ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ನ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್

ಫೋಟೋಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳ ನಿಖರವಾದ ಭಾಗಗಳಿಗೆ ಆದ್ಯತೆಯ ವಸ್ತು

ಅರೆವಾಹಕ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ,ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವರ್ಕ್‌ಟೇಬಲ್, ಗೈಡ್ ರೈಲ್‌ಗಳಂತಹ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಪ್ರಮುಖ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.ಪ್ರತಿಫಲಕಗಳು, ಸೆರಾಮಿಕ್ ಹೀರುವ ಚಕ್, ತೋಳುಗಳು, ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಡಿಸ್ಕ್ಗಳು, ಫಿಕ್ಚರ್ಗಳು, ಇತ್ಯಾದಿ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳಿಗೆ.

ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಭಾಗಗಳುಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಉಪಕರಣಗಳಿಗಾಗಿ

● ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಡಿಸ್ಕ್. ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಡಿಸ್ಕ್ ಎರಕಹೊಯ್ದ ಕಬ್ಬಿಣ ಅಥವಾ ಕಾರ್ಬನ್ ಸ್ಟೀಲ್ನಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದ್ದರೆ, ಅದರ ಸೇವೆಯ ಜೀವನವು ಚಿಕ್ಕದಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಅದರ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕವು ದೊಡ್ಡದಾಗಿದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಅಥವಾ ಹೊಳಪು ಸಮಯದಲ್ಲಿ, ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಡಿಸ್ಕ್‌ನ ಉಡುಗೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ವಿರೂಪತೆಯು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ನ ಚಪ್ಪಟೆತನ ಮತ್ತು ಸಮಾನಾಂತರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಕಷ್ಟವಾಗುತ್ತದೆ. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್‌ನಿಂದ ಮಾಡಿದ ಗ್ರೈಂಡಿಂಗ್ ಡಿಸ್ಕ್ ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಉಡುಗೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ ಗುಣಾಂಕವು ಮೂಲತಃ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳಂತೆಯೇ ಇರುತ್ತದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಇದನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದಲ್ಲಿ ನೆಲಕ್ಕೆ ಮತ್ತು ಹೊಳಪು ಮಾಡಬಹುದು.
● ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಫಿಕ್ಚರ್. ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಿದಾಗ, ಅವು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಶಾಖ ಚಿಕಿತ್ಸೆಗೆ ಒಳಗಾಗಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಫಿಕ್ಚರ್‌ಗಳನ್ನು ಬಳಸಿ ಸಾಗಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಅವು ಶಾಖ-ನಿರೋಧಕ ಮತ್ತು ವಿನಾಶಕಾರಿಯಲ್ಲ. ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು, ವೇಫರ್ ಹಾನಿಯನ್ನು ನಿವಾರಿಸಲು ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಹರಡುವುದನ್ನು ತಡೆಯಲು ಡೈಮಂಡ್ ತರಹದ ಕಾರ್ಬನ್ (DLC) ಮತ್ತು ಇತರ ಲೇಪನಗಳನ್ನು ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಅನ್ವಯಿಸಬಹುದು.
● ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ವರ್ಕ್‌ಟೇಬಲ್. ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರದಲ್ಲಿನ ವರ್ಕ್‌ಟೇಬಲ್ ಅನ್ನು ಉದಾಹರಣೆಯಾಗಿ ತೆಗೆದುಕೊಂಡರೆ, ವರ್ಕ್‌ಟೇಬಲ್ ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಎಕ್ಸ್‌ಪೋಸರ್ ಚಲನೆಯನ್ನು ಪೂರ್ಣಗೊಳಿಸಲು ಕಾರಣವಾಗಿದೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಗದ, ದೊಡ್ಡ-ಸ್ಟ್ರೋಕ್, ಆರು-ಡಿಗ್ರಿ-ಆಫ್-ಫ್ರೀಡಮ್ ನ್ಯಾನೊ-ಲೆವೆಲ್ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ನಿಖರ ಚಲನೆಯ ಅಗತ್ಯವಿರುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, 100nm ರೆಸಲ್ಯೂಶನ್, 33nm ನ ಒವರ್ಲೇ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು 10nm ನ ಸಾಲಿನ ಅಗಲವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಕ್ಕಾಗಿ, 10nm ಅನ್ನು ತಲುಪಲು ವರ್ಕ್‌ಟೇಬಲ್ ಸ್ಥಾನೀಕರಣದ ನಿಖರತೆಯ ಅಗತ್ಯವಿದೆ, ಮಾಸ್ಕ್-ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ ಏಕಕಾಲಿಕ ಹೆಜ್ಜೆ ಮತ್ತು ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ವೇಗಗಳು 150nm/s ಆಗಿರುತ್ತದೆ. ಮತ್ತು ಕ್ರಮವಾಗಿ 120nm/s, ಮತ್ತು ಮಾಸ್ಕ್ ಸ್ಕ್ಯಾನಿಂಗ್ ವೇಗವು ಹತ್ತಿರದಲ್ಲಿದೆ 500nm/s, ಮತ್ತು ವರ್ಕ್‌ಟೇಬಲ್ ಅತಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಚಲನೆಯ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರಬೇಕು.

