PECVD процесси үчүн графит ташуучу

PECVD процесси үчүн Graphite Carrier Featured Image

Кыска сүрөттөмө:

VET EnergyКүн панели үчүн PECVD Graphite Boat - бул жогорку өндүрүмдүүлүктөгү күн панелдерин өндүрүү үчүн атайын иштелип чыккан өнүккөн компонент. Плазмада жакшыртылган химиялык бууларды жайгаштыруу (PECVD) процесстеринде колдонулган бул графит кайык материалды оптималдуу иштетүүнү жана күн батареяларына жука пленкалардын бирдей катмарын камсыздайт. Тактык жана бышыктык үчүн иштелип чыккан, ал эффективдүү, жогорку сапаттагы күн панелдерин өндүрүү үчүн маанилүү болгон жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүктү, коррозияга жогорку туруктуулукту жана минималдуу булганууну камсыз кылат.

Бизге электрондук кат жөнөтүңүз PDF катары жүктөп алыңыз

Продукт чоо-жайы

Продукт тегдери

VET EnergyPECVD процесси графит алып жүрүүчүсү - бул PECVD (плазмадагы химиялык буулардын катмары) процессине ылайыкташтырылган жогорку сапаттагы сарпталуучу материал. Бул графит ташуучу жогорку тазалыктагы, жогорку тыгыздыктагы графит материалынан жасалган, эң сонун жогорку температурага, коррозияга туруштук берүүгө, өлчөмдүү туруктуулукка жана башка мүнөздөмөлөргө ээ, ичке пленканын бирдейлигин жана тегиздигин камсыз кылуу үчүн PECVD процесси үчүн туруктуу ташуучу платформаны камсыздай алат. салуу.

PECVD процесси үчүн графит ташыгычтар төмөнкү мүнөздөмөлөргө ээ:

▪ Жогорку тазалык: өтө төмөн ыпластык, пленканын булганышын болтурбоо жана пленканын сапатын камсыз кылуу.

▪ Жогорку тыгыздык: жогорку тыгыздык, жогорку механикалык күч, жогорку температурага жана жогорку басым PECVD чөйрөсүнө туруштук бере алат.

▪ Жакшы өлчөмдүү туруктуулук: процесстин туруктуулугун камсыз кылуучу жогорку температурада кичине өлчөмдүү өзгөрүү.

▪ Мыкты жылуулук өткөрүмдүүлүк: пластинкалардын ысып кетишинин алдын алуу үчүн жылуулукту эффективдүү өткөрүңүз.

▪ Күчтүү коррозияга туруктуулугу: ар кандай жегич газдардын жана плазманын эрозиясына туруштук бере алат.

▪ Ыңгайлаштырылган тейлөө: ар кандай өлчөмдөгү жана формадагы графит ташыгычтар кардарлардын муктаждыктарына ылайыкташтырылышы мүмкүн.

SGLден алынган графит материалы:

Типтүү параметр: R6510
Индекс	Сыноо стандарты	Нарк	бирдиги
Орточо дан өлчөмү	ISO 13320	10	мкм
Массалык тыгыздык	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Ачык көзөнөктүүлүк	DIN66133	10	%
Орто тешикче өлчөмү	DIN66133	1.8	мкм
Өткөргүчтүк	DIN 51935	0.06	см²/с
Rockwell катуулук HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Салыштырмалуу электрдик каршылык	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Ийилүүчү күч	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Кысуу күчү	DIN 51910	130	МПа
Янгдын модулу	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Термикалык кеңейүү (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Жылуулук өткөрүмдүүлүк (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Бул атайын G12 чоң өлчөмдөгү пластинкасын иштетүүнү колдогон, жогорку эффективдүү күн батареяларын өндүрүү үчүн иштелип чыккан. Оптималдаштырылган ташуучу конструкциясы өткөрүү жөндөмдүүлүгүн кыйла жогорулатып, кирешелүүлүктүн жогорулашына жана өндүрүштүк чыгымдардын төмөндөшүнө шарт түзөт.

пункт	Түр	Номер вафли ташуучу
PEVCD Grephite кайык - 156 сериясы	156-13 грефит кайык	144
	156-19 грефит кайык	216
	156-21 грефит кайык	240
	156-23 графит кайык	308
PEVCD Grephite кайык - 125 сериясы	125-15 грефит кайык	196
	125-19 грефит кайык	252
	125-21 грфит кайык	280