ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನ,ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ SiC ಲೇಪನ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ, ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಠೇವಣಿ (CVD), ಭೌತಿಕ ಆವಿ ಠೇವಣಿ (PVD), ಅಥವಾ ಉಷ್ಣ ಸಿಂಪಡಿಸುವಿಕೆಯಂತಹ ವಿಧಾನಗಳ ಮೂಲಕ ಮೇಲ್ಮೈಗಳ ಮೇಲೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಪದರವನ್ನು ಅನ್ವಯಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ಈ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಲೇಪನವು ಅಸಾಧಾರಣ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ರಕ್ಷಣೆಯನ್ನು ನೀಡುವ ಮೂಲಕ ವಿವಿಧ ತಲಾಧಾರಗಳ ಮೇಲ್ಮೈ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಕರಗುವ ಬಿಂದು (ಅಂದಾಜು 2700℃), ತೀವ್ರ ಗಡಸುತನ (ಮೊಹ್ಸ್ ಸ್ಕೇಲ್ 9), ಅತ್ಯುತ್ತಮ ತುಕ್ಕು ಮತ್ತು ಉತ್ಕರ್ಷಣ ನಿರೋಧಕತೆ ಮತ್ತು ಅಸಾಧಾರಣ ಅಬ್ಲೇಶನ್ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಸೇರಿದಂತೆ ಅದರ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಭೌತಿಕ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಗೆ SiC ಹೆಸರುವಾಸಿಯಾಗಿದೆ.
ಕೈಗಾರಿಕಾ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನದ ಪ್ರಮುಖ ಪ್ರಯೋಜನಗಳು
ಈ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳ ಕಾರಣದಿಂದಾಗಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನವನ್ನು ಏರೋಸ್ಪೇಸ್, ಶಸ್ತ್ರಾಸ್ತ್ರ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯಂತಹ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ವಿಪರೀತ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ 1800-2000℃ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ, SiC ಲೇಪನವು ಗಮನಾರ್ಹವಾದ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಅಬ್ಲೇಟಿವ್ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಮಾತ್ರ ಅನೇಕ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ರಚನಾತ್ಮಕ ಸಮಗ್ರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವುದಿಲ್ಲ, ಆದ್ದರಿಂದ ಘಟಕದ ಬಲಕ್ಕೆ ಧಕ್ಕೆಯಾಗದಂತೆ ಅದರ ವಿಶಿಷ್ಟ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ಲೇಪನ ವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪಿತ ಅಂಶಗಳು MOCVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹ ರಕ್ಷಣೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನವನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಸಾಮಾನ್ಯ ವಿಧಾನಗಳು
Ⅰ● ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಠೇವಣಿ (CVD) ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನ
ಈ ವಿಧಾನದಲ್ಲಿ, ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ ತಲಾಧಾರಗಳನ್ನು ಇರಿಸುವ ಮೂಲಕ SiC ಲೇಪನಗಳನ್ನು ರಚಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಅಲ್ಲಿ ಮೀಥೈಲ್ಟ್ರಿಕ್ಲೋರೋಸಿಲೇನ್ (MTS) ಪೂರ್ವಗಾಮಿಯಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ನಿಯಂತ್ರಿತ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ-ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 950-1300 ° C ಮತ್ತು ಋಣಾತ್ಮಕ ಒತ್ತಡ- MTS ವಿಭಜನೆಗೆ ಒಳಗಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಅನ್ನು ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸಂಗ್ರಹಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಈ CVD SiC ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಅನುಸರಣೆಯೊಂದಿಗೆ ದಟ್ಟವಾದ, ಏಕರೂಪದ ಲೇಪನವನ್ನು ಖಾತ್ರಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಮತ್ತು ಏರೋಸ್ಪೇಸ್ ವಲಯಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ-ನಿಖರವಾದ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.
Ⅱ● ಪೂರ್ವಗಾಮಿ ಪರಿವರ್ತನೆ ವಿಧಾನ (ಪಾಲಿಮರ್ ಇಂಪ್ರೆಗ್ನೇಷನ್ ಮತ್ತು ಪೈರೋಲಿಸಿಸ್ - PIP)
ಮತ್ತೊಂದು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸ್ಪ್ರೇ ಲೇಪನ ವಿಧಾನವು ಪೂರ್ವಗಾಮಿ ಪರಿವರ್ತನೆ ವಿಧಾನವಾಗಿದೆ, ಇದು ಪೂರ್ವ-ಚಿಕಿತ್ಸೆ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಸೆರಾಮಿಕ್ ಪೂರ್ವಗಾಮಿ ದ್ರಾವಣದಲ್ಲಿ ಮುಳುಗಿಸುವುದನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ. ಇಂಪ್ರೆಗ್ನೇಶನ್ ಟ್ಯಾಂಕ್ ಅನ್ನು ನಿರ್ವಾತಗೊಳಿಸಿದ ನಂತರ ಮತ್ತು ಲೇಪನವನ್ನು ಒತ್ತಿದ ನಂತರ, ಮಾದರಿಯನ್ನು ಬಿಸಿಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ತಂಪಾಗಿಸಿದ ಮೇಲೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನ ರಚನೆಗೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ. ಏಕರೂಪದ ಲೇಪನ ದಪ್ಪ ಮತ್ತು ವರ್ಧಿತ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧದ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಘಟಕಗಳಿಗೆ ಈ ವಿಧಾನವು ಅನುಕೂಲಕರವಾಗಿದೆ.
