ತೆಳುವಾಗುವುದು ಏಕೆ ಬೇಕು?

ಬ್ಯಾಕ್-ಎಂಡ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಹಂತದಲ್ಲಿ, ದಿವೇಫರ್ (ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಮುಂಭಾಗದಲ್ಲಿ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳೊಂದಿಗೆ) ನಂತರದ ಡೈಸಿಂಗ್, ವೆಲ್ಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಮಾಡುವ ಮೊದಲು ಪ್ಯಾಕೇಜಿನ ಆರೋಹಿಸುವ ಎತ್ತರವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು, ಚಿಪ್ ಪ್ಯಾಕೇಜ್ ಪರಿಮಾಣವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು, ಚಿಪ್‌ನ ಉಷ್ಣ ಪ್ರಸರಣ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು, ವಿದ್ಯುತ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ, ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಮತ್ತು ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಹಿಂಭಾಗದಲ್ಲಿ ತೆಳುಗೊಳಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ. ಡೈಸಿಂಗ್. ಬ್ಯಾಕ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ವೆಚ್ಚದ ಪ್ರಯೋಜನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಇದು ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಆರ್ದ್ರ ಎಚ್ಚಣೆ ಮತ್ತು ಅಯಾನು ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಅತ್ಯಂತ ಪ್ರಮುಖವಾದ ಬ್ಯಾಕ್ ಥಿನ್ನಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವಾಗಿ ಬದಲಾಯಿಸಿದೆ.

ತೆಳುವಾದ ವೇಫರ್

ತೆಳುವಾಗುವುದು ಹೇಗೆ?

ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ತೆಳುವಾಗಿಸುವ ಮುಖ್ಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ

ನ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಹಂತಗಳುವೇಫರ್ತೆಳುವಾಗುವುದು ಎಂದರೆ ತೆಳುವಾಗುತ್ತಿರುವ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗೆ ಸಂಸ್ಕರಿಸಲು ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಬಂಧಿಸುವುದು, ತದನಂತರ ತೆಳುವಾಗುತ್ತಿರುವ ಫಿಲ್ಮ್ ಮತ್ತು ಅದರ ಮೇಲಿನ ಚಿಪ್ ಅನ್ನು ಸರಂಧ್ರ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವೇಫರ್ ಟೇಬಲ್‌ಗೆ ಹೀರಿಕೊಳ್ಳಲು ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ಬಳಸಿ, ಕೆಲಸದ ಮೇಲ್ಮೈಯ ಒಳ ಮತ್ತು ಹೊರ ವೃತ್ತಾಕಾರದ ದೋಣಿ ಮಧ್ಯದ ರೇಖೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿಸಿ. ಕಪ್-ಆಕಾರದ ವಜ್ರದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಚಕ್ರವು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಮಧ್ಯಭಾಗಕ್ಕೆ, ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಮತ್ತು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಚಕ್ರವು ಅವುಗಳ ಸುತ್ತಲೂ ತಿರುಗುತ್ತದೆ ಕಟಿಂಗ್-ಇನ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್‌ಗೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದ ಅಕ್ಷಗಳು. ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಮೂರು ಹಂತಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ: ಒರಟು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್, ಉತ್ತಮವಾದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಹೊಳಪು.

ವೇಫರ್ ಫ್ಯಾಕ್ಟರಿಯಿಂದ ಹೊರಬರುವ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್‌ಗೆ ಬೇಕಾದ ದಪ್ಪಕ್ಕೆ ವೇಫರ್ ತೆಳುಗೊಳಿಸಲು ಹಿಮ್ಮುಖವಾಗಿ ರುಬ್ಬಲಾಗುತ್ತದೆ. ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಮಾಡುವಾಗ, ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಪ್ರದೇಶವನ್ನು ರಕ್ಷಿಸಲು ಮುಂಭಾಗಕ್ಕೆ (ಸಕ್ರಿಯ ಪ್ರದೇಶ) ಟೇಪ್ ಅನ್ನು ಅನ್ವಯಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಹಿಂಭಾಗವು ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ನೆಲವಾಗಿದೆ. ರುಬ್ಬಿದ ನಂತರ, ಟೇಪ್ ತೆಗೆದುಹಾಕಿ ಮತ್ತು ದಪ್ಪವನ್ನು ಅಳೆಯಿರಿ.
ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಯಶಸ್ವಿಯಾಗಿ ಅನ್ವಯಿಸಲಾದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ರೋಟರಿ ಟೇಬಲ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿವೆ,ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ತಿರುಗುವಿಕೆ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್, ಡಬಲ್-ಸೈಡೆಡ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್, ಇತ್ಯಾದಿ. ಸಿಂಗಲ್ ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಅಗತ್ಯತೆಗಳ ಮತ್ತಷ್ಟು ಸುಧಾರಣೆಯೊಂದಿಗೆ, ಹೊಸ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಗಳನ್ನು ನಿರಂತರವಾಗಿ ಪ್ರಸ್ತಾಪಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ TAIKO ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್, ರಾಸಾಯನಿಕ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್, ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಪ್ಲಾನೆಟರಿ ಡಿಸ್ಕ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್.