ವರ್ಕ್‌ಟೇಬಲ್ ಮತ್ತು ಮೈಕ್ರೋ-ಮೋಷನ್ ಟೇಬಲ್‌ನ ಸ್ಕೀಮ್ಯಾಟಿಕ್ ರೇಖಾಚಿತ್ರ (ಭಾಗಶಃ ವಿಭಾಗ)

● ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಚದರ ಕನ್ನಡಿ. ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳಂತಹ ಪ್ರಮುಖ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿನ ಪ್ರಮುಖ ಘಟಕಗಳು ಸಂಕೀರ್ಣ ಆಕಾರಗಳು, ಸಂಕೀರ್ಣ ಆಯಾಮಗಳು ಮತ್ತು ಟೊಳ್ಳಾದ ಹಗುರವಾದ ರಚನೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತವೆ, ಅಂತಹ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಕಷ್ಟವಾಗುತ್ತದೆ. ಪ್ರಸ್ತುತ, ನೆದರ್‌ಲ್ಯಾಂಡ್ಸ್‌ನ ASML, ಜಪಾನ್‌ನ NIKON ಮತ್ತು CANON ನಂತಹ ಮುಖ್ಯವಾಹಿನಿಯ ಅಂತಾರಾಷ್ಟ್ರೀಯ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಉಪಕರಣ ತಯಾರಕರು, ಚದರ ಕನ್ನಡಿಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು, ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳ ಮುಖ್ಯ ಅಂಶಗಳಾದ ಮೈಕ್ರೋಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಗ್ಲಾಸ್ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಡರೈಟ್‌ನಂತಹ ದೊಡ್ಡ ಪ್ರಮಾಣದ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಬಳಸುತ್ತಾರೆ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುತ್ತಾರೆ. ಸರಳ ಆಕಾರಗಳೊಂದಿಗೆ ಇತರ ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ರಚನಾತ್ಮಕ ಘಟಕಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಚೈನಾ ಬಿಲ್ಡಿಂಗ್ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ಸ್ ರಿಸರ್ಚ್ ಇನ್‌ಸ್ಟಿಟ್ಯೂಟ್‌ನ ತಜ್ಞರು ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ, ಸಂಕೀರ್ಣ-ಆಕಾರದ, ಹೆಚ್ಚು ಹಗುರವಾದ, ಸಂಪೂರ್ಣ ಸುತ್ತುವರಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ ಚೌಕದ ಕನ್ನಡಿಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ ರಚನಾತ್ಮಕ ಮತ್ತು ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳಿಗೆ ತಯಾರಿಸಲು ಸ್ವಾಮ್ಯದ ತಯಾರಿ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ಬಳಸಿದ್ದಾರೆ.