SiC 코팅은 화학기상증착(CVD), 전구체 변환, 플라즈마 분사 등의 방법으로 제조할 수 있습니다. 화학기상증착으로 제조한 코팅은 균일하고 치밀하며 디자인성이 좋습니다. 메틸 트리클로실란을 사용합니다. (CHzSiCl3, MTS)을 실리콘 소스로 사용하는 CVD 방법으로 제조된 SiC 코팅은 이 코팅을 적용하는 데 비교적 성숙한 방법입니다.
SiC 코팅과 흑연은 화학적 호환성이 좋고 열팽창 계수의 차이가 작습니다. SiC 코팅을 사용하면 흑연 재료의 내마모성과 내산화성을 효과적으로 향상시킬 수 있습니다. 그 중 화학량론적 비율, 반응 온도, 희석 가스, 불순물 가스 및 기타 조건이 반응에 큰 영향을 미칩니다.
게시 시간: 2022년 9월 14일