Silicon Carbide Coated Graphite Susceptor for LED Etching

Kurte Danasîn:

Ji bo xêzkirina LED-ê (tepsiya SiC) pêlavek karbîd a siliconê ji bo xêzkirina siliconê ya kûr (makîneya kişandina ICP) amûrek taybetî ye. carrier wafer, her weha wekî carrier wafer, silicon carrier wafer, jî wekî wafer pocket zanîn. Bi berfirehî di nîvconductor CVD û şûştina valahiya de tê bikar anîn.


Detail Product

Tags Product

Hestkêşa silicon carbide nixumandî yea qûflehêmanek ku di pêvajoyên cûda yên çêkirina nîvconductor de têne bikar anîn.Em teknolojiya xweya patentkirî bikar tînin da ku pêvekêşana karbîd a silîkonê pêvekirî çêbikinpaqijiya pir bilind,başyekrengîû jiyanek karûbarê hêja, û herwisaberxwedana kîmyewî ya bilind û taybetmendiyên aramiya germî.

Enerjiya VET e ewhilberînerê rastîn ên hilberên grafît û silicon carbide yên xwerû yên bi pêlava CVD,dikarin peyda bikinnewekhevparçeyên xwerû yên ji bo pîşesaziya nîvconductor û fotovoltaîk. OTîma teknîkî ya ur ji saziyên lêkolînê yên navxweyî yên top tê, dikare çareseriyên madî yên profesyoneltir peyda bikeji were.

Em bi domdarî pêvajoyên pêşkeftî pêşve diçin da ku materyalên pêşkeftî peyda bikin,ûteknolojiyek patentkirî ya bêkêmasî xebitîne, ku dikare girêdana di navbera xêz û substratê de hişktir bike û ji veqetandinê kêmtir bike.

Ftaybetmendiyên hilberên me:

1. Berxwedana oksîdasyona germahiya bilind heya 1700.
2. Paqijiya bilind ûyekrengiya germî
3. Berxwedana korozyonê ya hêja: asîd, alkali, xwê û reagentên organîk.
4. Serhişkiya bilind, rûbera tevlihev, perçeyên hûr.
5. Jiyana karûbarê dirêjtir û bêtir domdar

CVD SiC薄膜基本物理性能

Taybetmendiyên fizîkî yên bingehîn ên CVD SiC

性质 / Taybetmendî

典型数值 / Nirxa Tîpîkî

晶体结构 / Structure Crystal

Qonaxa β FCC多晶,主要为(111).

密度 / Density

3,21 g/cm³

硬度 / Serhişkî

2500 维氏硬度 (500g bar)

晶粒大小 / Grain SiZe

2 ~ 10 μm

纯度 / Paqijiya Kîmyewî

99.99995%

热容 / Kapasîteya germê

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Germahiya Sublimation

2700℃

抗弯强度 / Hêza Flexural

415 MPa RT 4-xala

杨氏模量 / Modula Ciwan

430 Gpa 4pt bend, 1300℃

导热系数 / ThermalConductivity

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Berfirehkirina Termal (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Bi germî xêrhatina we dikin ku hûn biçin kargeha me, werin em bêtir nîqaş bikin!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Pêşî:
  • Piştî:

  • WhatsApp Online Chat!