ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (CVD) ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಘನ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆವೇಫರ್ಅನಿಲ ಮಿಶ್ರಣದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆಯ ಮೂಲಕ. ವಿಭಿನ್ನ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳ ಪ್ರಕಾರ (ಒತ್ತಡ, ಪೂರ್ವಗಾಮಿ), ಇದನ್ನು ವಿವಿಧ ಸಲಕರಣೆಗಳ ಮಾದರಿಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಬಹುದು.
ಈ ಎರಡು ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಯಾವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ?
PECVD(ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ವರ್ಧಿತ) ಉಪಕರಣವು OX, ನೈಟ್ರೈಡ್, ಲೋಹದ ಗೇಟ್, ಅಸ್ಫಾಟಿಕ ಕಾರ್ಬನ್, ಇತ್ಯಾದಿಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಹಲವಾರು ಮತ್ತು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲ್ಪಡುತ್ತದೆ; LPCVD (ಕಡಿಮೆ ಶಕ್ತಿ) ಅನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ನೈಟ್ರೈಡ್, ಪಾಲಿ, TEOS ನಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ತತ್ವ ಏನು?
PECVD - ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು CVD ಅನ್ನು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಸಂಯೋಜಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ. PECVD ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ಕಡಿಮೆ-ತಾಪಮಾನದ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಒತ್ತಡದಲ್ಲಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಕೊಠಡಿಯ ಕ್ಯಾಥೋಡ್‌ನಲ್ಲಿ (ಅಂದರೆ, ಮಾದರಿ ಟ್ರೇ) ಗ್ಲೋ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಅನ್ನು ಪ್ರೇರೇಪಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಗ್ಲೋ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಅಥವಾ ಇತರ ತಾಪನ ಸಾಧನವು ಮಾದರಿಯ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಪೂರ್ವನಿರ್ಧರಿತ ಮಟ್ಟಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ನಂತರ ನಿಯಂತ್ರಿತ ಪ್ರಮಾಣದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಅನಿಲವನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಬಹುದು. ಈ ಅನಿಲವು ರಾಸಾಯನಿಕ ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳ ಸರಣಿಗೆ ಒಳಗಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಂತಿಮವಾಗಿ ಮಾದರಿಯ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಘನ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ.
LPCVD - ಕಡಿಮೆ-ಒತ್ತಡದ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (LPCVD) ರಿಯಾಕ್ಟರ್‌ನಲ್ಲಿನ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಅನಿಲದ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಸುಮಾರು 133Pa ಅಥವಾ ಅದಕ್ಕಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ.
ಪ್ರತಿಯೊಂದರ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಯಾವುವು?
PECVD - ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು CVD ಅನ್ನು ಸಂಪೂರ್ಣವಾಗಿ ಸಂಯೋಜಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ: 1) ಕಡಿಮೆ-ತಾಪಮಾನದ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ (ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಹಾನಿಯನ್ನು ತಪ್ಪಿಸುವುದು); 2) ವೇಗದ ಚಿತ್ರ ಬೆಳವಣಿಗೆ; 3) ವಸ್ತುಗಳ ಬಗ್ಗೆ ಮೆಚ್ಚದವರಲ್ಲ, OX, ನೈಟ್ರೈಡ್, ಲೋಹದ ಗೇಟ್, ಅಸ್ಫಾಟಿಕ ಕಾರ್ಬನ್ ಎಲ್ಲವೂ ಬೆಳೆಯಬಹುದು; 4) ಅಯಾನು ನಿಯತಾಂಕಗಳು, ಅನಿಲ ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣ, ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪದ ಮೂಲಕ ಪಾಕವಿಧಾನವನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸಬಹುದಾದ ಇನ್-ಸಿಟು ಮಾನಿಟರಿಂಗ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಇದೆ.
LPCVD - LPCVD ಯಿಂದ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಿದ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳು ಉತ್ತಮ ಹಂತದ ಕವರೇಜ್, ಉತ್ತಮ ಸಂಯೋಜನೆ ಮತ್ತು ರಚನೆ ನಿಯಂತ್ರಣ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಠೇವಣಿ ದರ ಮತ್ತು ಔಟ್‌ಪುಟ್ ಅನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ. ಇದರ ಜೊತೆಗೆ, LPCVD ಗೆ ವಾಹಕ ಅನಿಲದ ಅಗತ್ಯವಿರುವುದಿಲ್ಲ, ಆದ್ದರಿಂದ ಇದು ಕಣಗಳ ಮಾಲಿನ್ಯದ ಮೂಲವನ್ನು ಬಹಳವಾಗಿ ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣೆಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಮೌಲ್ಯ-ವರ್ಧಿತ ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
ಹೆಚ್ಚಿನ ಚರ್ಚೆಗಾಗಿ ನಮ್ಮನ್ನು ಭೇಟಿ ಮಾಡಲು ಪ್ರಪಂಚದಾದ್ಯಂತದ ಯಾವುದೇ ಗ್ರಾಹಕರಿಗೆ ಸ್ವಾಗತ!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಜುಲೈ-24-2024