Фотолитографиялык машиналардын так бөлүктөрүндө артыкчылыктуу материал
Жарым өткөргүч талаасында,кремний карбиди керамикаматериалдар негизинен интегралдык микросхемаларды өндүрүү үчүн негизги жабдууларда колдонулат, мисалы, кремний карбидинин столу, багыттоочу рельстер,рефлекторлор, керамикалык соргуч, литографиялык машиналар үчүн кол, майдалоочу дисктер, арматуралар ж.б.
Кремний карбид керамикалык бөлүктөрүжарым өткөргүч жана оптикалык жабдуулар үчүн
● кремний карбид керамикалык майдалоочу диск. Эгерде майдалоочу диск чоюндан же көмүртектүү болоттон жасалган болсо, анын иштөө мөөнөтү кыска жана термикалык кеңейүү коэффициенти чоң. Кремний пластинкаларын кайра иштетүүдө, өзгөчө жогорку ылдамдыкта майдалоодо же жылмалоодо, майдалоочу дисктин эскириши жана термикалык деформациясы кремний пластинкасынын тегиздигин жана параллелдүүлүгүн камсыз кылууну кыйындатат. Кремний карбид керамикасынан жасалган майдалоочу дисктин катуулугу жана эскилиги аз, ал эми жылуулук кеңейүү коэффициенти негизинен кремний пластинкаларына окшош, ошондуктан аны жогорку ылдамдыкта майдалап, жылтыратууга болот.
● Кремний карбид керамикалык арматура. Мындан тышкары, кремний пластиналар өндүрүлгөндө, алар жогорку температурада термикалык дарылоодон өтүшү керек жана көбүнчө кремний карбидинин арматурасын колдонуу менен ташылат. Алар ысыкка чыдамдуу жана кыйратуучу эмес. Алмаз сымал көмүртек (DLC) жана башка каптамалар майнаптуулугун жогорулатуу, пластинанын бузулушун жеңилдетүү жана булгануунун жайылышын алдын алуу үчүн колдонулушу мүмкүн.
● Кремний карбидинин столу. Литография машинасындагы жумушчу үстөлдү мисал катары алсак, жумушчу үстөл негизинен экспозиция кыймылын аяктоо үчүн жооптуу, ал жогорку ылдамдыктагы, чоң соккуну, алты даражадагы эркиндикти нано-деңгээлдеги ультра тактык кыймылын талап кылат. Мисалы, 100 нм чечүүчү литография машинасы үчүн, 33 нм кабаттуу тактык жана 10 нм сызык туурасы, 10 нмге жетүү үчүн столдун жайгашуу тактыгы талап кылынат, маска-кремний пластинкасынын бир эле убакта кадам таштоо жана сканерлөө ылдамдыгы 150 нм/с. жана 120нм/с, жана маска сканерлөө ылдамдыгы 500nm / с жакын, жана worktable абдан жогорку кыймыл тактыгына жана туруктуулугуна ээ болушу талап кылынат.
Иш үстөлүнүн жана микро кыймылдуу үстөлдүн схемалык схемасы (жарым-жартылай бөлүм)
● Кремний карбид керамикалык чарчы күзгү. Литография машиналары сыяктуу негизги интегралдык микросхема жабдууларынын негизги компоненттери татаал формаларга, татаал өлчөмдөргө жана көңдөй жеңил структураларга ээ, бул кремний карбидинин керамикалык компоненттерин даярдоону кыйындатат. Учурда Голландиядагы ASML, Япониядагы NIKON жана CANON сыяктуу негизги эл аралык интегралдык микросхема жабдууларын өндүрүүчүлөр чарчы күзгүлөрдү, литография машиналарынын негизги компоненттерин даярдоо үчүн микрокристаллдык айнек жана кордиерит сыяктуу көп сандагы материалдарды колдонушат жана кремний карбидин колдонушат. жөнөкөй фигуралар менен башка жогорку натыйжалуу структуралык компоненттерди даярдоо үчүн керамика. Бирок, Кытайдын курулуш материалдарын изилдөө институтунун адистери литография машиналары үчүн чоң өлчөмдөгү, татаал формадагы, өтө жеңил, толук жабык кремний карбидинен жасалган чарчы күзгүлөрдү жана башка структуралык жана функционалдык оптикалык компоненттерди даярдоого жетишүү үчүн менчик даярдоо технологиясын колдонушкан.
Посттун убактысы: 2024-жылдын 10-октябрына чейин