Materia praeposita ad praecisionem partium machinis photolithographiae
In semiconductore agro,Pii carbide tellusmaterias principaliter adhibentur in instrumento clavium ad fabricandum ambitum integrandum, sicut carbidum siliconum factibile, cancellos ducentes;reflectors, tellus suctu monaxarma, discos stridor, fixtures, etc. pro machinis lithographiae.
Pii carbide partes ceramicaead semiconductor et optical apparatu
● pii carbide ceramic stridor disc. Si stridor discus e ferro vel carbo chalybe fuso factus est, eius usus vita brevis est, et coefficientia scelerisque dilatatio magna est. In processu laganae pii, praesertim in magna celeritate stridoris vel poliendi, vestis et deformatio thermarum discorum stridoris difficilem efficit ut planities et parallelismus lagani pii. Discus stridor ceramicorum carbidi pii factus magnam duritiem habet et humilem indutum, et expansio thermarum coefficiens est basically eadem quae lagana siliconis, ut in summa celeritate tritus et politus esse potest.
● Pii carbide ceramic fixture. Praeterea cum lagana pii nascantur, necesse est summus caloris caliditatem sustinere et saepe adfixa carbide adhibita deportari pii. sunt caloris repugnant et non perniciosi. Diamond-simile carbonis (DLC) et aliae tunicae in superficie applicantur ad effectum augendae, damnum laganum sublevandum et contagione ne serpat.
● Pii carbide factibilis. Sumens in machina lithographiae operabilium exemplum, operabile principaliter est responsabile ad motus expositionis perficiendam, altam celeritatem, magnam plagam requirens, sex gradus e libero nano-gradu ultra praecisionem motus. Exempli gratia, pro machina lithographia cum solutione 100nm, obauratio subtiliter 33nm, et linea latitudinis 10nm, positio accuratio operabilis requiritur ad 10nm, laganum laganum simultaneum gressum et velocitates intuens 150nm/s. et 120nm/s respective, et larva celeritas intuens prope 500nm/s est, et factibile requiritur ad motum altissimum ac accurationem et firmitatem.
Schematica schematis de tabula operabili et micro-motionis (sectio partialis)
Ceramico carbide pii speculi quadrati. Clavium partium in ambitu clavis integralibus instrumentis, sicut machinis lithographiae, figuras complexas, dimensiones implicatas, et structuras leves concavas habent, difficilem efficiunt ut tales partes carbidi ceramici silicon struant. In statu, amet internationalis ambitus instrumentorum instrumentorum integrati fabricatores, sicut ASML in Belgio, NIKON et CANON in Iaponia, magna copia materiae utuntur ut vitro microcrystallino et cordierite ad specula quadrata praeparanda, nucleum componendi machinis lithographiae, et carbide pii utere. ceramics ad praeparandum alias structuras principales cum formis simplicibus. Attamen periti e Sinarum aedificatione Materialium Research Institutum proprietatis technologiae praeparatione usi sunt ad praeparationem magnae magnitudinis, implicatae, magni momenti, plene inclusae pii carbidi ceramici speculi quadrati et alia structuralia et operando partes opticas pro machinis lithographiae.
Post tempus: Oct-10-2024