Scelerisque Oxidation of Single Crystal Silicon

Formatio dioxidis pii in superficie siliconis oxidatio appellatur, et creatio stabilis et valde adhaerens dioxidis pii dioxidis nativitati siliconis in ambitu technologiae planae integrato ducebatur. Etsi multi modi dioxidum silicon directe in superficie siliconis crescunt, fieri solet ex oxidatione scelerisque, quae silicon est exponere ad environment oxidizing caliditatem (oxygeni, aqua). Methodi scelerisque oxidationis cinematographici crassitiem cinematographici ac silicon/silicon/silionis notas interfaciendi dioxidis moderari possunt in praeparatione membranae dioxidis pii. Aliae artes dioxydi siliconis crescentis plasma anodization et anodization humida sunt, sed neutra harum artium in VLSI processibus late adhibita est.

 640

 

Pii inclinatio ad formam stabilem dioxidis Pii ostendit. Si Pii recenter adhaesit environment oxidizing (qualia oxygenii, aqua) obnoxia est, in strato oxydatum tenuissimum (<20Å) etiam in cella temperatura formabit. Cum pii oxydati environment in caliditas caliditas obnoxia est, crassior iacuit oxydatum celeriore rate generabitur. Praecipua mechanisma formationis dioxidis siliconis e Pii bene intelligitur. Tracta et Grove exemplar mathematicum evolvit, quod dynamica oxydi cinematographici crassius quam 300Å incrementum accurate describit. Proposuerunt oxidationem hoc modo peragi, id est, moleculae oxidantis (aquae moleculae et oxygenii) diffundunt per stratum oxydatum exsistentem ad interfaciem Si/SiO2, ubi oxidant cum silicon reagit ad dioxidum silicon formandum. Praecipua reactio ad formam dioxidis Pii sic describitur:

 640 (1)

 

Reactio oxidatio fit in interfaciei Si/SiO2, itaque cum iacuit oxydatum increscit, silicon continue consumitur et interfacies sensim silicon invadit. Secundum densitatem respondentem et pondus hypotheticum siliconis et dioxidis pii, deprehendi potest quod silicon consumptum est pro crassitudine oxydi finalis strati 44%. Hoc modo, si iacuit oxydatum 10,000Å, 4400Å siliconis consumetur. Haec relatio magni momenti est ad calculandum altitudinem graduum formatorumPii laganum. Gradus effectus sunt diversae rates oxidationis in diversis locis in superficie lagani siliconis.

 

Summus etiam puritatem graphitae et carbidi pii productorum suppeditamus, quae late in lagano processui ut oxidatio, diffusio, furnum usus est.

Excipe aliquem clientes ex toto orbe terrarum, ut nos ad ulteriorem disputationem visitemus!

https://www.vet-china.com/


Post tempus: Nov-13-2024
Whatsapp Online Chat!