Эпитаксиалдык эпи графит баррель сусцептору

Эпитаксиалдык эпи графит баррель сусцептору

Эпитаксиалдык эпи графит баррель сусцепторуДепозит же эпитаксия процесстери сыяктуу өндүрүш процесстеринде жарым өткөргүч субстраттарды кармап туруу жана жылытуу үчүн атайын иштелип чыккан колдоо жана жылытуу түзүлүш.

Анын түзүлүшү адатта цилиндр формасында же бир аз бочка формасында, үстүнкү өзгөчөлүктөр бир нече чөнтөктөрдү же пластиналарды жайгаштыруу үчүн аянтчаларды камтыйт, жылытуу ыкмасына жараша катуу же көңдөй дизайн болушу мүмкүн.

Эпитаксиалдык баррель сезгичтин негизги функциялары:

-Субстраттык колдоо: бир нече жарым өткөргүч пластиналарды ишенимдүү кармап турат;
-Жылуулук булагы: жылытуу аркылуу өсүү үчүн зарыл болгон жогорку температураны камсыз кылат;
-Температуранын бирдейлиги: субстраттардын бирдей жылытылышын камсыз кылат;
-Айлануу: адатта температураны жана газ бөлүштүрүүнүн бирдейлигин жакшыртуу үчүн өсүү учурунда айланат.

Эпи графит баррель сезгичтин иштөө принциби:
- эпитаксиалдык реактордо баррлдин сезгичтери талап кылынган температурага чейин ысытылат (адатта кремний эпитаксиясы үчүн 1000℃-1200℃);
-Бочка сезгич температуранын бирдей бөлүштүрүлүшүн жана газ агымын камсыз кылуу үчүн айланат;
-Реакция газдары жогорку температурада ыдырап, субстраттын бетинде эпитаксиалдык катмарларды пайда кылат.

Тиркемелер:
-Биринчи кезекте кремний эпитаксиалдык өсүш үчүн колдонулат
-Ошондой эле GaAs, InP ж.

VET Energy химиялык туруктуулукту жогорулатуу үчүн CVD-SiC капталган жогорку тазалыктагы графитти колдонот:

VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor артыкчылыктары:

- Жогорку температуранын туруктуулугу;
- жакшы жылуулук бирдейлиги;
- өндүрүштүн натыйжалуулугун жогорулатуу, бир эле учурда бир нече субстраттарды иштете алат;
-Химиялык жактан инерттүү, жогорку тазалыктагы өсүү чөйрөсүн сактоо.