Depositio Vaporis chemica (CVD) technologiae pelliculae tenuis magni momenti est, saepe usus est ad varias membranas cinematographicas et ad materias graciles praeparandas et late in fabricandis semiconductoribus aliisque agris usus est.
1. Opus principium CVD
In processu CVD, praecursor gas (vel componit praecursor gaseous) in contactum cum superficie subiecta et calefacta ad aliquam temperiem ut reactionem chemica et depositum in superficie substrata efficiat ut optatam pelliculam vel efficiat. accumsan. Productum reactionis chemicae solidum est, plerumque compositum ex materia desiderata. Si silicon superficiei adhaerere velimus, trichlorosilane (SiHCl3) uti gas praecursori possumus: SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl Silicon ad omnem superficiem expositae (tam internam quam externam) alligabit, dum gasorum acidorum chlorinum et hydrochloricum habebunt. exsolvenda thalamo.
2. CVD divisio
Scelerisque CVD: calefaciendo praecursorem gasum dissolutum et in substrata superficie deposit. Plasma Consectetur CVD (PECVD): Plasma CVD thermarum additur ad augendam rate reactionem et processum depositionis moderari. Metallum Organicum CVD (MOCVD): Organicum metallicum utens utens vapores praecursores, membranae tenues metallorum et semiconductores praeparari possunt, et saepe in machinis fabricandis ut LEDs adhibentur.
3. Application
(1) Semiconductor fabricandi
Pelliculae silicidium: ad parandum stratis insulating, substratis, stratis solitariis, etc. cinematographicum: ad parandum nitridum silicon, aluminium nitridum, etc., adhibita in LEDs, potentia adinventa, cinematographica metallica etc. stratis, etc.
(II) technologiam ostende
ITO cinematographica: cinematographica transparens cinematographica, vulgo in tabulis planis ostenduntur et tegumenta tangunt. Pellicula aeris: usus est ad para stratis packaging, lineas conductivas, etc., ad meliorem faciendam ostentationis machinas.
(III) Alii agri
Tunicae optica: inter anti-reflectivas tunicas, filtra optica, etc. Anti- corrosio efficiens: adhibita in partibus autocinetis, aerospace machinis, etc.
4. Characteres processus CVD
Utere caliditas environment ad celeritatem reactionem promovendam. Plerumque in vacuo environment. Contaminantes in superficie partis removeri debent ante picturam. Processus potest habere limitationes in subiecta subiecta, quae obduci possunt, id est limitationes temperaturas vel limitationes reactivitatis. CVD vestis omnia partis areae, cum staminibus, caeca foraminibus et superficiebus internis, operiet. Sit circumscribere facultatem specifica scopum areas larva. Crassitudo pellicularum terminatur per processum et condiciones materiales. Superior Princcps.
5. Commoda CVD technologiae
Uniformitas: Possunt efficere uniformem depositionem in magna area subiecta.
Imperium: Depositio rate et cinematographica possessiones componi possunt per moderantes ratem fluxum et temperaturam gasi praecursoris.
Versatilitas: Apta ad depositionem variarum materiarum, ut metallorum, semiconductores, oxydi, etc.
Post tempus: May-06-2024