Ut supra ostensum est, typicam
Prima medietas;
Elementum calefactionis (coil calefactionis) : circum tubum fornacem sita, fila resistentia plerumque facta, intus fistulae fornacis ad calefaciendum adhibita.
Quartz Tube: Core fornacis oxidationis calidae, e vicus altae puritatis, quae altas temperaturas sustinere potest et chemica iners manet.
Gas Feed: Sita in superiore vel parte tubi fornacis, usus est oxygenium vel alios vapores ad interiorem tubi fornacis transportare.
SS Flange: partes quae vicus fistulae et lineae gasi connectunt, ad emissiones et stabilitatem connexionis pertinent.
Gas Feed Lines: Pipes quae MFC coniungunt ad portum gasi copiam tradendi gasi.
MFC (Massa Flow Controller) : Fabrica quae fluxum gasi intra vicus tubuli moderatur ad quantitatem gasi requisiti praecise moderatur.
Vent: gasi exhauriunt ab intus fornacem tubi fornacem erumpere ad extra apparatum.
Pars inferior
Silicon Waferus in Holder: lagana Silicon in speciali Holder habitant ut in oxidatione uniformi calori curet.
Wafer Holder: laganum silicum tenere et curare ut laganum silicum in processu stabile maneat.
Pedestal: Structura quae laganum silicum tenet Holder, plerumque ex materia calidissima renitens facta est.
Elevator: Wafer detentores in et e vicus fistulae levare solebant ad onerandas et exonerationes laganae Pii.
Wafer Transfer Robot: in latere fabricae tubi fornacis posita, laganum silicum ex archa statim removere et in tubo fornace ponere, vel post dispensando removere.
Cassette Repono Carousel: Cassette carousel repositionis adhibetur ut capsulam in qua lagana siliconis congreget et ad accessum roboti rotari possit.
Azymum Cassette: laganum cassettum ad reponendas usus est et lagana siliconis transferenda ut potuimus.
Post tempus: Apr-22-2024