Ut supra ostensum est, typicam
Prima medietas;
Calefactio elementum (calefactio coil) :
circa tubulum fornacem sita, plerumque filis resistentiae facta, intus fistulae fornacis ad calefaciendum adhibita.
▪ Vicus Tube:
nucleus fornacis oxidationis calidus, factus est vicus altae puritatis, quae altas temperaturas sustinere potest et chemica iners manet.
▪ Gas Pasce:
Sita in superiori vel parte tubi fornacis, oxygenium vel alios vapores ad interiorem tubi fornacis transferre adhibetur.
▪ SS Flange:
partes, quae vicus fistulae et lineae gasi connectunt, ad emissiones et stabilitatem connexionis pertinent.
Gas pascite lineas:
Tibiae quae MFC coniungunt cum copia gasi portus tradendi gasi.
▪ MFC (Missa O Controller)
A fabrica quod intra vicus tubi fluxum gasi moderatur, ut quantitatem gasi necessariam praecise moderetur.
Ventum:
Solebat erumpere gasi exhauriendi ab intus fornacem tubi forinsecus ad apparatum exterius.
Pars inferior:
lagana Silicon in Holder:
Silicon lagana in speciali Holderi habitant, ut in oxidatione uniformis caloris curet.
Wafer Holder:
Solebant laganum silicum tenere et curare ut laganum silicum in processu firmum maneret.
Pedestal:
Structura quae Holder laganum silicum tenet, plerumque facta est materia caliditatis repugnantis.
Elevator:
Wafer detentores in et ex vicus fistulae levare solebant ad onerandas et exonerationes laganae Pii.
Wafer Transfer robot:
in latere fabricae fistulae fornacis posita, statim laganum pii e pixide removere et in fornacem fistulam ponere, vel post dispensando removere.
Cassette Carousel PRAECLUSIO:
Cassette carousel repositionis adhibetur ut capsulam in qua lagana siliconis reponat et ad accessum roboti rotari possit.
Wafer Cassette:
laganum cassette ad usum reponunt et laganum silicum transferre potuimus.
Post tempus: Apr-22-2024