ರೋಟರಿ ಟೇಬಲ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್:

ರೋಟರಿ ಟೇಬಲ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ (ರೋಟರಿ ಟೇಬಲ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್) ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಮತ್ತು ಬೆನ್ನು ತೆಳುಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಆರಂಭಿಕ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಾಗಿದೆ. ಇದರ ತತ್ವವನ್ನು ಚಿತ್ರ 1 ರಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಲಾಗಿದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬಿಲ್ಲೆಗಳು ತಿರುಗುವ ಮೇಜಿನ ಹೀರುವ ಕಪ್‌ಗಳ ಮೇಲೆ ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ತಿರುಗುವ ಕೋಷ್ಟಕದಿಂದ ಸಿಂಕ್ರೊನಸ್ ಆಗಿ ಚಲಿಸುತ್ತವೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬಿಲ್ಲೆಗಳು ತಮ್ಮ ಅಕ್ಷದ ಸುತ್ತ ತಿರುಗುವುದಿಲ್ಲ; ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದಲ್ಲಿ ತಿರುಗುತ್ತಿರುವಾಗ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಚಕ್ರವನ್ನು ಅಕ್ಷೀಯವಾಗಿ ನೀಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಚಕ್ರದ ವ್ಯಾಸವು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ವ್ಯಾಸಕ್ಕಿಂತ ದೊಡ್ಡದಾಗಿದೆ. ರೋಟರಿ ಟೇಬಲ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ನಲ್ಲಿ ಎರಡು ವಿಧಗಳಿವೆ: ಮುಖದ ಧುಮುಕುವುದು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಫೇಸ್ ಟ್ಯಾಂಜೆನ್ಶಿಯಲ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್. ಮುಖದ ಧುಮುಕುವುದು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್‌ನಲ್ಲಿ, ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವೀಲ್ ಅಗಲವು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ವ್ಯಾಸಕ್ಕಿಂತ ದೊಡ್ಡದಾಗಿದೆ, ಮತ್ತು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವೀಲ್ ಸ್ಪಿಂಡಲ್ ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಸಂಸ್ಕರಿಸುವವರೆಗೆ ಅದರ ಅಕ್ಷೀಯ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ನಿರಂತರವಾಗಿ ಆಹಾರವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಂತರ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ರೋಟರಿ ಟೇಬಲ್‌ನ ಡ್ರೈವ್ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ತಿರುಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ; ಮುಖದ ಸ್ಪರ್ಶಕ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್‌ನಲ್ಲಿ, ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಚಕ್ರವು ಅದರ ಅಕ್ಷೀಯ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ಫೀಡ್ ಆಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ತಿರುಗುವ ಡಿಸ್ಕ್‌ನ ಡ್ರೈವ್‌ನ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ನಿರಂತರವಾಗಿ ತಿರುಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಪರಸ್ಪರ ಆಹಾರ (ಪರಸ್ಪರ) ಅಥವಾ ಕ್ರೀಪ್ ಫೀಡಿಂಗ್ (ಕ್ರೀಪ್‌ಫೀಡ್) ಮೂಲಕ ಪೂರ್ಣಗೊಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

ಚಿತ್ರ 1, ರೋಟರಿ ಟೇಬಲ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ (ಫೇಸ್ ಟ್ಯಾಂಜೆನ್ಶಿಯಲ್) ತತ್ವದ ಸ್ಕೀಮ್ಯಾಟಿಕ್ ರೇಖಾಚಿತ್ರ

ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವಿಧಾನದೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ರೋಟರಿ ಟೇಬಲ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ತೆಗೆಯುವ ದರ, ಸಣ್ಣ ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿ ಮತ್ತು ಸುಲಭವಾದ ಯಾಂತ್ರೀಕೃತಗೊಂಡ ಪ್ರಯೋಜನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ನಿಜವಾದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಪ್ರದೇಶ (ಸಕ್ರಿಯ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್) ಬಿ ಮತ್ತು ಕಟ್-ಇನ್ ಕೋನ θ (ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವೀಲ್‌ನ ಹೊರ ವಲಯ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಹೊರಗಿನ ವೃತ್ತದ ನಡುವಿನ ಕೋನ) ಕತ್ತರಿಸುವ ಸ್ಥಾನದ ಬದಲಾವಣೆಯೊಂದಿಗೆ ಬದಲಾಗುತ್ತದೆ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವೀಲ್, ಅಸ್ಥಿರವಾದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಫೋರ್ಸ್‌ಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ, ಆದರ್ಶ ಮೇಲ್ಮೈ ನಿಖರತೆಯನ್ನು (ಹೆಚ್ಚಿನ TTV ಮೌಲ್ಯ) ಪಡೆಯುವುದು ಕಷ್ಟವಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಂಚಿನ ಕುಸಿತದಂತಹ ದೋಷಗಳನ್ನು ಸುಲಭವಾಗಿ ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಂಚಿನ ಕುಸಿತ. ರೋಟರಿ ಟೇಬಲ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ 200 ಮಿಮೀಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಏಕ-ಸ್ಫಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಿಂಗಲ್-ಸ್ಫಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಗಾತ್ರದಲ್ಲಿನ ಹೆಚ್ಚಳವು ಮೇಲ್ಮೈ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸಲಕರಣೆಗಳ ವರ್ಕ್‌ಬೆಂಚ್‌ನ ಚಲನೆಯ ನಿಖರತೆಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಮುಂದಿಟ್ಟಿದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ರೋಟರಿ ಟೇಬಲ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ 300 ಮಿಮೀಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಿಂಗಲ್-ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ರುಬ್ಬಲು ಸೂಕ್ತವಲ್ಲ.
ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವ ಸಲುವಾಗಿ, ವಾಣಿಜ್ಯ ಸಮತಲ ಸ್ಪರ್ಶಕ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಉಪಕರಣಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಹು-ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಚಕ್ರ ರಚನೆಯನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತವೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಒರಟಾದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಚಕ್ರಗಳ ಒಂದು ಸೆಟ್ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮವಾದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಚಕ್ರಗಳ ಸೆಟ್ ಅನ್ನು ಉಪಕರಣದ ಮೇಲೆ ಅಳವಡಿಸಲಾಗಿದೆ, ಮತ್ತು ರೋಟರಿ ಟೇಬಲ್ ಒಂದು ವೃತ್ತವನ್ನು ತಿರುಗಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪ್ರತಿಯಾಗಿ ಒರಟಾದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಫೈನ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಪೂರ್ಣಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ರೀತಿಯ ಉಪಕರಣವು ಅಮೇರಿಕನ್ GTI ಕಂಪನಿಯ G-500DS ಅನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ (ಚಿತ್ರ 2).

ಚಿತ್ರ 2, ಯುನೈಟೆಡ್ ಸ್ಟೇಟ್ಸ್‌ನ GTI ಕಂಪನಿಯ G-500DS ರೋಟರಿ ಟೇಬಲ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಉಪಕರಣ

ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ತಿರುಗುವಿಕೆ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್:

ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಅಗತ್ಯಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಮತ್ತು ಬ್ಯಾಕ್ ತೆಳುವಾಗಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ, ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ TTV ಮೌಲ್ಯದೊಂದಿಗೆ ಮೇಲ್ಮೈ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಪಡೆಯಲು. 1988 ರಲ್ಲಿ, ಜಪಾನಿನ ವಿದ್ವಾಂಸ ಮಾಟ್ಸುಯಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ರೊಟೇಶನ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ (ಇನ್-ಫೀಡ್ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್) ವಿಧಾನವನ್ನು ಪ್ರಸ್ತಾಪಿಸಿದರು. ಇದರ ತತ್ವವನ್ನು ಚಿತ್ರ 3 ರಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಲಾಗಿದೆ. ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಮತ್ತು ಕಪ್-ಆಕಾರದ ಡೈಮಂಡ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವೀಲ್ ವರ್ಕ್‌ಬೆಂಚ್‌ನಲ್ಲಿ ಆಡ್ಸೋರ್ಬ್ ಮಾಡಲಾಗಿದ್ದು, ಅವುಗಳ ಆಯಾ ಅಕ್ಷಗಳ ಸುತ್ತಲೂ ತಿರುಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಚಕ್ರವನ್ನು ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಅಕ್ಷೀಯ ದಿಕ್ಕಿನ ಉದ್ದಕ್ಕೂ ನಿರಂತರವಾಗಿ ನೀಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಅವುಗಳಲ್ಲಿ, ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಚಕ್ರದ ವ್ಯಾಸವು ಸಂಸ್ಕರಿಸಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ನ ವ್ಯಾಸಕ್ಕಿಂತ ದೊಡ್ಡದಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಅದರ ಸುತ್ತಳತೆಯು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ನ ಮಧ್ಯಭಾಗದ ಮೂಲಕ ಹಾದುಹೋಗುತ್ತದೆ. ರುಬ್ಬುವ ಬಲವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ರುಬ್ಬುವ ಶಾಖವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು, ನಿರ್ವಾತ ಹೀರುವ ಕಪ್ ಅನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಪೀನ ಅಥವಾ ಕಾನ್ಕೇವ್ ಆಕಾರಕ್ಕೆ ಟ್ರಿಮ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಅಥವಾ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವೀಲ್ ಸ್ಪಿಂಡಲ್ ಮತ್ತು ಹೀರುವ ಕಪ್ ಸ್ಪಿಂಡಲ್ ಅಕ್ಷದ ನಡುವಿನ ಕೋನವನ್ನು ಅರೆ-ಸಂಪರ್ಕ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸರಿಹೊಂದಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ರುಬ್ಬುವ ಚಕ್ರ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್.

ಚಿತ್ರ 3, ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ರೋಟರಿ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ತತ್ವದ ಸ್ಕೀಮ್ಯಾಟಿಕ್ ರೇಖಾಚಿತ್ರ

ರೋಟರಿ ಟೇಬಲ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ರೋಟರಿ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಕೆಳಗಿನ ಪ್ರಯೋಜನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ: ① ಏಕ-ಸಮಯದ ಏಕ-ವೇಫರ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ 300mm ಗಿಂತ ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ; ② ನಿಜವಾದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಪ್ರದೇಶ B ಮತ್ತು ಕತ್ತರಿಸುವ ಕೋನ θ ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ರುಬ್ಬುವ ಬಲವು ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತದೆ; ③ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವೀಲ್ ಅಕ್ಷ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಅಕ್ಷದ ನಡುವಿನ ಇಳಿಜಾರಿನ ಕೋನವನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಉತ್ತಮ ಮೇಲ್ಮೈ ಆಕಾರ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಪಡೆಯಲು ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈ ಆಕಾರವನ್ನು ಸಕ್ರಿಯವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದು. ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ರೋಟರಿ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್‌ನ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಏರಿಯಾ ಮತ್ತು ಕತ್ತರಿಸುವ ಕೋನ θ ದೊಡ್ಡ ಅಂಚು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್, ಸುಲಭವಾದ ಆನ್‌ಲೈನ್ ದಪ್ಪ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟ ಪತ್ತೆ ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಣ, ಕಾಂಪ್ಯಾಕ್ಟ್ ಉಪಕರಣಗಳ ರಚನೆ, ಸುಲಭ ಬಹು-ನಿಲ್ದಾಣ ಸಮಗ್ರ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ದಕ್ಷತೆಯ ಅನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.
ಉತ್ಪಾದನಾ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಮಾರ್ಗಗಳ ಅಗತ್ಯತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು, ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ರೋಟರಿ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ತತ್ವದ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ವಾಣಿಜ್ಯ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಉಪಕರಣಗಳು ಬಹು-ಸ್ಪಿಂಡಲ್ ಬಹು-ನಿಲ್ದಾಣ ರಚನೆಯನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುತ್ತವೆ, ಇದು ಒಂದು ಲೋಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಇಳಿಸುವಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಒರಟು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮವಾದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಪೂರ್ಣಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. . ಇತರ ಸಹಾಯಕ ಸೌಲಭ್ಯಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸಿ, ಇದು "ಡ್ರೈ-ಇನ್/ಡ್ರೈ-ಔಟ್" ಮತ್ತು "ಕ್ಯಾಸೆಟ್‌ನಿಂದ ಕ್ಯಾಸೆಟ್" ಸಿಂಗಲ್ ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಸಂಪೂರ್ಣ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಅರಿತುಕೊಳ್ಳಬಹುದು.

