Kişandina SiC dikare bi vekirina buhara kîmyewî (CVD), veguherîna pêşgir, rijandina plazmayê, hwd. Pûça ku ji hêla hilanîna buhara KÎMYAYÎ ve hatî amadekirin yekreng û tevlihev e, û xwedan sêwirana baş e. Bikaranîna methyl trichlosilane. (CHzSiCl3, MTS) wekî çavkaniya siliconê, pêlava SiC ya ku bi rêbaza CVD hatî amadekirin ji bo serîlêdana vê pêlavê rêgezek berbiçav e.
Kişandina SiC û grafît xwedan lihevhatina kîmyewî ya baş e, cûdahiya hevrêziya berfirehbûna termal di navbera wan de piçûk e, karanîna pêlava SiC dikare bi bandor berxwedana cil û oksîjenê ya materyalê grafît çêtir bike. Di nav wan de, rêjeya stoichiometric, germahiya reaksiyonê, gaza dilşikestinê, gaza nepakî û mercên din bandorek mezin li ser reaksiyonê dikin.
Dema şandinê: Sep-14-2022