ПродуктDжазуу
Кремний карбид Wafer Boat көп жогорку температура диффузия жараянында вафли кармоочу катары колдонулат.
Артыкчылыктары:
Жогорку температурага каршылык:нормалдуу колдонуу 1800 ℃
Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк:графит материалына барабар
Жогорку катуулугу:катуулугу алмаздан, бор нитридинен кийинки экинчи орунда турат
Коррозияга каршылык:күчтүү кислота жана щелочтун коррозиясы жок, коррозияга туруктуулугу вольфрам карбидине жана глиноземге караганда жакшыраак
Жеңил салмак:тыгыздыгы төмөн, алюминийге жакын
Деформация жок: жылуулук кеңейүү коэффициенти төмөн
Термикалык шок каршылык:ал температуранын кескин өзгөрүшүнө туруштук бере алат, термикалык соккуга туруштук бере алат жана туруктуу иштешине ээ
SiC физикалык касиеттери
Менчик | Нарк | Метод |
тыгыздыгы | 3,21 г/cc | Раковина жана өлчөм |
Өзгөчө жылуулук | 0,66 Дж/г °К | Импульстуу лазер жарыгы |
Ийилүүчү күч | 450 МПа 560 МПа | 4 чекит ийилип, RT4 чекит ийилип, 1300° |
Сыныктыруу катуулугу | 2,94 МПа м1/2 | Микроидентация |
Катуулугу | 2800 | Vicker's, 500 г жүк |
Elastic ModulusYoung's Modulus | 450 GPa430 GPa | 4 pt ийилген, RT4 pt ийилген, 1300 °C |
Дан өлчөмү | 2 – 10 мкм | SEM |
SiCтин жылуулук касиеттери
Жылуулук өткөргүчтүк | 250 Вт/м °К | Лазердик жаркылдоо ыкмасы, RT |
Термикалык кеңейүү (CTE) | 4,5 x 10-6 °К | Бөлмө температурасы 950 °C, кремний дилатометри |