Буу фазасынын эпитаксиясы (VPE) процессинде пьедесталдын ролу субстратты колдоо жана өсүү процессинде бирдей жылытууну камсыз кылуу болуп саналат. Пьедесталдардын ар кандай түрлөрү ар кандай өсүү шарттарына жана материалдык системаларга ылайыктуу. Төмөндө буу фазасында кеңири колдонулган пьедестал түрлөрү барэпитаксия:
Баррель постамент
Баррлдин пьедесталдары көбүнчө горизонталдуу же кыйшайган буу фазасынын эпитаксиялык системаларында колдонулат. Алар субстратты кармап, газдын субстраттын үстүнөн агып өтүшүн камсыздай алат, бул бирдиктүү эпитаксиалдык өсүшкө жетишүүгө жардам берет.
Диск түрүндөгү постамент (вертикалдуу пьедестал)
Диск түрүндөгү пьедесталдар субстрат вертикалдуу жайгаштырылган вертикалдык буу фазалуу эпитаксиялык системалар үчүн ылайыктуу. Бул дизайн субстрат менен сезгичтин ортосундагы байланыш аянтын азайтууга жардам берет, ошону менен жылуулук жоготууларын жана мүмкүн болуучу булганууну азайтат.
Горизонталдык сезгич
Горизонталдык сезгичтер буу фазасындагы эпитаксияда азыраак кездешет, бирок горизонталдуу багытта эпитаксиалдык өсүүгө мүмкүндүк берүү үчүн кээ бир белгилүү өсүү системаларында колдонулушу мүмкүн.
Монолиттик эпитаксиалдык реакция сезгич
Монолиттик эпитаксиалдык реакция сезгич бир субстрат үчүн иштелип чыккан, ал жогорку сапаттагы эпитаксиалдык катмарлардын өсүшүнө ылайыктуураак температураны көзөмөлдөөнү жана жакшыраак жылуулук изоляциясын камсыздай алат.
Продукт тууралуу маалымат жана кеңеш алуу үчүн биздин веб-сайтка кош келиңиз.
Биздин веб-сайт: https://www.vet-china.com/
Посттун убактысы: 2024-жылдын 30-июлуна чейин