In processu vapori epitaxy (VPE) periodo, munus basis est subiectum sustentare et calefacere uniformem in processu incrementi. Variae bases genera sunt aptae diversis conditionibus incrementis et systematibus materialibus. Nonnulli ex communibus generibus basi in vaporibus Phase usitatae suntepitaxy:
Ferocactus basi
Ferocactus bases plerumque in systematis epitaxis horizontali vel iugo vapori adhibita est. Subiectum tenere possunt et permittunt gasum super subiectum fluere, quod adiuvat ad incrementum epitaxiale uniforme consequendum.
Discus informibus basi (basis verticalibus)
Discus bases informes aptae sunt ad systemata epitaxy vapori verticali, in quibus subiectum verticaliter ponitur. Hoc consilium adiuvat reducere contactum aream inter subiectum et susceptorem, inde calor damnum et contaminationem potentialem minuere.
Horizontalis susceptor
Susceptatores horizontales minus communes sunt in epitaxia vaporum periodi, sed adhiberi possunt in quibusdam systematibus incrementis specificis ut incrementum epitaxiale in directione horizontali permittant.
Monolithic epitaxial reactionem susceptor
Reactio monolithica susceptor epitaxialis ad unum subiectum destinatur, quod subtilius temperamentum temperaturae et melius solitudo est, apta ad incrementum praecipuorum qualitatum epitaxialium stratorum.
Grata nostro loco ad informationem productam et consultationem.
Nostrum locum: https://www.vet-china.com/
Post tempus: Iul-30-2024