Keştiya Waferê ya Silicon Carbide Recrystallized with CVD Coating

Taybetmendiyên karbîdê siliconê ji nû ve krîstalîzekirî

Karbîda siliconê ya ji nû ve krîstalîzekirî (R-SiC) materyalek bi performansa bilind e ku bi serhişkiya duyemîn tenê ji almasê re ye, ku di germahiyek bilind de li jor 2000℃ pêk tê. Ew gelek taybetmendiyên hêja yên SiC digire, wekî hêza germahiya bilind, berxwedana korozyonê ya bihêz, berxwedana oksîdasyonê ya hêja, berxwedana şoka termal a baş û hwd.

● Taybetmendiyên mekanîkî yên hêja. Karbîdê siliconê ji nû ve kristalkirî ji fîbera karbonê xwedî hêz û serhişkiya bilindtir e, berxwedana bandorê ya bilind, dikare di hawîrdorên germahiya giran de performansek baş bilîze, dikare di cûrbecûr rewşan de performansek berevajî çêtir bilîze. Digel vê yekê, ew di heman demê de xwedan nermbûnek baş e û ji hêla dirêjkirin û çikandinê ve bi hêsanî zirarê nade, ku performansa wê pir çêtir dike.

● Berxwedana korozyonê ya bilind. Karbîda siliconê ya ji nû ve kristalkirî li hember cûrbecûr medyayê xwedan berxwedana korozyonê ya bilind e, dikare pêşî li erozyona cûrbecûr medyaya korozîf bigire, dikare taybetmendiyên xwe yên mekanîkî ji bo demek dirêj biparêze, xwedan adhesionek xurt e, da ku ew xwedan jiyanek karûbarê dirêjtir be. Digel vê yekê, ew di heman demê de xwedan aramiya germî ya baş e, dikare bi rêzek guherînên germahiyê re adapte bibe, bandora serîlêdana wê baştir bike.

● Sintering nagire. Ji ber ku pêvajoya sinterkirinê qut nabe, ti stresa mayî dê bibe sedema deformasyon an şikestina hilberê, û beşên bi şeklên tevlihev û rastbûna bilind dikarin werin amadekirin.