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನದ ಭೌತಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನಗಳು ಬೇಡಿಕೆಯ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಸೂಕ್ತವಾದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಪ್ರದರ್ಶಿಸುತ್ತವೆ. ಈ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಸೇರಿವೆ:
ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ: 120-270 W/m·K
ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಗುಣಾಂಕ: 4.3 × 10^(-6)/ಕೆ (20~800℃ ನಲ್ಲಿ)
ಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕಲ್ ರೆಸಿಸ್ಟಿವಿಟಿ: 10^5– 10^6Ω·cm
ಗಡಸುತನ: ಮೊಹ್ಸ್ ಸ್ಕೇಲ್ 9
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನದ ಅನ್ವಯಗಳು
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ, MOCVD ಮತ್ತು ಇತರ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನವು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ನೀಡುವ ಮೂಲಕ ರಿಯಾಕ್ಟರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಸಸೆಪ್ಟರ್ಗಳಂತಹ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ. ಏರೋಸ್ಪೇಸ್ ಮತ್ತು ರಕ್ಷಣೆಯಲ್ಲಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ಪರಿಣಾಮಗಳು ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ ಪರಿಸರವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುವ ಘಟಕಗಳಿಗೆ ಅನ್ವಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇದಲ್ಲದೆ, ಕ್ರಿಮಿನಾಶಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಬಾಳಿಕೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ವೈದ್ಯಕೀಯ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಬಣ್ಣ ಅಥವಾ ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಸಹ ಬಳಸಬಹುದು.
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನವನ್ನು ಏಕೆ ಆರಿಸಬೇಕು?
ಘಟಕದ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸುವಲ್ಲಿ ಸಾಬೀತಾಗಿರುವ ದಾಖಲೆಯೊಂದಿಗೆ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನಗಳು ಸಾಟಿಯಿಲ್ಲದ ಬಾಳಿಕೆ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತವೆ, ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಬಳಕೆಗಾಗಿ ಅವುಗಳನ್ನು ವೆಚ್ಚ-ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಮಾಡುತ್ತದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪಿತ ಮೇಲ್ಮೈಯನ್ನು ಆರಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಕೈಗಾರಿಕೆಗಳು ಕಡಿಮೆ ನಿರ್ವಹಣಾ ವೆಚ್ಚಗಳು, ವರ್ಧಿತ ಉಪಕರಣಗಳ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ ಮತ್ತು ಸುಧಾರಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ದಕ್ಷತೆಯಿಂದ ಪ್ರಯೋಜನ ಪಡೆಯುತ್ತವೆ.
VET ಎನರ್ಜಿಯನ್ನು ಏಕೆ ಆರಿಸಬೇಕು?
VET ENERGY ಚೀನಾದಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ವೃತ್ತಿಪರ ತಯಾರಕ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಖಾನೆಯಾಗಿದೆ. ಮುಖ್ಯ SiC ಲೇಪನ ಉತ್ಪನ್ನಗಳಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಕೋಟಿಂಗ್ ಹೀಟರ್,CVD ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಕೋಟಿಂಗ್ MOCVD ಸಸೆಪ್ಟರ್, CVD SiC ಲೇಪನದೊಂದಿಗೆ MOCVD ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್, SiC ಕೋಟೆಡ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೇಸ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ಸ್, ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ಗಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪಿತ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಸಬ್ಸ್ಟ್ರೇಟ್,SiC ಲೇಪನ/ಲೇಪಿತ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಸಬ್ಸ್ಟ್ರೇಟ್/ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ಗಾಗಿ ಟ್ರೇ, CVD SiC ಲೇಪಿತ ಕಾರ್ಬನ್-ಕಾರ್ಬನ್ ಕಾಂಪೋಸಿಟ್ CFC ಬೋಟ್ ಮೋಲ್ಡ್. VET ENERGY ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮಕ್ಕೆ ಸುಧಾರಿತ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ಬದ್ಧವಾಗಿದೆ. ಚೀನಾದಲ್ಲಿ ನಿಮ್ಮ ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಪಾಲುದಾರರಾಗಲು ನಾವು ಪ್ರಾಮಾಣಿಕವಾಗಿ ಆಶಿಸುತ್ತೇವೆ.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಸೆಪ್ಟೆಂಬರ್-02-2023