Жарым өткөргүч үчүн SiC каптоо/графит субстрат менен капталган,Графит лотоктору, Sic Graphiteэпитаксиялык сезгичтер,
Көмүртек сезгичтерди берет, EPITAXY ЖАНА MOCVD, эпитаксиялык сезгичтер, Графит лотоктору, Wafer Suceptors,
CVD-SiC каптоо туруктуу физикалык жана химиялык касиеттери менен бирдиктүү түзүм, компакт материал, жогорку температурага туруктуулук, кычкылданууга каршылык, жогорку тазалык, кислота жана щелочко каршылык жана органикалык реагенттин өзгөчөлүктөрүнө ээ.
Жогорку тазалыктагы графит материалдары менен салыштырганда, графит 400Сде кычкылдана баштайт, бул кычкылдануунун натыйжасында порошоктун жоголушуна алып келет, натыйжада перифериялык түзүлүштөр жана вакуумдук камералар айлана-чөйрөнүн булганышына алып келет жана жогорку тазалыктагы чөйрөнүн кирлерин көбөйтөт.
Бирок, SiC каптоо физикалык жана химиялык туруктуулукту 1600 градуста сактай алат, ал заманбап өнөр жайда, айрыкча жарым өткөргүч өнөр жайында кеңири колдонулат.
Биздин компания графит, керамика жана башка материалдардын бетинде CVD ыкмасы менен SiC каптоо процессин камсыздайт, ошондуктан көмүртек жана кремний камтыган атайын газдар жогорку температурада реакцияга кирип, жогорку тазалыктагы SiC молекулаларын, капталган материалдардын бетине жайгаштырылган молекулаларды, SIC коргоочу катмарын түзүү. Түзүлгөн SIC графиттин негизи менен бекем биригип, графиттин негизине өзгөчө касиеттерди берет, ошентип графиттин бетин компакттуу, Porosity-эркин, жогорку температурага, коррозияга жана кычкылданууга туруктуулукка ээ кылат.
Негизги өзгөчөлүктөрү:
1. Жогорку температурадагы кычкылданууга каршылык:
кычкылданууга каршылык температура 1700 С чейин жогору болсо дагы абдан жакшы.
2. Жогорку тазалык: жогорку температурада хлордоо шартында химиялык буу коюу жолу менен жасалган.
3. Эрозияга туруштук берүү: жогорку катуулук, компакт бети, майда бөлүкчөлөр.
4. Коррозияга туруктуулугу: кислота, щелоч, туз жана органикалык реагенттер.
CVD-SIC жабуунун негизги мүнөздөмөлөрү:
SiC-CVD | ||
тыгыздыгы | (г/cc)
| 3.21 |
Ийилүүчү күч | (Мпа)
| 470 |
Термикалык кеңейүү | (10-6/К) | 4
|
Жылуулук өткөрүмдүүлүк | (Вт/мК) | 300 |
Камсыздоо мүмкүнчүлүгү:
10000 даана / айына
Таңгактоо жана жеткирүү:
Таңгактоо: Стандарттык жана күчтүү таңгактоо
Поли баштык + Коробка + Картон + Палет
Порт:
Нинбо/Шенчжэнь/Шанхай
Даярдануу убакты:
Саны (даана) | 1 – 1000 | >1000 |
Болжол. Убакыт (күндөр) | 15 | Сүйлөшүү үчүн |