ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಕುಲುಮೆಯು ಒಂದು ಸಾಧನವಾಗಿದ್ದು ಅದು aಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಹೀಟರ್ಜಡ ಅನಿಲ (ಆರ್ಗಾನ್) ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಪಾಲಿಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಕರಗಿಸಲು ಮತ್ತು ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸದ ಏಕ ಹರಳುಗಳನ್ನು ಬೆಳೆಯಲು ಝೊಕ್ರಾಲ್ಸ್ಕಿ ವಿಧಾನವನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ. ಇದು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಈ ಕೆಳಗಿನ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಿಂದ ಕೂಡಿದೆ:
ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪ್ರಸರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆ
ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪ್ರಸರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಕುಲುಮೆಯ ಮೂಲ ಆಪರೇಟಿಂಗ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಆಗಿದೆ, ಇದು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಸ್ಫಟಿಕಗಳ ಚಲನೆಯನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ಮತ್ತುಕ್ರೂಸಿಬಲ್ಸ್, ಬೀಜದ ಹರಳುಗಳ ಎತ್ತುವಿಕೆ ಮತ್ತು ತಿರುಗುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಎತ್ತುವಿಕೆ ಮತ್ತು ತಿರುಗುವಿಕೆ ಸೇರಿದಂತೆಕ್ರೂಸಿಬಲ್ಸ್. ಇದು ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸುಗಮ ಪ್ರಗತಿಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಸ್ಫಟಿಕಗಳು ಮತ್ತು ಕ್ರೂಸಿಬಲ್‌ಗಳ ಸ್ಥಾನ, ವೇಗ ಮತ್ತು ತಿರುಗುವಿಕೆಯ ಕೋನದಂತಹ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ಸರಿಹೊಂದಿಸಬಹುದು. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ವಿವಿಧ ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಹಂತಗಳಾದ ಸೀಡಿಂಗ್, ನೆಕ್ಕಿಂಗ್, ಭುಜ, ಸಮಾನ ವ್ಯಾಸದ ಬೆಳವಣಿಗೆ ಮತ್ತು ಟೈಲಿಂಗ್, ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸಲು ಈ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಿಂದ ಬೀಜ ಹರಳುಗಳು ಮತ್ತು ಕ್ರೂಸಿಬಲ್‌ಗಳ ಚಲನೆಯನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.
ತಾಪನ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆ
ಇದು ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಕುಲುಮೆಯ ಪ್ರಮುಖ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆ, ಇದನ್ನು ಶಾಖವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಮತ್ತು ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿನ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇದು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಹೀಟರ್‌ಗಳು, ತಾಪಮಾನ ಸಂವೇದಕಗಳು ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಕಗಳಂತಹ ಘಟಕಗಳಿಂದ ಕೂಡಿದೆ. ಹೀಟರ್ ಅನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್‌ನಂತಹ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಪರ್ಯಾಯ ಪ್ರವಾಹವು ರೂಪಾಂತರಗೊಂಡ ನಂತರ ಮತ್ತು ಪ್ರವಾಹವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ಕಡಿಮೆಯಾದ ನಂತರ, ಕ್ರೂಸಿಬಲ್‌ನಲ್ಲಿ ಪಾಲಿಸಿಲಿಕಾನ್‌ನಂತಹ ಪಾಲಿಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಕರಗಿಸಲು ಹೀಟರ್ ಶಾಖವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ. ತಾಪಮಾನ ಸಂವೇದಕವು ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿನ ತಾಪಮಾನ ಬದಲಾವಣೆಗಳನ್ನು ನೈಜ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ತಾಪಮಾನದ ಸಂಕೇತವನ್ನು ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಕಕ್ಕೆ ರವಾನಿಸುತ್ತದೆ. ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಕವು ಸೆಟ್ ತಾಪಮಾನದ ನಿಯತಾಂಕಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ತಾಪಮಾನದ ಸಂಕೇತದ ಪ್ರಕಾರ ತಾಪನ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ನಿಖರವಾಗಿ ನಿಯಂತ್ರಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರಿಂದಾಗಿ ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿನ ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಕಾಪಾಡಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾದ ತಾಪಮಾನದ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.
ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆ
ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರವನ್ನು ರಚಿಸುವುದು ಮತ್ತು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಮುಖ್ಯ ಕಾರ್ಯವಾಗಿದೆ. ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿನ ಗಾಳಿ ಮತ್ತು ಅಶುದ್ಧ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಪಂಪ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ಉಪಕರಣಗಳ ಮೂಲಕ ಹೊರತೆಗೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿನ ಅನಿಲ ಒತ್ತಡವು ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಮಟ್ಟವನ್ನು ತಲುಪುತ್ತದೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 5TOR (ಟಾರ್) ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ. ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವಸ್ತುವನ್ನು ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಿಸುವುದನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸರವು ಸ್ಫಟಿಕದ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಬಾಷ್ಪಶೀಲ ಕಲ್ಮಶಗಳನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಲು ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಸಹ ಅನುಕೂಲಕರವಾಗಿದೆ.
