Dema ku ew semennûçeyên karsaziyê, têgihîştina berfirehbûna çêkirina nîvconductor hewce ye. Wafera nîvconductor di vê pîşesaziyê de hêmanek girîng e, lê ew bi gelemperî ji nepakiya cûrbecûr rûbirû dibin. Van gemarî, atom, maddeya organîk, îyona elementa metalîk, û oksîdê jî hene, dikarin bandorê li proseya çêkirinê bikin.
Parçeyênmîna polîmer û pêbaweriya nepakiyê ya li ser hêza navmolekularî ya ku li ser rûyê waferê vedigire, bandorê li fotolîtografiya cîhazê dike.nepakiyên organîkmîna rûnê çermê homo û rûnê makîneyê li ser waferê fîlimê çêdike, paqijiyê asteng dike.îyonên hêmanên metalîkmîna hesin û aluminium bi gelemperî bi pêkhatina kompleksa îyonê ya hêmanên metalîk têne rakirin.Oxidespêvajoya çêkirinê asteng dike û bi gelemperî bi asîta hîdrofluorîk a zirav tê hilanîn.
rêbazên kîmyewîbi gelemperî ji bo paqijkirin û kişandina wafera nîvconductor têne bikar anîn. Teknîka paqijkirina kîmyewî ya şilbûnê ya wekî binavbûna çareseriyê û şilbûna mekanîkî serdest in. Rêbaza paqijkirina supersonic û megasonîk ji bo rakirina nepakiyê rêyên bikêr pêşkêşî dike. Paqijkirina kîmyewî ya hişk, teknolojiya qonaxa plazma û gazê vedihewîne, di pêvajoyên paqijkirina wafera nîvconductor de jî fonksiyonek dileyize.
Dema şandinê: Oct-29-2024