ಸಿಕ್ ಲೇಪನ ಎಂದರೇನು? - ವೆಟ್ ಎನರ್ಜಿ

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮತ್ತು ಇಂಗಾಲವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಗಟ್ಟಿಯಾದ ಸಂಯುಕ್ತವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಇದು ಅತ್ಯಂತ ಅಪರೂಪದ ಖನಿಜ ಮೊಯ್ಸನೈಟ್ ಆಗಿ ಪ್ರಕೃತಿಯಲ್ಲಿ ಕಂಡುಬರುತ್ತದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಕಣಗಳನ್ನು ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ ಒಟ್ಟಿಗೆ ಜೋಡಿಸಿ ತುಂಬಾ ಗಟ್ಟಿಯಾದ ಪಿಂಗಾಣಿಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸಬಹುದು, ಇದನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಾಳಿಕೆ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಮೆರವಣಿಗೆಯಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

SiC ಯ ಭೌತಿಕ ರಚನೆ

SiC ಲೇಪನ ಎಂದರೇನು?

SiC ಲೇಪನವು ಹೆಚ್ಚಿನ ತುಕ್ಕು ಮತ್ತು ಶಾಖ ನಿರೋಧಕತೆ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ದಟ್ಟವಾದ, ಉಡುಗೆ-ನಿರೋಧಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನವಾಗಿದೆ. ಈ ಉನ್ನತ-ಶುದ್ಧತೆಯ SiC ಲೇಪನವನ್ನು ಪ್ರಾಥಮಿಕವಾಗಿ ಅರೆವಾಹಕ ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಉದ್ಯಮಗಳಲ್ಲಿ ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್‌ಗಳು, ಬೇಸ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ತಾಪನ ಅಂಶಗಳನ್ನು ನಾಶಕಾರಿ ಮತ್ತು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಪರಿಸರದಿಂದ ರಕ್ಷಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. SiC ಲೇಪನವು ನಿರ್ವಾತ ಕುಲುಮೆಗಳಿಗೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರ್ವಾತ, ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಮತ್ತು ಆಮ್ಲಜನಕ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಮಾದರಿ ತಾಪನಕ್ಕೆ ಸಹ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ SiC ಲೇಪನ ಮೇಲ್ಮೈ

SiC ಲೇಪನ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಎಂದರೇನು?

ಬಳಸಿ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ನ ತೆಳುವಾದ ಪದರವನ್ನು ಸಂಗ್ರಹಿಸಲಾಗುತ್ತದೆCVD (ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ). ಠೇವಣಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 1200-1300 ° C ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಕೈಗೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ವಸ್ತುವಿನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ವರ್ತನೆಯು ಉಷ್ಣ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು SiC ಲೇಪನದೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗಬೇಕು.

CVD SIC ಫಿಲ್ಮ್ ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಸ್ಟ್ರಕ್ಚರ್

CVD SIC ಕೋಟಿಂಗ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಸ್ಟ್ರಕ್ಚರ್

SiC ಲೇಪನದ ಭೌತಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಅದರ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಗಡಸುತನ, ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ರತಿಫಲಿಸುತ್ತದೆ.

ವಿಶಿಷ್ಟ ಭೌತಿಕ ನಿಯತಾಂಕಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಕೆಳಕಂಡಂತಿವೆ:

ಗಡಸುತನ: SiC ಲೇಪನವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 2000-2500 HV ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ ವಿಕರ್ಸ್ ಗಡಸುತನವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ಇದು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಲ್ಲಿ ಅತ್ಯಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಡುಗೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಭಾವದ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ.

ಸಾಂದ್ರತೆ: SiC ಲೇಪನಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 3.1-3.2 g/cm³ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯು ಲೇಪನದ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ ಮತ್ತು ಬಾಳಿಕೆಗೆ ಕೊಡುಗೆ ನೀಡುತ್ತದೆ.

ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ: SiC ಲೇಪನಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 120-200 W/mK ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ (20 ° C ನಲ್ಲಿ). ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಉತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಶಾಖ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ.

