Firina yek krîstal amûrek e ku a bikar tînegermê grafîtji bo melzemeyên siliconê polîkrîstalîn di hawîrdorek gaza bêhêz (argon) de bihelîne û rêbaza Czochralski bikar tîne da ku krîstalên yekbûyî yên neveqetandî mezin bike. Ew bi gelemperî ji pergalên jêrîn pêk tê:
Pergala veguhestina mekanîkî
Pergala veguheztina mekanîkî pergala xebitandina bingehîn a firna yek krîstal e, ku bi giranî berpirsiyarê kontrolkirina tevgera krîstalan e ûcrucibles, di nav de hilkirin û zivirîna krîstalên tovan û hilkirin û zivirandinacrucibles. Ew dikare bi awakî rast pîvanên wekî pozîsyon, leza û goşeya zivirînê ya krîstal û kavilan rast bike da ku pêşkeftina bêkêmasî ya pêvajoya mezinbûna krîstal misoger bike. Mînakî, di qonaxên cihêreng ên mezinbûna krîstal de yên wekî tovkirin, stûdan, mil, mezinbûna pîvana wekhev û dûvikê de, pêdivî ye ku tevgera krîstalên tov û tîrêjan bi rast ji hêla vê pergalê ve were kontrol kirin da ku hewcedariyên pêvajoyê yên mezinbûna krîstal bicîh bîne.
Pergala kontrolkirina germahiya germkirinê
Ev yek ji pergalên bingehîn ên firna yek krîstal e, ku ji bo hilberandina germê û kontrolkirina rast a germahiya di firnê de tê bikar anîn. Ew bi gelemperî ji hêmanên wekî germker, senzorên germahiyê, û kontrolkerên germahiyê pêk tê. Heater bi gelemperî ji materyalên wekî grafît-paqijiya bilind têne çêkirin. Piştî ku herika alternatîf tê guheztin û kêm kirin da ku heyamê zêde bike, germker germahiyê çêdike da ku materyalên polîkristalîn ên wekî polîsîlîkonê di nav xaxê de bihelîne. Sensora germahiyê di wextê rast de guheztinên germahiyê yên di firnê de dişopîne û sînyala germahiyê ji kontrolkera germahiyê re dişîne. Kontrolkerê germahiyê li gorî pîvanên germahiya destnîşankirî û nîşana germahiya vegerê hêza germkirinê rast kontrol dike, bi vî rengî aramiya germahiyê di firnê de diparêze û ji bo mezinbûna krîstal jîngehek germahiya maqûl peyda dike.
Sîstema valahiya
Fonksiyona bingehîn a pergala valahiya di dema pêvajoya mezinbûna krîstal de di firnê de jîngehek valahiya afirandin û domandin e. Hewa û gazên nepaqijiyê yên di firnê de bi pompên valahiya û alavên din ve têne derxistin da ku zexta gazê ya di firnê de bigihîje astek pir nizm, bi gelemperî li jêr 5TOR (torr). Ev dikare pêşî li materyalê siliconê bigire ku di germên bilind de oksîde nebe û paqijî û kalîteya mezinbûna krîstal misoger bike. Di heman demê de, hawîrdora valahiya di heman demê de ji bo rakirina nepakiyên guhezbar ên ku di pêvajoya mezinbûna krîstal de têne hilberandin û başkirina kalîteya krîstalê jî guncan e.
Sîstema Argon
Pergala argon di parastin û birêkûpêkkirina zexta di firnê de di firna yek krîstal de rolek dilîze. Piştî valakirinê, gaza argonê ya bi paqijiya bilind (divê paqijî ji 6 9 jortir be) di firnê de tê dagirtin. Ji aliyekî ve, ew dikare pêşî li hewaya derve bigire ku nekeve firnê û pêşî li oksîdebûna materyalên silicon bigire; ji hêla din ve, dagirtina gaza argon dikare zexta di firnê de aram bihêle û ji bo mezinbûna krîstal jîngehek zextê ya maqûl peyda bike. Digel vê yekê, herikîna gaza argon dikare germa ku di pêvajoya mezinbûna krîstal de hatî hilberandin jî hilîne, û rolek sarbûnê bilîze.
Sîstema sarbûna avê
Fonksiyona pergala sarbûna avê ew e ku hêmanên cihêreng ên germahiya bilind ên firna yek-krîstal sar bike da ku xebata normal û jiyana karûbarê amûrê misoger bike. Di dema xebata firna yek krîstal de, germker,crucible, elektrod û hêmanên din dê gelek germê çêbikin. Ger ew di wextê de neyên sar kirin, dê amûr pir germ bibe, deforme an jî zirarê bibîne. Pergala sarbûna avê germahiya van hêmanan bi gerandina ava sarbûnê vedigire da ku germahiya alavan di nav rêzek ewledar de bigire. Di heman demê de, pergala sarbûna avê jî dikare di sererastkirina germahiya di firnê de bibe alîkar da ku rastbûna kontrolkirina germahiyê baştir bike.
Sîstema kontrola elektrîkê
Pergala kontrolkirina elektrîkê "mêjiyê" firna yek krîstal e, ku berpirsiyarê şopandin û kontrolkirina xebata tevahiya amûrê ye. Ew dikare ji senzorên cihêreng, wekî senzorên germahiyê, senzorên zextê, senzorên pozîsyonê, hwd., îşaretan werbigire, û li ser bingeha van nîşanan pergala veguheztina mekanîkî, pergala kontrolkirina germahiya germkirinê, pergala valahiya, pergala argon û pergala sarbûna avê hevrêz û kontrol bike. Mînakî, di dema pêvajoya mezinbûna krîstal de, pergala kontrola elektrîkê dikare bixweber hêza germkirinê li gorî nîşana germahiyê ya ku ji hêla sensora germahiyê ve tê vegerandin eyar bike; li gorî mezinbûna krîstalê, ew dikare leza tevgerê û goşeya zivirîna krîstala tov û keresteyê kontrol bike. Di heman demê de, pergala kontrola elektrîkê di heman demê de fonksiyonên tespîtkirina xeletî û alarmê jî heye, ku dikare di wextê de şert û mercên neasayî yên amûreyê tespît bike û xebata ewledar a amûrê misoger bike.
Dema şandinê: Sep-23-2024