VET ಎನರ್ಜಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ವೇಫರ್ ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ವಿಶಾಲ ಬ್ಯಾಂಡ್ಗ್ಯಾಪ್ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ. ಹೊಸ ಪೀಳಿಗೆಯ ವಿದ್ಯುತ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ಇದು ಆದರ್ಶ ತಲಾಧಾರವಾಗಿದೆ. VET ಎನರ್ಜಿಯು SiC ತಲಾಧಾರಗಳಲ್ಲಿ ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ SiC ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಲೇಯರ್ಗಳನ್ನು ಬೆಳೆಯಲು ಸುಧಾರಿತ MOCVD ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ, ಇದು ವೇಫರ್ನ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ನಮ್ಮ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (SiC) ಎಪಿಟ್ಯಾಕ್ಸಿಯಲ್ ವೇಫರ್ Si Wafer, SiC ಸಬ್ಸ್ಟ್ರೇಟ್, SOI ವೇಫರ್ ಮತ್ತು SiN ಸಬ್ಸ್ಟ್ರೇಟ್ ಸೇರಿದಂತೆ ವಿವಿಧ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ಅದರ ದೃಢವಾದ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಲೇಯರ್ನೊಂದಿಗೆ, ಇದು ಎಪಿ ವೇಫರ್ ಬೆಳವಣಿಗೆ ಮತ್ತು ಗ್ಯಾಲಿಯಮ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ Ga2O3 ಮತ್ತು AlN ವೇಫರ್ನಂತಹ ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ಏಕೀಕರಣದಂತಹ ಸುಧಾರಿತ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ, ವಿವಿಧ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳಾದ್ಯಂತ ಬಹುಮುಖ ಬಳಕೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಉದ್ಯಮ-ಪ್ರಮಾಣಿತ ಕ್ಯಾಸೆಟ್ ನಿರ್ವಹಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವಂತೆ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, ಇದು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಫ್ಯಾಬ್ರಿಕೇಶನ್ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಸಮರ್ಥ ಮತ್ತು ಸುವ್ಯವಸ್ಥಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಗಳನ್ನು ಖಾತ್ರಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
VET ಎನರ್ಜಿಯ ಉತ್ಪನ್ನ ಶ್ರೇಣಿಯು SiC ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ವೇಫರ್ಗಳಿಗೆ ಸೀಮಿತವಾಗಿಲ್ಲ. ನಾವು Si Wafer, SiC ಸಬ್ಸ್ಟ್ರೇಟ್, SOI ವೇಫರ್, SiN ಸಬ್ಸ್ಟ್ರೇಟ್, Epi ವೇಫರ್, ಇತ್ಯಾದಿ ಸೇರಿದಂತೆ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸಬ್ಸ್ಟ್ರೇಟ್ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಸಹ ಒದಗಿಸುತ್ತೇವೆ. ಜೊತೆಗೆ, ನಾವು Gallium Oxide Ga2O3 ಮತ್ತು AlN ನಂತಹ ಹೊಸ ವೈಡ್ ಬ್ಯಾಂಡ್ಗ್ಯಾಪ್ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಸಹ ಸಕ್ರಿಯವಾಗಿ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸುತ್ತಿದ್ದೇವೆ. ವೇಫರ್, ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಸಾಧನಗಳಿಗಾಗಿ ಭವಿಷ್ಯದ ವಿದ್ಯುತ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಉದ್ಯಮದ ಬೇಡಿಕೆಯನ್ನು ಪೂರೈಸಲು.
ವೇಫರಿಂಗ್ ವಿಶೇಷಣಗಳು
*n-Pm=n-ಟೈಪ್ Pm-ಗ್ರೇಡ್,n-Ps=n-ಟೈಪ್ ಪಿಎಸ್-ಗ್ರೇಡ್,Sl=ಸೆಮಿ-ಎಲ್ಸುಲೇಟಿಂಗ್
ಐಟಂ | 8-ಇಂಚು | 6-ಇಂಚು | 4-ಇಂಚು | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
ಬೋ(GF3YFCD)-ಸಂಪೂರ್ಣ ಮೌಲ್ಯ | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
ವಾರ್ಪ್(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
ವೇಫರ್ ಎಡ್ಜ್ | ಬೆವಲಿಂಗ್ |
ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ
*n-Pm=n-ಟೈಪ್ Pm-ಗ್ರೇಡ್,n-Ps=n-ಟೈಪ್ ಪಿಎಸ್-ಗ್ರೇಡ್,Sl=ಸೆಮಿ-ಎಲ್ಸುಲೇಟಿಂಗ್
ಐಟಂ | 8-ಇಂಚು | 6-ಇಂಚು | 4-ಇಂಚು | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
ಮೇಲ್ಮೈ ಮುಕ್ತಾಯ | ಡಬಲ್ ಸೈಡ್ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಪೋಲಿಷ್, Si- ಫೇಸ್ CMP | ||||
ಮೇಲ್ಮೈ ಒರಟುತನ | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
ಎಡ್ಜ್ ಚಿಪ್ಸ್ | ಯಾವುದನ್ನೂ ಅನುಮತಿಸಲಾಗಿಲ್ಲ (ಉದ್ದ ಮತ್ತು ಅಗಲ≥0.5mm) | ||||
ಇಂಡೆಂಟ್ಗಳು | ಯಾವುದಕ್ಕೂ ಅನುಮತಿ ಇಲ್ಲ | ||||
ಗೀರುಗಳು (Si-Face) | Qty.≤5,ಸಂಚಿತ | Qty.≤5,ಸಂಚಿತ | Qty.≤5,ಸಂಚಿತ | ||
ಬಿರುಕುಗಳು | ಯಾವುದಕ್ಕೂ ಅನುಮತಿ ಇಲ್ಲ | ||||
ಎಡ್ಜ್ ಹೊರಗಿಡುವಿಕೆ | 3ಮಿ.ಮೀ |