Een eenzegen Kristallofen ass en Apparat deen e benotztgraphite Heizungfir polykristallin Siliziummaterialien an engem Inertgas (Argon) Ëmfeld ze schmëlzen a benotzt d'Czochralski Method fir net dislokéiert Eenkristallen ze wuessen. Et besteet haaptsächlech aus de folgende Systemer:
Mechanesch Transmissioun System
De mechanesche Transmissiounssystem ass de Basisbetribssystem vum Eenkristalluewen, deen haaptsächlech verantwortlech ass fir d'Bewegung vu Kristalle aCrucibles, inklusiv d'Erhiewung an d'Rotatioun vu Somkristallen an d'Erhiewung an d'Rotatioun vunCrucibles. Et kann Parameteren wéi d'Positioun, d'Geschwindegkeet an d'Rotatiounswénkel vun de Kristallen a Crucibles präzis upassen fir de glate Fortschrëtt vum Kristallwachstumsprozess ze garantéieren. Zum Beispill, a verschiddene Kristallwachstumsstadien wéi Aussaat, Necking, Schëlleren, gläichen Duerchmiesser Wuesstum a Schwäif, muss d'Bewegung vu Somkristallen a Crucibles präzis vun dësem System kontrolléiert ginn fir de Prozessfuerderunge vum Kristallwachstum z'erreechen.
Heizung Temperatur Kontroll System
Dëst ass ee vun de Kärsystemer vum Eenkristalluewen, dee benotzt gëtt fir Hëtzt ze generéieren an d'Temperatur am Uewen präzis ze kontrolléieren. Et besteet haaptsächlech aus Komponenten wéi Heizungen, Temperatursensoren an Temperaturkontroller. D'Heizung ass normalerweis aus Materialien wéi héich Puritéit Graphit gemaach. Nodeems den Ofwiesselungsstroum transforméiert a reduzéiert ass fir de Stroum z'erhéijen, generéiert d'Heizung Hëtzt fir polykristallin Materialien wéi Polysilisium an der Krees ze schmëlzen. Den Temperatursensor iwwerwaacht d'Temperaturännerungen am Uewen an Echtzäit an iwwerdréit d'Temperatursignal un den Temperaturkontroller. Den Temperaturkontroller kontrolléiert d'Heizkraaft präzis no de festgeluegten Temperaturparameter an dem Feedbacktemperatursignal, doduerch d'Stabilitéit vun der Temperatur am Ofen erhalen an e passend Temperaturëmfeld fir de Kristallwachstum ubidden.
Vakuum System
D'Haaptfunktioun vum Vakuumsystem ass fir e Vakuumëmfeld am Uewen wärend dem Kristallwachstumsprozess ze kreéieren an z'erhalen. D'Loft an d'Gëftgasen am Ofen ginn duerch Vakuumpompelen an aner Ausrüstung extrahéiert fir de Gasdrock am Uewen en extrem nidderegen Niveau z'erreechen, allgemeng ënner 5TOR (torr). Dëst kann verhënneren datt de Siliziummaterial bei héijen Temperaturen oxidéiert gëtt an d'Rengheet an d'Qualitéit vum Kristallwachstum garantéieren. Zur selwechter Zäit ass d'Vakuumëmfeld och förderlech fir liichtflüchteg Gëftstoffer ze entfernen, déi wärend dem Kristallwachstumsprozess generéiert ginn an d'Qualitéit vum Kristall ze verbesseren.
Argon System
Den Argonsystem spillt eng Roll beim Schutz a Regulatioun vum Drock am Uewen am Eenkristalluewen. Nom Vakuum gëtt héich Puritéit Argongas (Rengheet muss iwwer 6 9 sinn) an den Ofen gefëllt. Engersäits kann et verhënneren datt d'Loft dobausse an den Ofen erakënnt a verhënnert datt Siliziummaterialien oxidéiert ginn; op der anerer Säit kann d'Füllung vum Argongas den Drock am Uewen stabil behalen an e passend Drockëmfeld fir de Kristallwachstum ubidden. Zousätzlech kann de Flux vum Argongas och d'Hëtzt ewechhuelen, déi während dem Kristallwachstumsprozess entsteet, a spillt eng gewëssen Ofkillungsroll.
Waasser Killsystem
D'Funktioun vum Waasserkühlsystem ass fir déi verschidde Héichtemperaturkomponenten vum Eenkristallofen ze killen fir déi normal Operatioun an d'Liewensdauer vun der Ausrüstung ze garantéieren. Wärend der Operatioun vum Eenkristalluewen, den Heizung,Krëpp, Elektroden an aner Komponenten wäerte vill Hëtzt generéieren. Wann se net an der Zäit ofgekillt ginn, gëtt d'Ausrüstung iwwerhëtzt, deforméiert oder souguer beschiedegt. D'Waasserkillungssystem hëlt d'Hëtzt vun dëse Komponenten ewech andeems d'Kälwaasser zirkuléiert fir d'Temperatur vun der Ausrüstung bannent engem séchere Beräich ze halen. Zur selwechter Zäit kann de Waasserkühlsystem och hëllefe fir d'Temperatur am Uewen unzepassen fir d'Genauegkeet vun der Temperaturkontroll ze verbesseren.
Elektresch Kontroll System
Den elektresche Kontrollsystem ass de "Gehir" vum eenzegen Kristallofen, verantwortlech fir d'Iwwerwaachung an d'Kontroll vun der Operatioun vun der ganzer Ausrüstung. Et kann Signaler vu verschiddene Sensoren kréien, wéi Temperatursensoren, Drocksensoren, Positiounssensoren, etc., a koordinéieren a kontrolléieren de mechanesche Transmissiounssystem, Heiztemperaturkontrollsystem, Vakuumsystem, Argonsystem a Waasserkühlsystem baséiert op dëse Signaler. Zum Beispill, während dem Kristallwachstumsprozess kann den elektresche Kontrollsystem automatesch d'Heizkraaft upassen no dem Temperatursignal, deen vum Temperatursensor zréckgeet; Geméiss dem Wuesstum vum Kristall kann et d'Bewegungsgeschwindegkeet an d'Rotatiounswénkel vum Keimkristall a Crucible kontrolléieren. Zur selwechter Zäit huet den elektresche Kontrollsystem och Fehlerdiagnostik an Alarmfunktiounen, déi anormal Konditioune vun der Ausrüstung an der Zäit entdecken an déi sécher Operatioun vun der Ausrüstung garantéieren.
Post Zäit: Sep-23-2024