SiC ಕೋಟಿಂಗ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ MOCVD ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ಗಳು, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್ಗಳುSiC ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ,
ಕಾರ್ಬನ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್ಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ ಸಸೆಪ್ಟರ್ಗಳು, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೆಂಬಲ ತಲಾಧಾರಗಳು, MOCVD ಸಸೆಪ್ಟರ್, SiC ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ, ವೇಫರ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್ಗಳು,
ನಮ್ಮ SiC-ಲೇಪಿತ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್ಗಳ ವಿಶೇಷ ಪ್ರಯೋಜನಗಳು ಅತ್ಯಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ, ಏಕರೂಪದ ಲೇಪನ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿವೆ. ಅವು ಹೆಚ್ಚಿನ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಸಹ ಹೊಂದಿವೆ.
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಿಗಾಗಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ತಲಾಧಾರದ SiC ಲೇಪನವು ಉತ್ತಮವಾದ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣದ ವಾತಾವರಣಕ್ಕೆ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಭಾಗವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ.
CVD SiC ಅಥವಾ CVI SiC ಅನ್ನು ಸರಳ ಅಥವಾ ಸಂಕೀರ್ಣ ವಿನ್ಯಾಸದ ಭಾಗಗಳ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ಗೆ ಅನ್ವಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಲೇಪನವನ್ನು ವಿವಿಧ ದಪ್ಪಗಳಲ್ಲಿ ಮತ್ತು ದೊಡ್ಡ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಅನ್ವಯಿಸಬಹುದು.
ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು:
· ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಥರ್ಮಲ್ ಶಾಕ್ ರೆಸಿಸ್ಟೆನ್ಸ್
· ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಶಾರೀರಿಕ ಆಘಾತ ನಿರೋಧಕತೆ
· ಅತ್ಯುತ್ತಮ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿರೋಧ
· ಸೂಪರ್ ಹೈ ಪ್ಯೂರಿಟಿ
· ಸಂಕೀರ್ಣ ಆಕಾರದಲ್ಲಿ ಲಭ್ಯತೆ
· ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ವಾತಾವರಣದ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಬಹುದಾಗಿದೆ
ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್:
ಬೇಸ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಸ್ತುವಿನ ವಿಶಿಷ್ಟ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು:
ಗೋಚರ ಸಾಂದ್ರತೆ: | 1.85 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ3 |
ವಿದ್ಯುತ್ ನಿರೋಧಕತೆ: | 11 μΩm |
ಫ್ಲೆಕ್ಸುರಲ್ ಸ್ಟ್ರೆಂತ್: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
ತೀರದ ಗಡಸುತನ: | 58 |
ಬೂದಿ: | <5ppm |
ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
ಕಾರ್ಬನ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್ಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆಮತ್ತು ಎಲ್ಲಾ ಪ್ರಸ್ತುತ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ ರಿಯಾಕ್ಟರ್ಗಳಿಗೆ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಘಟಕಗಳು. ನಮ್ಮ ಪೋರ್ಟ್ಫೋಲಿಯೋ ಅನ್ವಯಿಕ ಮತ್ತು LPE ಯೂನಿಟ್ಗಳಿಗೆ ಬ್ಯಾರೆಲ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್ಗಳು, LPE, CSD ಮತ್ತು ಜೆಮಿನಿ ಘಟಕಗಳಿಗೆ ಪ್ಯಾನ್ಕೇಕ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಅಪ್ಲೈಡ್ ಮತ್ತು ASM ಯುನಿಟ್ಗಳಿಗಾಗಿ ಸಿಂಗಲ್-ವೇಫರ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್ಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ.ಮುಂಚೂಣಿಯಲ್ಲಿರುವ OEMಗಳೊಂದಿಗೆ ಬಲವಾದ ಪಾಲುದಾರಿಕೆಗಳನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಸಾಮಗ್ರಿಗಳ ಪರಿಣತಿ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ಜ್ಞಾನ, SGL ನಿಮ್ಮ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗೆ ಸೂಕ್ತವಾದ ವಿನ್ಯಾಸವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ.