ಸೌರ ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ವಿದ್ಯುತ್ ಉತ್ಪಾದನೆಯು ಪ್ರಪಂಚದ ಅತ್ಯಂತ ಭರವಸೆಯ ಹೊಸ ಶಕ್ತಿ ಉದ್ಯಮವಾಗಿದೆ. ಪಾಲಿಸಿಲಿಕಾನ್ ಮತ್ತು ಅಸ್ಫಾಟಿಕ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಸೌರ ಕೋಶಗಳಿಗೆ ಹೋಲಿಸಿದರೆ, ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ವಿದ್ಯುತ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ವಸ್ತುವಾಗಿ, ಮೊನೊಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್, ಹೆಚ್ಚಿನ ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುತ್ ಪರಿವರ್ತನೆ ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ವಾಣಿಜ್ಯ ಪ್ರಯೋಜನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಸೌರ ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ವಿದ್ಯುತ್ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಮುಖ್ಯವಾಹಿನಿಯಾಗಿದೆ. ಮೊನೊಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ತಯಾರಿಸಲು ಝೋಕ್ರಾಲ್ಸ್ಕಿ (CZ) ಮುಖ್ಯ ವಿಧಾನಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆ. ಝೋಕ್ರಾಲ್ಸ್ಕಿ ಮೊನೊಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಕುಲುಮೆಯ ಸಂಯೋಜನೆಯು ಕುಲುಮೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ನಿರ್ವಾತ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ಅನಿಲ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರ ವ್ಯವಸ್ಥೆ ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುತ್ ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ. ಥರ್ಮಲ್ ಫೀಲ್ಡ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ ಏಕಸ್ಫಟಿಕದ ಸಿಲಿಕಾನ್ನ ಬೆಳವಣಿಗೆಗೆ ಪ್ರಮುಖವಾದ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಒಂದಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಏಕಸ್ಫಟಿಕದ ಸಿಲಿಕಾನ್ನ ಗುಣಮಟ್ಟವು ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರದ ತಾಪಮಾನದ ಗ್ರೇಡಿಯಂಟ್ ವಿತರಣೆಯಿಂದ ನೇರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ.
ಥರ್ಮಲ್ ಫೀಲ್ಡ್ ಘಟಕಗಳು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ ಇಂಗಾಲದ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ (ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಇಂಗಾಲ/ಕಾರ್ಬನ್ ಸಂಯುಕ್ತ ವಸ್ತುಗಳು) ಸಂಯೋಜಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿವೆ, ಇವುಗಳನ್ನು ಅವುಗಳ ಕಾರ್ಯಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಬೆಂಬಲ ಭಾಗಗಳು, ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಭಾಗಗಳು, ತಾಪನ ಅಂಶಗಳು, ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಭಾಗಗಳು, ಉಷ್ಣ ನಿರೋಧನ ವಸ್ತುಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಲಾಗಿದೆ. ಚಿತ್ರ 1 ರಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಲಾಗಿದೆ. ಏಕಸ್ಫಟಿಕದಂತಹ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಗಾತ್ರವು ಹೆಚ್ಚುತ್ತಲೇ ಇರುವುದರಿಂದ, ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರದ ಘಟಕಗಳಿಗೆ ಗಾತ್ರದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ಸಹ ಹೆಚ್ಚಾಗುತ್ತಿವೆ. ಅದರ ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಂದಾಗಿ ಏಕಸ್ಫಟಿಕದ ಸಿಲಿಕಾನ್‌ಗಾಗಿ ಥರ್ಮಲ್ ಫೀಲ್ಡ್ ವಸ್ತುಗಳಿಗೆ ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಸಂಯೋಜಿತ ವಸ್ತುಗಳು ಮೊದಲ ಆಯ್ಕೆಯಾಗುತ್ತವೆ.
