນ ion implantation ຈະຕ້ອງເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ການນໍາຄວາມຮ້ອນ, corrosion ຫນ້ອຍທີ່ເກີດຈາກ beam ion ແລະເນື້ອໃນ impurity ຕ່ໍາ. graphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ, ແລະສາມາດໄດ້ຮັບການນໍາໃຊ້ສໍາລັບທໍ່ການບິນ, slits ຕ່າງໆ, electrodes, ການປົກຫຸ້ມຂອງ electrode, conduits, beam terminators, ແລະອື່ນໆຂອງອຸປະກອນ ion implantation.
ພວກເຮົາສາມາດບໍ່ພຽງແຕ່ສະຫນອງການປົກຫຸ້ມຂອງ graphite shielding ສໍາລັບເຄື່ອງຈັກ ion implantation ຕ່າງໆ, ແຕ່ຍັງສະຫນອງ electrodes graphite ຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະແຫຼ່ງ ion ທີ່ມີການຕໍ່ຕ້ານ corrosion ສູງຂອງຂໍ້ກໍານົດຕ່າງໆ. ຮູບແບບທີ່ສາມາດໃຊ້ໄດ້: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM ແລະອຸປະກອນອື່ນໆ. ນອກຈາກນັ້ນ, ພວກເຮົາຍັງສາມາດສະຫນອງການຈັບຄູ່ ceramic, tungsten, molybdenum, ຜະລິດຕະພັນອາລູມິນຽມແລະສ່ວນເຄືອບ.
04 ວັດສະດຸ insulation Graphite ແລະອື່ນໆ
ວັດສະດຸ insulation ຄວາມຮ້ອນທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນການຜະລິດ semiconductor ປະກອບມີ graphite ແຂງ, ມີຄວາມຮູ້ສຶກອ່ອນ, graphite foil, ເຈ້ຍ graphite, ແລະເຊືອກ graphite.
ວັດຖຸດິບຂອງພວກເຮົາທັງຫມົດແມ່ນນໍາເຂົ້າ graphite, ເຊິ່ງສາມາດຕັດໄດ້ຕາມຂະຫນາດສະເພາະຂອງຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າຫຼືຂາຍທັງຫມົດ.
ຖາດຄາບອນກາກບອນຖືກນໍາໃຊ້ເປັນຜູ້ໃຫ້ບໍລິການສໍາລັບການເຄືອບຮູບເງົາໃນຂະບວນການຜະລິດຂອງຊິລິຄອນ monocrystalline ແສງຕາເວັນແລະຈຸລັງ polycrystalline silicon. ຫຼັກການການເຮັດວຽກແມ່ນ: ໃສ່ຊິບຊິລິໂຄນເຂົ້າໄປໃນຖາດ CFC ແລະສົ່ງເຂົ້າໄປໃນທໍ່ furnace ເພື່ອປຸງແຕ່ງການເຄືອບຮູບເງົາ.
