재결정 탄화규소 세라믹의 연구현황

재결정화됨탄화규소(RSiC) 세라믹영역고성능 세라믹 소재. 우수한 내열성, 내산화성, 내식성, 높은 경도로 인해 반도체 제조, 태양광 산업, 고온로, 화학 장비 등 다양한 분야에서 널리 사용되고 있습니다. 현대 산업에서 고성능 재료에 대한 수요가 증가함에 따라 재결정 탄화 규소 세라믹의 연구 개발이 심화되고 있습니다.

1. 제조기술재결정된 탄화규소 세라믹
재결정 준비 기술실리콘 카바이드 세라믹주로 분말 소결과 기상 증착(CVD)의 두 가지 방법이 있습니다. 그 중 분말소결법은 탄화규소 분말을 고온 환경에서 소결시켜 입자 간 확산과 재결정을 통해 탄화규소 입자가 치밀한 구조를 형성하도록 하는 방법이다. 기상증착법은 고온에서 화학기상반응을 통해 기판 표면에 탄화규소를 증착시켜 고순도의 탄화규소막이나 구조 부품을 형성하는 방법이다. 이 두 가지 기술에는 고유한 장점이 있습니다. 분말 소결 방식은 대규모 생산에 적합하고 비용이 저렴한 반면, 증착 방식은 더 높은 순도와 더 치밀한 구조를 제공할 수 있어 반도체 분야에서 널리 사용됩니다.

2. 재료의 성질재결정된 탄화규소 세라믹
재결정 탄화규소 세라믹의 뛰어난 특징은 고온 환경에서 탁월한 성능을 발휘한다는 것입니다. 이 재료의 융점은 2700°C로 높으며 고온에서 기계적 강도가 좋습니다. 또한 재결정 탄화규소는 내산화성, 내식성도 뛰어나 극한의 화학적 환경에서도 안정성을 유지할 수 있습니다. 따라서 RSiC 세라믹은 고온로, 고온 내화물 및 화학 장비 분야에서 널리 사용되어 왔습니다.

또한, 재결정 탄화규소는 열전도율이 높고 효과적으로 열을 전도할 수 있어 산업 분야에서 중요한 응용 가치를 갖습니다.MOCVD 반응기반도체 웨이퍼 제조에 사용되는 열처리 장비입니다. 높은 열 전도성과 열충격 저항성은 극한 조건에서도 장비의 안정적인 작동을 보장합니다.

3. 재결정 탄화규소 세라믹의 응용분야

반도체 제조: 반도체 산업에서 재결정된 탄화규소 세라믹은 MOCVD 반응기에서 기판과 지지체를 제조하는 데 사용됩니다. 높은 내열성, 내식성 및 높은 열 전도성으로 인해 RSiC 소재는 복잡한 화학 반응 환경에서도 안정적인 성능을 유지하여 반도체 웨이퍼의 품질과 수율을 보장할 수 있습니다.

광전지 산업: 광전지 산업에서 RSiC는 결정 성장 장비의 지지 구조를 제조하는 데 사용됩니다. 태양전지 제조 과정에서 결정 성장은 고온에서 이루어져야 하기 때문에 재결정 탄화규소의 내열성은 장비의 장기간 안정적인 작동을 보장합니다.

고온로: RSiC 세라믹은 진공로, 용해로 및 기타 장비의 라이닝 및 구성 요소와 같은 고온로에도 널리 사용됩니다. 열충격 저항성과 내산화성은 고온 산업에서 대체할 수 없는 재료 중 하나입니다.

4. 재결정 탄화규소 세라믹스의 연구방향
고성능 재료에 대한 수요가 증가함에 따라 재결정 탄화규소 세라믹의 연구 방향이 점차 명확해졌습니다. 향후 연구는 다음 측면에 중점을 둘 것입니다.

재료 순도 향상: 반도체 및 광전지 분야에서 더 높은 순도 요구 사항을 충족하기 위해 연구자들은 증착 기술을 개선하거나 새로운 원료를 도입하여 RSiC의 순도를 향상시키는 방법을 모색하고 있으며 이를 통해 이러한 첨단 기술 분야에서의 응용 가치를 높이고 있습니다. .

미세 구조 최적화: 소결 조건과 분말 입자의 분포를 제어함으로써 재결정된 탄화규소의 미세 구조를 더욱 최적화할 수 있으며 이를 통해 기계적 특성과 열충격 저항성을 향상시킬 수 있습니다.

기능성 복합 재료: 보다 복잡한 사용 환경에 적응하기 위해 연구자들은 RSiC를 다른 재료와 결합하여 내마모성과 전기 전도성이 더 높은 재결정화된 탄화규소 기반 복합 재료와 같은 다기능 특성을 가진 복합 재료를 개발하려고 노력하고 있습니다.

5. 결론
재결정 탄화규소 세라믹은 고성능 소재로서 고온, 내산화성, 내식성이 우수하여 다양한 분야에서 널리 사용되고 있습니다. 향후 연구는 증가하는 산업 요구를 충족시키기 위해 재료 순도를 개선하고 미세 구조를 최적화하며 복합 기능성 재료를 개발하는 데 중점을 둘 것입니다. 이러한 기술 혁신을 통해 재결정 탄화규소 세라믹은 더욱 첨단 기술 분야에서 더 큰 역할을 할 것으로 기대됩니다.