кремний карбид каптоо,адатта SiC каптоо катары белгилүү болгон Химиялык бууларды жайгаштыруу (CVD), физикалык бууларды салуу (PVD) же термикалык чачуу сыяктуу ыкмалар аркылуу беттерге кремний карбидинин катмарын колдонуу процессин билдирет. Бул кремний карбид керамикалык каптоо өзгөчө эскирүүгө туруктуулукту, жылуулук туруктуулукту жана коррозиядан коргоону берүү менен ар кандай субстраттардын беттик касиеттерин жакшыртат. SiC өзүнүн эң сонун физикалык жана химиялык касиеттери, анын ичинде жогорку эрүү температурасы (болжол менен 2700 ℃), өтө катуулугу (Mohs шкаласы 9), коррозияга жана кычкылданууга мыкты туруктуулугу жана өзгөчө абляция көрсөткүчтөрү менен белгилүү.
Өнөр жай колдонмолорунда кремний карбидин каптоо негизги артыкчылыктары
Бул өзгөчөлүктөрдөн улам кремний карбид каптоо аэрокосмостук, курал-жарак жабдуулары жана жарым өткөргүчтөрдү иштетүү сыяктуу тармактарда кеңири колдонулат. Экстремалдуу шарттарда, өзгөчө 1800-2000℃ диапазонунда, SiC каптоо укмуштуудай термикалык туруктуулукту жана абляциялык каршылыкты көрсөтүп, аны жогорку температурада колдонуу үчүн идеалдуу кылат. Бирок, кремний карбиди жалгыз көптөгөн колдонмолор үчүн зарыл болгон структуралык бүтүндүккө ээ эмес, ошондуктан каптоо ыкмалары компоненттеринин күчүн бузбастан, анын уникалдуу касиеттерин колдонуу үчүн колдонулат. Жарым өткөргүч өндүрүшүндө кремний карбид менен капталган элементтер MOCVD процесстеринде колдонулган жабдуулардын ичинде ишенимдүү коргоону жана аткаруунун туруктуулугун камсыз кылат.
Кремний карбид каптоо даярдоо үчүн жалпы ыкмалары
Ⅰ● Химиялык бууларды жайгаштыруу (CVD) кремний карбидин каптоо
Бул ыкмада SiC каптоосу субстраттарды реакция камерасына жайгаштыруу аркылуу түзүлөт, мында метилрихлоросилан (МТС) прекурсор катары иштейт. Көзөмөлгө алынган шарттарда — эреже катары, 950-1300°С жана терс басымда — МТС ыдырап, кремний карбиди жер бетине төгүлөт. Бул CVD SiC каптоо процесси жарым өткөргүч жана аэрокосмостук секторлордо жогорку тактыктагы колдонмолор үчүн идеалдуу, мыкты кармануу менен тыгыз, бирдей жабууну камсыз кылат.
Ⅱ● Прекурсорлорду конверсиялоо ыкмасы (Полимердик импрегнация жана пиролиз – PIP)
Дагы бир эффективдүү кремний карбиди брызги каптоо ыкмасы - прекурсорлорду конверсиялоо ыкмасы, ал алдын ала иштетилген үлгүнү керамикалык прекурсордук эритмеге чөмүлдүрүүнү камтыйт. Импрегнациялоочу резервуарды чаң соргучтан өткөрүп жана жабууга басым койгондон кийин үлгү ысытылат, бул муздаганда кремний карбидинин каптоосунун пайда болушуна алып келет. Бул ыкма бирдей жабуунун калыңдыгын жана жакшыртылган эскирүүгө туруктуулукту талап кылган компоненттер үчүн ылайыктуу.
Кремний карбид каптоо физикалык касиеттери
Кремний карбид жабуулары өнөр жайлык талап кылынган колдонмолор үчүн идеалдуу кылган касиеттерди көрсөтөт. Бул касиеттерге төмөнкүлөр кирет:
Жылуулук өткөрүмдүүлүк: 120-270 Вт/м·К
Термикалык кеңейүү коэффициенти: 4,3 × 10^(-6)/K (20~800℃де)
Электрдик каршылык: 10^5– 10^6Ω·см
Катуулугу: Mohs шкаласы 9
Кремний карбид каптоо колдонмолору
Жарым өткөргүч өндүрүшүндө, MOCVD жана башка жогорку температура процесстери үчүн кремний карбид каптоо жогорку температурага туруктуулукту жана туруктуулукту сунуштоо менен реакторлор жана сезгичтер сыяктуу маанилүү жабдууларды коргойт. Аэрокосмостук жана коргонуу тармагында кремний карбид керамикалык каптамалары жогорку ылдамдыктагы таасирлерге жана коррозиялык чөйрөлөргө туруштук бере турган компоненттерге колдонулат. Мындан тышкары, кремний карбид боёк же каптоо, ошондой эле стерилдөө жол-жоболору астында бекемдикти талап медициналык аппараттар үчүн колдонулушу мүмкүн.
Эмне үчүн кремний карбид каптоо тандоо?
Компоненттердин иштөө мөөнөтүн узартуу боюнча далилденген рекорду менен кремний карбид каптоолору теңдешсиз туруктуулукту жана температуранын туруктуулугун камсыз кылып, аларды узак мөөнөттүү пайдалануу үчүн үнөмдүү кылат. Кремний карбиди менен капталган бетти тандоо менен, тармактар тейлөөгө кеткен чыгымдарды кыскартуудан, жабдуулардын ишенимдүүлүгүн жогорулатуудан жана иштөө натыйжалуулугун жогорулатуудан пайда алышат.
Эмне үчүн VET ENERGY тандоо керек?
VET ENERGY Кытайда кремний карбид каптоо буюмдарын кесиптик өндүрүүчүсү жана фабрика болуп саналат. Негизги SiC каптоо буюмдар кремний карбид керамикалык каптоо жылыткыч кирет,CVD Silicon Carbide Coating MOCVD Susceptor, CVD SiC каптоо менен MOCVD Graphite ташуучу, SiC капталган графит базасы, Жарым өткөргүч үчүн кремний карбид капталган графит субстрат,SiC каптоо / капталган графит субстрат / жарым өткөргүч үчүн лоток, CVD SiC капталган көмүртек-көмүртек курама CFC кайык көк. VET ENERGY жарым өткөргүч өнөр жайы үчүн алдыңкы технологияларды жана продукт чечимдерин камсыз кылууга умтулат. Биз чын жүрөктөн сиздин Кытайдагы узак мөөнөттүү өнөктөш болууга үмүттөнөбүз.
Посттун убактысы: 02-02-2023