ಸಿವಿಡಿ (ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ) ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ವಿಧಾನವಾಗಿದೆ.CVD ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನಗಳುಅನೇಕ ವಿಶಿಷ್ಟ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಈ ಲೇಖನವು CVD ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನದ ತಯಾರಿಕೆಯ ವಿಧಾನವನ್ನು ಮತ್ತು ಅದರ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸುತ್ತದೆ.
1. ತಯಾರಿಸುವ ವಿಧಾನCVD ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನ
CVD ವಿಧಾನವು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಅನಿಲ ಪೂರ್ವಗಾಮಿಗಳನ್ನು ಘನ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನಗಳಾಗಿ ಪರಿವರ್ತಿಸುತ್ತದೆ. ವಿಭಿನ್ನ ಅನಿಲ ಪೂರ್ವಗಾಮಿಗಳ ಪ್ರಕಾರ, ಇದನ್ನು ಅನಿಲ ಹಂತದ CVD ಮತ್ತು ದ್ರವ ಹಂತದ CVD ಎಂದು ವಿಂಗಡಿಸಬಹುದು.
1. ಆವಿ ಹಂತದ CVD
ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳ ಬೆಳವಣಿಗೆಯನ್ನು ಸಾಧಿಸಲು ಆವಿ ಹಂತದ CVD ಅನಿಲ ಪೂರ್ವಗಾಮಿಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಆರ್ಗನೋಸಿಲಿಕಾನ್ ಸಂಯುಕ್ತಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಆರ್ಗನೋಸಿಲಿಕಾನ್ ಸಂಯುಕ್ತಗಳಲ್ಲಿ ಮೀಥೈಲ್‌ಸಿಲೇನ್, ಡೈಮಿಥೈಲ್‌ಸಿಲೇನ್, ಮೊನೊಸಿಲೇನ್ ಇತ್ಯಾದಿಗಳು ಸೇರಿವೆ, ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಕೋಣೆಗಳಿಗೆ ಅನಿಲ ಪೂರ್ವಗಾಮಿಗಳನ್ನು ಸಾಗಿಸುವ ಮೂಲಕ ಲೋಹದ ತಲಾಧಾರಗಳ ಮೇಲೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ. ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿನ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಪ್ರದೇಶಗಳು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಇಂಡಕ್ಷನ್ ತಾಪನ ಅಥವಾ ಪ್ರತಿರೋಧಕ ತಾಪನದಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುತ್ತವೆ.
2. ದ್ರವ ಹಂತದ CVD
ಲಿಕ್ವಿಡ್-ಫೇಸ್ CVD ಒಂದು ದ್ರವ ಪೂರ್ವಗಾಮಿಯನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮತ್ತು ಸಿಲಾನಾಲ್ ಸಂಯುಕ್ತವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಸಾವಯವ ದ್ರಾವಕವನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ ಬಿಸಿಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಆವಿಯಾಗುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ನಂತರ ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆಯ ಮೂಲಕ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ ರೂಪುಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ.
2. ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳುCVD ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನ
1.ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ
CVD ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನಗಳುಅತ್ಯುತ್ತಮ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ. ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ಕೆಲಸ ಮಾಡುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ವಿಪರೀತ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬಲ್ಲದು.
2.ಗುಡ್ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು
CVD ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಇದು ಸವೆತ ಮತ್ತು ಸವೆತದಿಂದ ಲೋಹದ ತಲಾಧಾರಗಳನ್ನು ರಕ್ಷಿಸುತ್ತದೆ, ವಸ್ತುಗಳ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತದೆ.
3. ಅತ್ಯುತ್ತಮ ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆ
CVD ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನಗಳುಆಮ್ಲಗಳು, ಕ್ಷಾರಗಳು ಮತ್ತು ಲವಣಗಳಂತಹ ಸಾಮಾನ್ಯ ರಾಸಾಯನಿಕಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚು ನಿರೋಧಕವಾಗಿರುತ್ತವೆ. ಇದು ರಾಸಾಯನಿಕ ದಾಳಿ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ಸವೆತವನ್ನು ವಿರೋಧಿಸುತ್ತದೆ.
4. ಕಡಿಮೆ ಘರ್ಷಣೆ ಗುಣಾಂಕ
CVD ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನಕಡಿಮೆ ಘರ್ಷಣೆ ಗುಣಾಂಕ ಮತ್ತು ಉತ್ತಮ ಸ್ವಯಂ ನಯಗೊಳಿಸುವ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಇದು ಘರ್ಷಣೆ ಮತ್ತು ಉಡುಗೆಗಳನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ವಸ್ತು ಬಳಕೆಯ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.
5.ಉತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ
CVD ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನವು ಉತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಇದು ತ್ವರಿತವಾಗಿ ಶಾಖವನ್ನು ನಡೆಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಲೋಹದ ಬೇಸ್ನ ಶಾಖದ ಹರಡುವಿಕೆಯ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುತ್ತದೆ.
6.Excellent ವಿದ್ಯುತ್ ನಿರೋಧನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು
CVD ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನವು ಉತ್ತಮ ವಿದ್ಯುತ್ ನಿರೋಧನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಪ್ರಸ್ತುತ ಸೋರಿಕೆಯನ್ನು ತಡೆಯುತ್ತದೆ. ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳ ನಿರೋಧನ ರಕ್ಷಣೆಯಲ್ಲಿ ಇದನ್ನು ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
7. ಹೊಂದಾಣಿಕೆ ದಪ್ಪ ಮತ್ತು ಸಂಯೋಜನೆ
CVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಪೂರ್ವಗಾಮಿ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ನ ದಪ್ಪ ಮತ್ತು ಸಂಯೋಜನೆಯನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸಬಹುದು. ಇದು ವಿವಿಧ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಿಗೆ ಸಾಕಷ್ಟು ಆಯ್ಕೆಗಳನ್ನು ಮತ್ತು ನಮ್ಯತೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ.
ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತವಾಗಿ, CVD ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನವು ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು, ಉತ್ತಮ ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆ, ಕಡಿಮೆ ಘರ್ಷಣೆ ಗುಣಾಂಕ, ಉತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುತ್ ನಿರೋಧನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಈ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು CVD ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್, ಆಪ್ಟಿಕ್ಸ್, ಏರೋಸ್ಪೇಸ್, ರಾಸಾಯನಿಕ ಉದ್ಯಮ, ಇತ್ಯಾದಿ ಸೇರಿದಂತೆ ಹಲವು ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸುತ್ತವೆ.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಮಾರ್ಚ್-20-2024