Hedef dişopîninbi giranî di pîşesaziyên elektronîk û agahdariyan de têne bikar anîn, wek şebekeyên yekbûyî, hilanîna agahdariyan, dîmenên krîstalên şil, bîranînên lazer, amûrên kontrolê yên elektronîkî, hwd. Ew dikarin di warê xêzkirina camê de, û her weha di berxwedêran de werin bikar anîn. materyal, berxwedana germahiya bilind, hilberên xemilandî yên bilind û pîşesaziyên din.
Sputtering yek ji teknîkên sereke ye ji bo amadekirina materyalên fîlima tenik.Ew îyonên ku ji hêla çavkaniyên îyonê ve têne hilberandin bikar tîne da ku di valahiyekê de bilez bike û berhev bike da ku tîrêjên îyonên enerjiyê yên bilez çêbike, rûyê zexm bombebaran bike, û enerjiya kinetîk di navbera îyon û atomên rûxara hişk de biguhezîne. Atomên li ser rûxara hişk ji qayîm derdikevin û li ser rûxara substratê têne razandin. Zencîreya ku hatiye bombekirin madeya xav e ji bo rijandina fîlimên tenik bi rijandinê, ku jê re tê gotin armanca rijandin. Cûreyên cûrbecûr materyalên fîlima tenik ên rijandinî bi berfirehî di çerxên yekbûyî yên nîvconductor, medyaya tomarkirinê, dîmenderên panelê yên daîre û xêzên rûbera perçeyê de hatine bikar anîn.
Di nav hemî pîşesaziyên serîlêdanê de, pîşesaziya nîvconductor ji bo fîlimên şûştina armancê daxwazên kalîteyê yên herî hişk heye. Armancên şûştina metalê yên paqij-paqij bi giranî di hilberîna wafer û pêvajoyên pakkirinê yên pêşkeftî de têne bikar anîn. Hilberîna çîpê wekî mînakek were girtin, em dikarin bibînin ku ji waferek silicon bigire heya çîpek, pêdivî ye ku ew di 7 pêvajoyên hilberînê yên sereke re derbas bibe, ango belavbûn (Pêvajoya Termal), Wêne-lîtografî (Wêne-lîtografî), Etch (Etch), Ion Implantation (IonImplant), Mezinbûna Fîlma Tenik (Dapokirina Dielektrîkê), Paqijkirina Mekanîkî ya Kîmyayî (CMP), Metalîzasyon (Metalîzasyon) Pêvajo yek bi yek li hev dikin. Di pêvajoya "metalîzasyonê" de armanca sputtering tê bikaranîn. Hedef ji hêla alavên daxistina fîlima nazik ve bi perçeyên bi enerjiya bilind ve tê bombebaran kirin û dûv re qatek metalî ya bi fonksiyonên taybetî li ser vafera siliconê, wek qata rêvebir, qata asteng, çêdibe. Bisekine. Ji ber ku pêvajoyên tevahiya nîvconductors cûrbecûr in, wê hingê hin rewşên carinan hewce ne ji bo verastkirina ku pergalê bi rêkûpêk heye ji ber vê yekê em di hin qonaxên hilberînê de hin cûrbecûr materyalên derewîn daxwaz dikin da ku bandoran piştrast bikin.
Dema şandinê: Jan-17-2022