Depositio chemicus vapor (CVD) refertur ad processum deponendi veli solidi in superficie siliconislaganumper chemica reactionem a Gas mixtione. Secundum varias condiciones reactionis (pressurae, praecursoris), in varia instrumenta exempla dividi potest.
Quae sunt haec duo machinis usus est processus?
PECVD(Plasma amplificata) apparatu frequentissimo et frequentissimo usus est in OX, Nitride, porta metallica, carbo amorpho, etc.; LPCVD (Potentia inferior) solet in Nitride, poly, TEOS.
Quid est principium?
PECVD-a, processus plasma energiae perfecte componit et CVD. PECVD technologia utitur plasma humilis temperatura ad ardorem emissionem in cathode processus camerae (id est lance, exempli gratia) sub pressione humili. Haec ardor missionis vel alia calefactio fabrica potest temperaturas exempli ad gradum praefinitum suscitare, et deinde quantitatem processus gasi moderatam inducere. Hic gas seriei motus chemicorum et plasmatis patitur, et tandem solidam pelliculam in superficie exempli format.
LPCVD - Depositio vaporum chemicorum low pressio (LPCVD) ordinatur reducere pressionem operating reactionis gasi in reactoris ad circiter 133Pa vel minus.
Quae sunt cuiusque notae?
PECVD - Processus qui plasma energiam et CVD perfecte componit: 1) operatio caliditatis inferioris (vitans caliditas damnum in apparatu); 2) Fastigium movendi incrementum; 3) Non picky circa materias OX, Nitride, porta metallica, carbo amorphous omnes crescere possunt; 4) Magna ratio in-sita est, quae recipe per parametros ion potest accommodare, ratem fluere gas, caliditatem et crassitudinem pellicularum.
LPCVD - Tenues membranae per LPCVD depositae meliorem gradum coverage, bonam compositionem et structuram temperantiae, magnae depositionis rate et output habebunt. Praeterea LPCVD tabellarium gasi non requirit, unde fontem particulae pollutionis valde minuit et late in magni pretii semiconductoris industriae additae propter tenues cinematographicas depositiones adhibetur.
Excipe aliquem clientes ex toto orbe terrarum, ut nos ad ulteriorem disputationem visitemus!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Post tempus: Iul-24-2024