ಡಬಲ್ ಸೈಡೆಡ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್:

ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ರೋಟರಿ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಮೇಲಿನ ಮತ್ತು ಕೆಳಗಿನ ಮೇಲ್ಮೈಗಳನ್ನು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೊಳಿಸಿದಾಗ, ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ಅನ್ನು ತಿರುಗಿಸಿ ಹಂತಗಳಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಹಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಮಿತಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ರೋಟರಿ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಮೇಲ್ಮೈ ದೋಷ ನಕಲು (ನಕಲು) ಮತ್ತು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಮಾರ್ಕ್‌ಗಳನ್ನು (ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್‌ಮಾರ್ಕ್) ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ವೈರ್ ಕತ್ತರಿಸಿದ ನಂತರ ಸಿಂಗಲ್ ಸ್ಫಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಅಲೆಅಲೆ ಮತ್ತು ಟೇಪರ್‌ನಂತಹ ದೋಷಗಳನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕುವುದು ಅಸಾಧ್ಯ. (ಮಲ್ಟಿ-ಸಾ), ಚಿತ್ರ 4 ರಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಿರುವಂತೆ. ಮೇಲಿನ ದೋಷಗಳನ್ನು ಜಯಿಸಲು, ಡಬಲ್-ಸೈಡೆಡ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ (ಡಬಲ್‌ಸೈಡ್‌ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್) 1990 ರ ದಶಕದಲ್ಲಿ ಕಾಣಿಸಿಕೊಂಡಿತು ಮತ್ತು ಅದರ ತತ್ವವನ್ನು ಚಿತ್ರ 5 ರಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಲಾಗಿದೆ. ಎರಡೂ ಬದಿಗಳಲ್ಲಿ ಸಮ್ಮಿತೀಯವಾಗಿ ವಿತರಿಸಲಾದ ಹಿಡಿಕಟ್ಟುಗಳು ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಉಳಿಸಿಕೊಳ್ಳುವ ಉಂಗುರದಲ್ಲಿ ಕ್ಲ್ಯಾಂಪ್ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ರೋಲರ್ನಿಂದ ನಿಧಾನವಾಗಿ ಚಲಿಸುತ್ತದೆ. ಒಂದು ಜೋಡಿ ಕಪ್-ಆಕಾರದ ಡೈಮಂಡ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಚಕ್ರಗಳು ಒಂದೇ ಸ್ಫಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಎರಡೂ ಬದಿಗಳಲ್ಲಿ ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ನೆಲೆಗೊಂಡಿವೆ. ಗಾಳಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಸ್ಪಿಂಡಲ್‌ನಿಂದ ಚಾಲಿತವಾಗಿ, ಅವು ವಿರುದ್ಧ ದಿಕ್ಕುಗಳಲ್ಲಿ ತಿರುಗುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಡಬಲ್-ಸೈಡೆಡ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಅಕ್ಷೀಯವಾಗಿ ಆಹಾರವನ್ನು ನೀಡುತ್ತವೆ. ಆಕೃತಿಯಿಂದ ನೋಡಬಹುದಾದಂತೆ, ಡಬಲ್-ಸೈಡೆಡ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವೈರ್ ಕಟಿಂಗ್ ನಂತರ ಸಿಂಗಲ್ ಸ್ಫಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಅಲೆಗಳನ್ನು ಮತ್ತು ಟೇಪರ್ ಅನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕುತ್ತದೆ. ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವೀಲ್ ಅಕ್ಷದ ವ್ಯವಸ್ಥೆ ನಿರ್ದೇಶನದ ಪ್ರಕಾರ, ಡಬಲ್ ಸೈಡೆಡ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಸಮತಲ ಮತ್ತು ಲಂಬವಾಗಿರಬಹುದು. ಅವುಗಳಲ್ಲಿ, ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಮೇಲೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಸತ್ತ ತೂಕದಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ವಿರೂಪತೆಯ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ಸಮತಲ ಡಬಲ್-ಸೈಡೆಡ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್‌ನ ಎರಡೂ ಬದಿಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವುದು ಸುಲಭ. ವೇಫರ್ ಒಂದೇ ಆಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಪಘರ್ಷಕ ಕಣಗಳು ಮತ್ತು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಚಿಪ್ಸ್ ಒಂದೇ ಸ್ಫಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಉಳಿಯಲು ಸುಲಭವಲ್ಲ ವೇಫರ್. ಇದು ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಆದರ್ಶ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವಿಧಾನವಾಗಿದೆ.

