Cûdahiya di navbera PECVD û LPCVD de di alavên CVD yên nîvconductor de çi ye?

Rakirina buhara kîmyewî (CVD) behsa pêvajoya danîna fîlimek zexm li ser rûyê siliconê dikewaferbi rêya reaksiyona kîmyayî ya tevlîheviya gazê. Li gorî şert û mercên reaksiyonê yên cihêreng (zext, pêşgir), ew dikare li modelên cûrbecûr alavên dabeş bibe.

Ev her du cîhaz ji bo çi pêvajoyan têne bikar anîn?

PECVDAmûra (Plasma Enhanced) ya herî pir û herî gelemperî ye, ku di OX, Nîtrid, deriyê metal, karbona amorf, hwd de tê bikar anîn; LPCVD (hêza kêm) bi gelemperî di Nitride, poly, TEOS de tê bikar anîn.
prensîb çi ye?
PECVD-pêvajoyek ku enerjiya plazma û CVD bi rengek bêkêmasî li hev dike. Teknolojiya PECVD plasma-germahiya nizm bikar tîne da ku li katodê jûreya pêvajoyê (ango, tepsiya nimûne) di bin tansiyona nizm de vekêşana ronahiyê çêbike. Ev dakêşana ronahiyê an amûrek din a germkirinê dikare germahiya nimûneyê bi astek pêşbirkirî bilind bike, û dûv re mîqdarek kontrolkirî ya gaza pêvajoyê destnîşan bike. Ev gaz di nav rêzek reaksiyonên kîmyewî û plazmayê de derbas dibe û di dawiyê de li ser rûyê nimûneyê fîlmek hişk çêdike.

LPCVD - Depokirina buhara kîmyewî ya bi tansiyona nizm (LPCVD) ji bo kêmkirina zexta xebitandinê ya gaza reaksiyonê ya di reaktorê de bi qasî 133Pa an kêmtir tête çêkirin.

Taybetmendiyên her yekê çi ne?

PECVD - Pêvajoyek ku enerjiya plazmayê û CVD bi rengek bêkêmasî li hev dike: 1) Operasyona germahiya nizm (dûrxistina zirara germahiya bilind a alavên); 2) Mezinbûna fîlimê ya bilez; 3) Di derbarê materyalan de ne bijare, OX, Nîtrîd, deriyê metal, karbona amorf hemî dikarin mezin bibin; 4) Pergalek çavdêriya li cîhê heye, ku dikare bi pîvanên ion, rêjeya herikîna gazê, germahî û qelewbûna fîlimê reçeteyê rast bike.
LPCVD - Fîlimên zirav ên ku ji hêla LPCVD ve hatine razandin dê xwedan vegirtina gavê çêtir, pêkhatin û kontrolkirina strukturê ya baş, rêjeya depokirin û hilberîna bilind bin. Digel vê yekê, LPCVD gaza hilgirê hewce nake, ji ber vê yekê ew pir çavkaniya qirêjiya parçikê kêm dike û bi berfirehî di pîşesaziyên nîvconduktorê yên nirxa zêde de ji bo depokirina fîlima tenik tê bikar anîn.

 

Hûn bi xêr hatin xerîdarên ji çar aliyên cîhanê ku ji bo nîqaşek din serdana me bikin!

https://www.vet-china.com/

https://www.vet-china.com/cvd-coating/

https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/