Di dema pêvajoya epîtaksiya qonaxa vaporê (VPE) de, rola pedestal piştgirîkirina substratê ye û di pêvajoya mezinbûnê de germkirina yekgirtî peyda dike. Cûreyên cûda yên pedestal ji bo şert û mercên mezinbûnê û pergalên materyal ên cihêreng maqûl in. Li jêr hin celebên pedestal ên ku di qonaxa vaporê de têne bikar anîn heneepitaxy:
Pedestal bermîl
Pedestalên bermîlê bi gelemperî di pergalên epîtaksiya qonaxa vaporê ya horizontî an zirav de têne bikar anîn. Ew dikarin substratê bigirin û bihêlin ku gaz li ser substratê biherike, ku ji bo gihîştina mezinbûna epîtaksial a yekgirtî dibe alîkar.
Pîvana dîskê-teşe (pêdestala vertîkal)
Pedestalên dîskek ji bo pergalên epîtaksiya qonaxa vaporê ya vertîkal, ku tê de substrat bi rengek verast tê danîn, maqûl in. Vê sêwiranê dibe alîkar ku qada pêwendiya di navbera substrate û susceptorê de kêm bike, bi vî rengî windabûna germê û qirêjiya potansiyel kêm dike.
susceptor Horizontal
Di epîtaksiya qonaxa vaporê de susceptorên asoyî kêmtir hevpar in, lê dibe ku di hin pergalên mezinbûnê yên taybetî de werin bikar anîn da ku rê bidin mezinbûna epîtaksial di rêgezek horizontî de.
Sûsceptora reaksiyonê ya epitaxial monolîtîk
Xemgîniya reaksiyonê ya epîtaksial a monolîtîk ji bo substratek yekane hatî sêwirandin, ku dikare kontrolkirina germahiyê ya rasttir û îzolekirina germî ya çêtir peyda bike, ji bo mezinbûna qatên epîtaksial-kalîteya bilind.
Ji bo agahdariya hilberê û şêwirmendiyê hûn bi xêr hatin malpera me.
Malpera me: https://www.vet-china.com/
Dema şandinê: Tîrmeh-30-2024