Epitaxy жабдуулар үчүн TaC капталган Сусцептор

Кыска сүрөттөмө:

КТБ ар кандай компоненттер жана ташыгычтар үчүн атайын тантал карбид (TaC) каптоо менен камсыз кылат. КТБнын алдыңкы каптоо процесси тантал карбидинин (TaC) каптоолоруна жогорку тазалыкка, жогорку температуранын туруктуулугуна жана жогорку химиялык толеранттуулукка жетишүүгө, SIC/GAN кристаллдарынын жана EPI катмарларынын продуктунун сапатын жакшыртууга жана реактордун негизги компоненттеринин иштөө мөөнөтүн узартууга мүмкүндүк берет. Тантал карбидинин TaC каптоосун колдонуу четки көйгөйдү чечүү жана кристаллдын өсүшүнүн сапатын жогорулатуу болуп саналат, ал эми КТБ тантал карбиди каптоо технологиясын (CVD) чечип, эл аралык алдыңкы деңгээлге чыкты.


Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

TaC капталгансубстрат - андан жасалган жука пленкатантал карбидиматериал, ал эпитаксиалдык жабдуулардын субстратынын бетине колдонулат.TaC каптоокөптөгөн сонун касиеттерге ээ, бул идеалдуу тандоо.

TaC каптоо физикалык буу коюу технологиясы менен даярдалган тантал карбид (TaC) каптоо бир түрү болуп саналат, ал төмөнкү мүнөздөмөлөргө ээ:

1. Жогорку катуулук: TaC каптоо катуулугу жогору, адатта, 2500-3000HV жетиши мүмкүн, сонун катуу каптоо болуп саналат.

2. каршылык кийим: TaC жабуу натыйжалуу пайдалануу учурунда механикалык бөлүктөрүнүн эскирүүнү жана зыян азайтууга болот, абдан эскирүүгө туруктуу болуп саналат.

3. Жакшы жогорку температура каршылык: TaC каптоо, ошондой эле жогорку температура чөйрөдө анын мыкты аткарууну сактап кала алат.

4. Жакшы химиялык туруктуулук: TaC каптоо жакшы химиялык туруктуулукка ээ жана кислоталар жана негиздер сыяктуу көптөгөн химиялык реакцияларга туруштук бере алат.

6 (3)
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Физикалык касиеттери TaC каптоо

密度/ Жыштыгы

14,3 (г/см³)

比辐射率 / Салыштырмалуу эмиссия

0.3

热膨胀系数 / Термикалык кеңейүү коэффициенти

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Катуулугу (HK)

2000 HK

电阻 / Каршылык

1×10-5 Ом*см

热稳定性 / Термикалык туруктуулук

<2500℃

石墨尺寸变化 / Графиттин өлчөмү өзгөрөт

-10~-20ум

涂层厚度 / Каптоо калыңдыгы

≥20um типтүү маани (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd жогорку технологиялык ишкана болуп саналат, графит, кремний карбиди, керамика, беттик тазалоо ж. Продукциялар фотоэлектрдик, жарым өткөргүч, жаңы энергетика, металлургия ж.б.

Биздин техникалык команда жогорку ата мекендик изилдөө институттарынан келет, силер үчүн көбүрөөк кесиптик материалдык чечимдерди камсыз кыла алат.

Сизди биздин фабрикага барыңыз, келиңиз, андан ары талкуулайлы!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Мурунку:
  • Кийинки:

  • WhatsApp онлайн чат!