ಕರಗುವ ಬಿಂದು: ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸರಿಸುಮಾರು 2730°C ಕರಗುವ ಬಿಂದುವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ವಿಪರೀತ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.

ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ ಗುಣಾಂಕ: SiC ಲೇಪನಗಳು ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆಯ (CTE) ಕಡಿಮೆ ರೇಖಾತ್ಮಕ ಗುಣಾಂಕವನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 4.0-4.5 µm/mK ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ (25-1000℃ ನಲ್ಲಿ). ಇದರರ್ಥ ದೊಡ್ಡ ತಾಪಮಾನ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳ ಮೇಲೆ ಅದರ ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆ ಉತ್ತಮವಾಗಿದೆ.

ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕ: SiC ಲೇಪನಗಳು ಬಲವಾದ ಆಮ್ಲ, ಕ್ಷಾರ ಮತ್ತು ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣದ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ತುಕ್ಕುಗೆ ಅತ್ಯಂತ ನಿರೋಧಕವಾಗಿರುತ್ತವೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಬಲವಾದ ಆಮ್ಲಗಳನ್ನು (HF ಅಥವಾ HCl ನಂತಹ) ಬಳಸುವಾಗ, ಅವುಗಳ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯು ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಲೋಹದ ವಸ್ತುಗಳಿಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚು ಮೀರಿದೆ.

SiC ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಈ ಕೆಳಗಿನ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಅನ್ವಯಿಸಬಹುದು:

ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ (ಕಡಿಮೆ CTE)
ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್
ಮಾಲಿಬ್ಡಿನಮ್
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್
ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್
ಕಾರ್ಬನ್-ಕಾರ್ಬನ್ ಕಾಂಪೋಸಿಟ್ಸ್ (CFC)

SiC ಲೇಪಿತ ಉತ್ಪನ್ನಗಳನ್ನು ಈ ಕೆಳಗಿನ ಪ್ರದೇಶಗಳಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ:

ಎಲ್ಇಡಿ ಚಿಪ್ ಉತ್ಪಾದನೆ
ಪಾಲಿಸಿಲಿಕಾನ್ ಉತ್ಪಾದನೆ
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆ
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮತ್ತುSiC ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ
ವೇಫರ್ ಶಾಖ ಚಿಕಿತ್ಸೆ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚಣೆ

ಏಕೆ VET ಶಕ್ತಿ ಆಯ್ಕೆ?

VET ಎನರ್ಜಿಯು ಚೀನಾದಲ್ಲಿ SiC ಲೇಪನ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಪ್ರಮುಖ ತಯಾರಕರು, ನಾವೀನ್ಯತೆ ಮತ್ತು ನಾಯಕರಾಗಿದ್ದಾರೆ, ಮುಖ್ಯ SiC ಲೇಪನ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು ಸೇರಿವೆSiC ಲೇಪನದೊಂದಿಗೆ ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್, SiC ಲೇಪಿತಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್, SiC ಲೇಪಿತ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ರಿಂಗ್, SiC ಲೇಪನದೊಂದಿಗೆ ಅರ್ಧ ಚಂದ್ರನ ಭಾಗಗಳು, SiC ಲೇಪಿತ ಕಾರ್ಬನ್-ಕಾರ್ಬನ್ ಸಂಯುಕ್ತ, SiC ಲೇಪಿತ ವೇಫರ್ ದೋಣಿ, SiC ಲೇಪಿತ ಹೀಟರ್, ಇತ್ಯಾದಿ. VET ಶಕ್ತಿಯು ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮಕ್ಕೆ ಅಂತಿಮ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನ ಪರಿಹಾರಗಳನ್ನು ಒದಗಿಸಲು ಬದ್ಧವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಗ್ರಾಹಕೀಕರಣ ಸೇವೆಗಳನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ. ಚೀನಾದಲ್ಲಿ ನಿಮ್ಮ ದೀರ್ಘಾವಧಿಯ ಪಾಲುದಾರರಾಗಲು ನಾವು ಪ್ರಾಮಾಣಿಕವಾಗಿ ಎದುರು ನೋಡುತ್ತಿದ್ದೇವೆ.