ಚಿತ್ರ 4, "ದೋಷ ನಕಲು" ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ರೊಟೇಶನ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್‌ನಲ್ಲಿನ ಗುರುತು ದೋಷಗಳನ್ನು ಧರಿಸಿ

ಚಿತ್ರ 5, ಡಬಲ್ ಸೈಡೆಡ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ತತ್ವದ ಸ್ಕೀಮ್ಯಾಟಿಕ್ ರೇಖಾಚಿತ್ರ

ಮೇಲಿನ ಮೂರು ವಿಧದ ಸಿಂಗಲ್ ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಡಬಲ್ ಸೈಡೆಡ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ನಡುವಿನ ಹೋಲಿಕೆಯನ್ನು ಟೇಬಲ್ 1 ತೋರಿಸುತ್ತದೆ. ಡಬಲ್-ಸೈಡೆಡ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಅನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ 200mm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಫರ್ ಇಳುವರಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಸ್ಥಿರ ಅಪಘರ್ಷಕ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಚಕ್ರಗಳ ಬಳಕೆಯಿಂದಾಗಿ, ಏಕ-ಸ್ಫಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಡಬಲ್-ಸೈಡೆಡ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್‌ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು. ಆದ್ದರಿಂದ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ರೋಟರಿ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಡಬಲ್-ಸೈಡೆಡ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಎರಡೂ ಮುಖ್ಯವಾಹಿನಿಯ 300 ಎಂಎಂ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಬಹುದು ಮತ್ತು ಪ್ರಸ್ತುತ ಅತ್ಯಂತ ಪ್ರಮುಖವಾದ ಚಪ್ಪಟೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ವಿಧಾನಗಳಾಗಿವೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಚಪ್ಪಟೆಗೊಳಿಸುವ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ವಿಧಾನವನ್ನು ಆಯ್ಕೆಮಾಡುವಾಗ, ಏಕ-ಸ್ಫಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ವ್ಯಾಸದ ಗಾತ್ರ, ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಮಟ್ಟ ಮತ್ತು ಪಾಲಿಶಿಂಗ್ ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಸಮಗ್ರವಾಗಿ ಪರಿಗಣಿಸುವುದು ಅವಶ್ಯಕ. ವೇಫರ್‌ನ ಹಿಂಭಾಗದ ತೆಳುಗೊಳಿಸುವಿಕೆಯು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ರೋಟರಿ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವಿಧಾನದಂತಹ ಏಕ-ಬದಿಯ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ವಿಧಾನವನ್ನು ಮಾತ್ರ ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಬಹುದು.

ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್‌ನಲ್ಲಿ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವಿಧಾನವನ್ನು ಆಯ್ಕೆಮಾಡುವುದರ ಜೊತೆಗೆ, ಸಕಾರಾತ್ಮಕ ಒತ್ತಡ, ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಚಕ್ರ ಧಾನ್ಯದ ಗಾತ್ರ, ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವೀಲ್ ಬೈಂಡರ್, ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ವೀಲ್ ವೇಗ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ವೇಗ, ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ದ್ರವದ ಸ್ನಿಗ್ಧತೆ ಮುಂತಾದ ಸಮಂಜಸವಾದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಯತಾಂಕಗಳ ಆಯ್ಕೆಯನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸುವುದು ಸಹ ಅಗತ್ಯವಾಗಿದೆ. ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣ, ಇತ್ಯಾದಿ, ಮತ್ತು ಸಮಂಜಸವಾದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಮಾರ್ಗವನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸುತ್ತದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ಒರಟು ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್, ಸೆಮಿ-ಫಿನಿಶಿಂಗ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್, ಫಿನಿಶಿಂಗ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್, ಸ್ಪಾರ್ಕ್-ಫ್ರೀ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಸ್ಲೋ ಬ್ಯಾಕಿಂಗ್ ಸೇರಿದಂತೆ ಒಂದು ವಿಭಜಿತ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಮೇಲ್ಮೈ ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಮೇಲ್ಮೈ ಹಾನಿಯೊಂದಿಗೆ ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಪಡೆಯಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.