Mekanîzmaya plansazkirinê ya CMP çi ye?

Dual-Damascene teknolojiyek pêvajoyek e ku ji bo çêkirina pêwendiyên metalî yên di çerxên yekbûyî de tê bikar anîn. Ev pêşketineke din a pêvajoya Şamê ye. Di heman gavê de di heman gavê pêvajoyê de di nav qul û roviyan de çêdibe û wan bi metal dagirtin, çêkirina yekbûyî ya têkelên metal pêk tê.

Çima jê re dibêjin Şam?

Bajarê Şamê paytexta Sûriyê ye û şûrên Şamê bi tûjbûn û teşeya xwe ya xweş navdar in. Cûreyek pêvajoyek xêzkirinê hewce ye: yekem, nexşeya pêwîst li ser rûyê pola Şamê tê xêzkirin, û malzemeyên ku ji berê hatine amade kirin bi hişkî di nav zozanên gravkirî de têne danîn. Piştî ku xêzkirin qediya, dibe ku rûber hinekî nehevî be. Pîşesaz dê bi baldarî wê bişoxilîne da ku aramiya giştî misoger bike. Û ev pêvajo prototîpa pêvajoya Şamê ya dualî ya çîpê ye. Pêşî di qata dielektrîkê de groov an kun têne xêzkirin, û dûv re jî metal di wan de tê dagirtin. Piştî dagirtin, metala zêde dê bi cmp were rakirin.

Pêngavên sereke yên pêvajoya dualî ya şamê ev in:

▪ Rakirina qata dielektrîkê:

Parçeyek ji maddeya dîelektrîkê, wek dîoksîta silicon (SiO2), li ser nîvconductor rakin.wafer.

▪ Fotolîtografî ji bo diyarkirina nimûneyê:

Fotolîtografî bikar bînin da ku şêwaza rê û xendekan li ser qata dielektrîkê diyar bikin.

▪Etching:

Bi pêvajoyek eçkirina zuwa an şil, şêweya vias û xendekan veguhezînin qata dielektrîkê.

▪ Rakirina metal:

Metalê, wekî sifir (Cu) an aluminium (Al), di rê û xendekan de bihêlin da ku têkelên metal çêkin.

▪ Paqijkirina mekanîkî ya kîmyewî:

Paqijkirina mekanîkî ya kîmyewî ya rûyê metalê ji bo rakirina metala zêde û rûxandin.

Li gorî pêvajoya hilberîna pevgirêdana metal a kevneşopî, pêvajoya damascene ya dualî xwedî avantajên jêrîn e:

▪Gavên pêvajoya hêsankirî:bi avakirina rê û xendekan bi hevdemî di heman qonaxa pêvajoyê de, gavên pêvajoyê û dema çêkirinê kêm dibin.

▪Rêveberiya hilberînê ya çêtir:ji ber kêmkirina gavên pêvajoyê, pêvajoya damascene dualî dikare karbidestiya hilberînê baştir bike û lêçûnên hilberînê kêm bike.

▪Performansa têkelên metalê baştir bikin:pêvajoya damascene ya dualî dikare bihevgirêdanên metalî yên tengtir bi dest bixe, bi vî rengî yekbûn û performansa dorhêlan baştir bike.

▪Kapasîteya parazît û berxwedanê kêm bikin:bi karanîna materyalên dielektrîkî yên kêm-k û xweşbînkirina strukturên pêwendiyên metalî, kapasîteya parazît û berxwedanê dikare were kêm kirin, leza û performansa xerckirina hêzê ya dorhêlan baştir bike.