Жарым өткөргүч өнөр жай талаптары графит материалдык талаптар өзгөчө жогору, графиттин майда бөлүкчөлөрүнүн өлчөмү жогорку тактыкка, жогорку температурага туруштук берүүгө, жогорку күчкө, аз жоготууга жана башка артыкчылыктарга ээ, мисалы: агломерацияланган графит буюмдары көк.Жарым өткөргүч өнөр жайында колдонулган графит жабдуулары (анын ичинде жылыткычтар жана алардын агломерацияланган калыптары) графиттик жабдуулардын кызмат мөөнөтүн узартуу үчүн көп жолу ысытуу жана муздатуу процесстерине туруштук берүү талап кылынгандыктан, адатта колдонулган графит материалдарынын туруктуу иштеши талап кылынат. жана ысыкка туруктуу таасир функциясы.
01 Жарым өткөргүч кристалл өсүшү үчүн графит аксессуарлары
Жарым өткөргүч кристаллдарды өстүрүү үчүн колдонулган бардык процесстер жогорку температурада жана коррозиялык чөйрөдө иштейт. Кристалл өстүрүүчү мештин ысык зонасы, адатта, ысыкка чыдамдуу жана коррозияга туруктуу жогорку тазалыктагы графит компоненттери менен жабдылган, мисалы, жылыткыч, тигель, изоляция цилиндри, жетектөөчү цилиндр, электрод, тигел кармоочу, электрод гайка, ж.б.
Биз кристалл өндүрүүчү түзүлүштөрдүн бардык графит бөлүктөрүн өндүрө алабыз, алар жекече же топтомдордо берилиши мүмкүн, же кардарлардын талаптарына ылайык ар кандай өлчөмдөгү графит бөлүктөрү. Продукциялардын өлчөмүн жеринде ченесе болот, ал эми даяр продукциянын күлү азыраак болушу мүмкүн5ppm караганда.
02 Жарым өткөргүчтүү эпитаксия үчүн графит аксессуарлары
Эпитаксиалдык процесс монокристаллдык субстраттагы субстрат сыяктуу торчолордун жайгашуусу менен монокристаллдык материалдын катмарынын өсүшүн билдирет. Эпитаксиалдык процессте пластинка графиттик дискке жүктөлөт. Графит дискинин иштеши жана сапаты пластинанын эпитаксиалдык катмарынын сапатында маанилүү роль ойнойт. Эпитаксиалдык өндүрүш тармагында көп ультра жогорку тазалыктагы графит жана SIC каптоо менен жогорку тазалыктагы графит базасы керек.
Биздин компаниянын жарым өткөргүчтүү эпитаксия үчүн графит базасы кеңири спектрге ээ, өнөр жайда кеңири колдонулган жабдуулардын көпчүлүгүнө дал келет жана жогорку тазалыкка, бир калыпта жабууга, эң сонун кызмат кылуу мөөнөтүнө жана жогорку химиялык туруктуулукка жана жылуулук туруктуулугуна ээ.
03 Иондук имплантация үчүн графит аксессуарлары
Иондук имплантация деп бордун, фосфордун жана мышьяктын плазмалык шооласын белгилүү бир энергияга чейин тездетүү процессин түшүндүрөт, андан кийин аны вафли материалынын үстүнкү катмарына сайып, үстүңкү катмардын материалдык касиеттерин өзгөртүүнү билдирет. Иондук имплантациялоочу аппараттын компоненттери эң сонун жылуулукка туруктуулугу, жылуулук өткөрүмдүүлүгү, ион нурунан келип чыккан коррозиясы аз жана кирлердин аздыгы бар жогорку таза материалдардан жасалышы керек. Жогорку тазалыктагы графит колдонуу талаптарына жооп берет жана ион имплантациялоочу жабдуулардын учуу түтүгү, ар кандай тешиктер, электроддор, электрод капкактары, өткөргүчтөр, нур терминаторлору жана башкалар үчүн колдонулушу мүмкүн.
Биз ар кандай ион имплантациялоочу машиналар үчүн графиттен коргоочу жабууну гана камсыз кылбастан, ошондой эле ар кандай мүнөздөмөлөрдүн жогорку коррозияга туруктуулугу менен жогорку тазалыктагы графит электроддорун жана ион булактарын камсыздай алабыз. Колдонулуучу моделдер: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM жана башка жабдуулар. Мындан тышкары, биз ошондой эле шайкеш керамика, вольфрам, молибден, алюминий буюмдарын жана капталган бөлүктөрүн камсыз кыла алат.
04 Графит изоляциялык материалдар жана башкалар
Жарым өткөргүч өндүрүштүк жабдууларда колдонулган жылуулук изоляциялоочу материалдарга графит катуу кийиз, жумшак кийиз, графит фольга, графит кагазы жана графит аркан кирет.
Биздин бардык чийки зат кардарлардын талаптарынын белгилүү бир өлчөмүнө жараша кесип же бүтүндөй сатылган болот импорттук графит болуп саналат.
Көмүртек-көмүртек лоток күн монокристаллдуу кремний жана поликристалл кремний клеткаларын өндүрүү процессинде пленка менен каптоо үчүн ташуучу катары колдонулат. Иштөө принциби: кремний чипти CFC лотогуна салыңыз жана пленка менен жабууну иштетүү үчүн мештин түтүгүнө жөнөтүңүз.