ಆರ್ಗಾನ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆ
ಆರ್ಗಾನ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿ ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿನ ಒತ್ತಡವನ್ನು ರಕ್ಷಿಸುವಲ್ಲಿ ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವಲ್ಲಿ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ನಿರ್ವಾತಗೊಳಿಸಿದ ನಂತರ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಆರ್ಗಾನ್ ಅನಿಲ (ಶುದ್ಧತೆ 6 9 ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿರಬೇಕು) ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿ ತುಂಬಿರುತ್ತದೆ. ಒಂದೆಡೆ, ಇದು ಕುಲುಮೆಗೆ ಪ್ರವೇಶಿಸದಂತೆ ಹೊರಗಿನ ಗಾಳಿಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣಗೊಳಿಸುವುದನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ; ಮತ್ತೊಂದೆಡೆ, ಆರ್ಗಾನ್ ಅನಿಲದ ತುಂಬುವಿಕೆಯು ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿನ ಒತ್ತಡವನ್ನು ಸ್ಥಿರವಾಗಿ ನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾದ ಒತ್ತಡದ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ. ಇದರ ಜೊತೆಯಲ್ಲಿ, ಆರ್ಗಾನ್ ಅನಿಲದ ಹರಿವು ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಶಾಖವನ್ನು ತೆಗೆದುಹಾಕಬಹುದು, ಇದು ಒಂದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ತಂಪಾಗಿಸುವ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ.
ನೀರಿನ ತಂಪಾಗಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆ
ಉಪಕರಣದ ಸಾಮಾನ್ಯ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆ ಮತ್ತು ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಕುಲುಮೆಯ ವಿವಿಧ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಘಟಕಗಳನ್ನು ತಂಪಾಗಿಸುವುದು ನೀರಿನ ತಂಪಾಗಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯ ಕಾರ್ಯವಾಗಿದೆ. ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಕುಲುಮೆಯ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಹೀಟರ್,ಕ್ರೂಸಿಬಲ್, ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ಮತ್ತು ಇತರ ಘಟಕಗಳು ಬಹಳಷ್ಟು ಶಾಖವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತವೆ. ಅವುಗಳನ್ನು ಸಮಯಕ್ಕೆ ತಂಪಾಗಿಸದಿದ್ದರೆ, ಉಪಕರಣಗಳು ಹೆಚ್ಚು ಬಿಸಿಯಾಗುತ್ತವೆ, ವಿರೂಪಗೊಳ್ಳುತ್ತವೆ ಅಥವಾ ಹಾನಿಗೊಳಗಾಗುತ್ತವೆ. ನೀರಿನ ತಂಪಾಗಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಉಪಕರಣದ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಸುರಕ್ಷಿತ ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿ ಇರಿಸಲು ತಂಪಾಗಿಸುವ ನೀರನ್ನು ಪರಿಚಲನೆ ಮಾಡುವ ಮೂಲಕ ಈ ಘಟಕಗಳ ಶಾಖವನ್ನು ತೆಗೆದುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣದ ನಿಖರತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿನ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸಲು ನೀರಿನ ತಂಪಾಗಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಸಹ ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
ವಿದ್ಯುತ್ ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆ
ವಿದ್ಯುತ್ ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಕುಲುಮೆಯ "ಮೆದುಳು" ಆಗಿದೆ, ಸಂಪೂರ್ಣ ಉಪಕರಣಗಳ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆ ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಜವಾಬ್ದಾರಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಇದು ತಾಪಮಾನ ಸಂವೇದಕಗಳು, ಒತ್ತಡ ಸಂವೇದಕಗಳು, ಸ್ಥಾನ ಸಂವೇದಕಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳಂತಹ ವಿವಿಧ ಸಂವೇದಕಗಳಿಂದ ಸಂಕೇತಗಳನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು ಮತ್ತು ಈ ಸಂಕೇತಗಳ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಪ್ರಸರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ತಾಪನ ತಾಪಮಾನ ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ಆರ್ಗಾನ್ ವ್ಯವಸ್ಥೆ ಮತ್ತು ನೀರಿನ ತಂಪಾಗಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಸಂಘಟಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಿಸುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ವಿದ್ಯುತ್ ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ತಾಪಮಾನ ಸಂವೇದಕದಿಂದ ಹಿಂತಿರುಗಿಸಲಾದ ತಾಪಮಾನ ಸಂಕೇತದ ಪ್ರಕಾರ ತಾಪನ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ಸರಿಹೊಂದಿಸಬಹುದು; ಸ್ಫಟಿಕದ ಬೆಳವಣಿಗೆಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ, ಇದು ಬೀಜದ ಸ್ಫಟಿಕ ಮತ್ತು ಕ್ರೂಸಿಬಲ್‌ನ ಚಲನೆಯ ವೇಗ ಮತ್ತು ತಿರುಗುವಿಕೆಯ ಕೋನವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದು. ಅದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ವಿದ್ಯುತ್ ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯು ದೋಷದ ರೋಗನಿರ್ಣಯ ಮತ್ತು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯ ಕಾರ್ಯಗಳನ್ನು ಸಹ ಹೊಂದಿದೆ, ಇದು ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಉಪಕರಣದ ಅಸಹಜ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳನ್ನು ಪತ್ತೆಹಚ್ಚುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಲಕರಣೆಗಳ ಸುರಕ್ಷಿತ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಸೆಪ್ಟೆಂಬರ್-23-2024