ಒಣ ಎಚ್ಚಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಪಾರ್ಶ್ವಗೋಡೆಗಳು ಏಕೆ ಬಾಗುತ್ತವೆ?

ಅಯಾನು ಬಾಂಬ್ ಸ್ಫೋಟದ ಏಕರೂಪತೆಯಿಲ್ಲದಿರುವುದು

ಒಣಎಚ್ಚಣೆಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಭೌತಿಕ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಪರಿಣಾಮಗಳನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಾಗಿದೆ, ಇದರಲ್ಲಿ ಅಯಾನು ಬಾಂಬ್ ಸ್ಫೋಟವು ಒಂದು ಪ್ರಮುಖ ಭೌತಿಕ ಎಚ್ಚಣೆ ವಿಧಾನವಾಗಿದೆ. ಸಮಯದಲ್ಲಿಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ, ಅಯಾನುಗಳ ಘಟನೆಯ ಕೋನ ಮತ್ತು ಶಕ್ತಿಯ ವಿತರಣೆಯು ಅಸಮವಾಗಿರಬಹುದು.

ಪಾರ್ಶ್ವಗೋಡೆಯ ಮೇಲೆ ವಿವಿಧ ಸ್ಥಾನಗಳಲ್ಲಿ ಅಯಾನು ಘಟನೆಯ ಕೋನವು ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿದ್ದರೆ, ಪಾರ್ಶ್ವಗೋಡೆಯ ಮೇಲೆ ಅಯಾನುಗಳ ಎಚ್ಚಣೆ ಪರಿಣಾಮವೂ ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ದೊಡ್ಡ ಅಯಾನು ಘಟನೆಯ ಕೋನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿ, ಪಾರ್ಶ್ವಗೋಡೆಯ ಮೇಲೆ ಅಯಾನುಗಳ ಎಚ್ಚಣೆ ಪರಿಣಾಮವು ಬಲವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ಈ ಪ್ರದೇಶದಲ್ಲಿನ ಸೈಡ್‌ವಾಲ್ ಅನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಕೆತ್ತಿಸಲು ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಸೈಡ್‌ವಾಲ್ ಬಾಗಲು ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಅಯಾನು ಶಕ್ತಿಯ ಅಸಮ ವಿತರಣೆಯು ಇದೇ ರೀತಿಯ ಪರಿಣಾಮಗಳನ್ನು ಉಂಟುಮಾಡುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯೊಂದಿಗೆ ಅಯಾನುಗಳು ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ತೆಗೆದುಹಾಕಬಹುದು, ಇದು ಅಸಮಂಜಸತೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆಎಚ್ಚಣೆವಿವಿಧ ಸ್ಥಾನಗಳಲ್ಲಿ ಪಾರ್ಶ್ವಗೋಡೆಯ ಡಿಗ್ರಿಗಳು, ಇದು ಪಾರ್ಶ್ವಗೋಡೆಯನ್ನು ಬಗ್ಗಿಸಲು ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.

ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ನ ಪ್ರಭಾವ

ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಒಣ ಎಚ್ಚಣೆಯಲ್ಲಿ ಮುಖವಾಡದ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ, ಎಚ್ಚಣೆ ಮಾಡಬೇಕಾಗಿಲ್ಲದ ಪ್ರದೇಶಗಳನ್ನು ರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಬಾಂಬ್ ಸ್ಫೋಟ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳಿಂದ ಪ್ರಭಾವಿತವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅದರ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಬದಲಾಗಬಹುದು.

ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್‌ನ ದಪ್ಪವು ಅಸಮವಾಗಿದ್ದರೆ, ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಕೆಯ ದರವು ಅಸಮಂಜಸವಾಗಿದ್ದರೆ ಅಥವಾ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ನಡುವಿನ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯು ವಿವಿಧ ಸ್ಥಳಗಳಲ್ಲಿ ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿದ್ದರೆ, ಇದು ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಸೈಡ್‌ವಾಲ್‌ಗಳ ಅಸಮ ರಕ್ಷಣೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ತೆಳುವಾದ ಫೋಟೊರೆಸಿಸ್ಟ್ ಅಥವಾ ದುರ್ಬಲ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಪ್ರದೇಶಗಳು ಆಧಾರವಾಗಿರುವ ವಸ್ತುವನ್ನು ಹೆಚ್ಚು ಸುಲಭವಾಗಿ ಕೆತ್ತಿಸಬಹುದು, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಈ ಸ್ಥಳಗಳಲ್ಲಿ ಸೈಡ್‌ವಾಲ್‌ಗಳು ಬಾಗುತ್ತವೆ.

ತಲಾಧಾರದ ವಸ್ತುಗಳ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಲ್ಲಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳು

ಕೆತ್ತಿದ ತಲಾಧಾರದ ವಸ್ತುವು ವಿಭಿನ್ನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರಬಹುದು, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ವಿಭಿನ್ನ ಸ್ಫಟಿಕ ದೃಷ್ಟಿಕೋನಗಳು ಮತ್ತು ವಿವಿಧ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿ ಡೋಪಿಂಗ್ ಸಾಂದ್ರತೆಗಳು. ಈ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳು ಎಚ್ಚಣೆ ದರ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ಆಯ್ಕೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತವೆ.
ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಸ್ಫಟಿಕದಂತಹ ಸಿಲಿಕಾನ್‌ನಲ್ಲಿ, ವಿಭಿನ್ನ ಸ್ಫಟಿಕ ದೃಷ್ಟಿಕೋನಗಳಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪರಮಾಣುಗಳ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ಅನಿಲದೊಂದಿಗೆ ಅವುಗಳ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕತೆ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ ದರವು ವಿಭಿನ್ನವಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಎಚ್ಚಣೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ವಸ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಲ್ಲಿನ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ವಿಭಿನ್ನ ಎಚ್ಚಣೆ ದರಗಳು ವಿಭಿನ್ನ ಸ್ಥಳಗಳಲ್ಲಿನ ಸೈಡ್‌ವಾಲ್‌ಗಳ ಎಚ್ಚಣೆ ಆಳವನ್ನು ಅಸಮಂಜಸವಾಗಿಸುತ್ತದೆ, ಅಂತಿಮವಾಗಿ ಸೈಡ್‌ವಾಲ್ ಬಾಗುವಿಕೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.

ಸಲಕರಣೆ-ಸಂಬಂಧಿತ ಅಂಶಗಳು

ಎಚ್ಚಣೆ ಉಪಕರಣದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿತಿಯು ಎಚ್ಚಣೆ ಫಲಿತಾಂಶಗಳ ಮೇಲೆ ಪ್ರಮುಖ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ಬೀರುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ರಿಯಾಕ್ಷನ್ ಚೇಂಬರ್‌ನಲ್ಲಿ ಅಸಮ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ವಿತರಣೆ ಮತ್ತು ಅಸಮ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ಉಡುಗೆಗಳಂತಹ ಸಮಸ್ಯೆಗಳು ಎಚ್ಚಣೆ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಅಯಾನು ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಶಕ್ತಿಯಂತಹ ನಿಯತಾಂಕಗಳ ಅಸಮ ವಿತರಣೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗಬಹುದು.

ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, ಉಪಕರಣದ ಅಸಮ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮತ್ತು ಅನಿಲ ಹರಿವಿನ ಸ್ವಲ್ಪ ಏರಿಳಿತಗಳು ಎಚ್ಚಣೆಯ ಏಕರೂಪತೆಯ ಮೇಲೆ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಬಹುದು, ಇದು ಸೈಡ್ವಾಲ್ ಬಾಗುವಿಕೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.