ಝೋಕ್ರಾಲ್ಸಿಯನ್ ಮೊನೊಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ವಸ್ತುವಿನ ಕರಗುವಿಕೆಯು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆವಿ ಮತ್ತು ಕರಗಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಸ್ಪ್ಲಾಶ್ ಅನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುತ್ತದೆ, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಇಂಗಾಲದ/ಇಂಗಾಲದ ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರದ ವಸ್ತುಗಳ ಸಿಲಿಕೀಕರಣದ ಸವೆತ, ಮತ್ತು ಇಂಗಾಲ/ಕಾರ್ಬನ್ ಥರ್ಮಲ್ ಫೀಲ್ಡ್ ವಸ್ತುಗಳ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ಸೇವಾ ಜೀವನ. ಗಂಭೀರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರಿದೆ. ಆದ್ದರಿಂದ, ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಥರ್ಮಲ್ ಫೀಲ್ಡ್ ವಸ್ತುಗಳ ಸಿಲಿಕೀಕರಣದ ಸವೆತವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡುವುದು ಮತ್ತು ಅವುಗಳ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸುವುದು ಹೇಗೆ ಎಂಬುದು ಮೊನೊಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ತಯಾರಕರು ಮತ್ತು ಕಾರ್ಬನ್/ಇಂಗಾಲದ ಥರ್ಮಲ್ ಫೀಲ್ಡ್ ವಸ್ತುಗಳ ತಯಾರಕರ ಸಾಮಾನ್ಯ ಕಾಳಜಿಯಾಗಿದೆ.ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನಅದರ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಆಘಾತ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧದಿಂದಾಗಿ ಇಂಗಾಲ/ಇಂಗಾಲದ ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರದ ವಸ್ತುಗಳ ಮೇಲ್ಮೈ ಲೇಪನ ರಕ್ಷಣೆಗೆ ಮೊದಲ ಆಯ್ಕೆಯಾಗಿದೆ.
ಈ ಲೇಖನದಲ್ಲಿ, ಮೊನೊಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಥರ್ಮಲ್ ಫೀಲ್ಡ್ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಪ್ರಾರಂಭಿಸಿ, ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನದ ಮುಖ್ಯ ತಯಾರಿಕೆಯ ವಿಧಾನಗಳು, ಅನುಕೂಲಗಳು ಮತ್ತು ಅನಾನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಲಾಗಿದೆ. ಈ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ, ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಥರ್ಮಲ್ ಫೀಲ್ಡ್ ಸಾಮಗ್ರಿಗಳಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನದ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಮತ್ತು ಸಂಶೋಧನೆಯ ಪ್ರಗತಿಯನ್ನು ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಥರ್ಮಲ್ ಫೀಲ್ಡ್ ವಸ್ತುಗಳ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳ ಪ್ರಕಾರ ಪರಿಶೀಲಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಇಂಗಾಲ/ಇಂಗಾಲದ ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರದ ವಸ್ತುಗಳ ಮೇಲ್ಮೈ ಲೇಪನ ರಕ್ಷಣೆಗಾಗಿ ಸಲಹೆಗಳು ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ನಿರ್ದೇಶನಗಳನ್ನು ಪರಿಶೀಲಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಮುಂದಿಡಲಾಗುತ್ತದೆ.
1 ತಯಾರಿಕೆಯ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಲೇಪನ
1.1 ಎಂಬೆಡಿಂಗ್ ವಿಧಾನ
ಸಿ/ಸಿ-ಸಿಕ್ ಸಂಯುಕ್ತ ವಸ್ತು ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಲ್ಲಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್‌ನ ಒಳ ಲೇಪನವನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಎಂಬೆಡಿಂಗ್ ವಿಧಾನವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ವಿಧಾನವು ಮೊದಲು ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಸಂಯೋಜಿತ ವಸ್ತುವನ್ನು ಕಟ್ಟಲು ಮಿಶ್ರಿತ ಪುಡಿಯನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ನಂತರ ಒಂದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಶಾಖ ಚಿಕಿತ್ಸೆಯನ್ನು ನಡೆಸುತ್ತದೆ. ಮಿಶ್ರಿತ ಪುಡಿ ಮತ್ತು ಮಾದರಿಯ ಮೇಲ್ಮೈ ನಡುವೆ ಲೇಪನವನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ಸಂಕೀರ್ಣ ಭೌತ-ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆಗಳ ಸರಣಿ ಸಂಭವಿಸುತ್ತದೆ. ಇದರ ಪ್ರಯೋಜನವೆಂದರೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸರಳವಾಗಿದೆ, ಕೇವಲ ಒಂದು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ದಟ್ಟವಾದ, ಬಿರುಕು-ಮುಕ್ತ ಮ್ಯಾಟ್ರಿಕ್ಸ್ ಸಂಯೋಜಿತ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಬಹುದು; ಪೂರ್ವರೂಪದಿಂದ ಅಂತಿಮ ಉತ್ಪನ್ನಕ್ಕೆ ಸಣ್ಣ ಗಾತ್ರ ಬದಲಾವಣೆ; ಯಾವುದೇ ಫೈಬರ್ ಬಲವರ್ಧಿತ ರಚನೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ; ಲೇಪನ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ನಡುವೆ ಒಂದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಸಂಯೋಜನೆಯ ಗ್ರೇಡಿಯಂಟ್ ಅನ್ನು ರಚಿಸಬಹುದು, ಇದು ತಲಾಧಾರದೊಂದಿಗೆ ಚೆನ್ನಾಗಿ ಸಂಯೋಜಿಸಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆಯು ಫೈಬರ್ ಅನ್ನು ಹಾನಿಗೊಳಿಸುವಂತಹ ಅನಾನುಕೂಲಗಳು ಮತ್ತು ಕಾರ್ಬನ್/ಕಾರ್ಬನ್ ಮ್ಯಾಟ್ರಿಕ್ಸ್ನ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಕ್ಷೀಣಿಸುತ್ತವೆ. ಲೇಪನದ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುವುದು ಕಷ್ಟ, ಗುರುತ್ವಾಕರ್ಷಣೆಯಂತಹ ಅಂಶಗಳಿಂದಾಗಿ, ಇದು ಲೇಪನವನ್ನು ಅಸಮಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
1.2 ಸ್ಲರಿ ಲೇಪನ ವಿಧಾನ
ಸ್ಲರಿ ಲೇಪನ ವಿಧಾನವೆಂದರೆ ಲೇಪನ ವಸ್ತು ಮತ್ತು ಬೈಂಡರ್ ಅನ್ನು ಮಿಶ್ರಣಕ್ಕೆ ಬೆರೆಸಿ, ಮ್ಯಾಟ್ರಿಕ್ಸ್ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಸಮವಾಗಿ ಬ್ರಷ್ ಮಾಡಿ, ಜಡ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ಒಣಗಿದ ನಂತರ, ಲೇಪಿತ ಮಾದರಿಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸಿಂಟರ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಲೇಪನವನ್ನು ಪಡೆಯಬಹುದು. ಪ್ರಯೋಜನಗಳೆಂದರೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸರಳ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಲು ಸುಲಭವಾಗಿದೆ, ಮತ್ತು ಲೇಪನದ ದಪ್ಪವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ಸುಲಭವಾಗಿದೆ; ಅನನುಕೂಲವೆಂದರೆ ಲೇಪನ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ನಡುವೆ ಕಳಪೆ ಬಂಧದ ಬಲವಿದೆ, ಮತ್ತು ಲೇಪನದ ಉಷ್ಣ ಆಘಾತದ ಪ್ರತಿರೋಧವು ಕಳಪೆಯಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಲೇಪನದ ಏಕರೂಪತೆಯು ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ.
1.3 ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ವಿಧಾನ
ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ(CVR) ವಿಧಾನವು ಒಂದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಘನ ಸಿಲಿಕಾನ್ ವಸ್ತುವನ್ನು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆವಿಯಾಗಿ ಆವಿಯಾಗುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ವಿಧಾನವಾಗಿದೆ, ಮತ್ತು ನಂತರ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆವಿಯು ಮ್ಯಾಟ್ರಿಕ್ಸ್ನ ಒಳ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ಹರಡುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಅನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲು ಮ್ಯಾಟ್ರಿಕ್ಸ್‌ನಲ್ಲಿ ಇಂಗಾಲದೊಂದಿಗೆ ಸಿಟುನಲ್ಲಿ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಿಸುತ್ತದೆ. ಇದರ ಅನುಕೂಲಗಳು ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿ ಏಕರೂಪದ ವಾತಾವರಣ, ಸ್ಥಿರವಾದ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ದರ ಮತ್ತು ಎಲ್ಲೆಡೆ ಲೇಪಿತ ವಸ್ತುಗಳ ಠೇವಣಿ ದಪ್ಪ; ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸರಳ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸಲು ಸುಲಭವಾಗಿದೆ, ಮತ್ತು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆವಿಯ ಒತ್ತಡ, ಶೇಖರಣೆ ಸಮಯ ಮತ್ತು ಇತರ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುವ ಮೂಲಕ ಲೇಪನದ ದಪ್ಪವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದು. ಅನನುಕೂಲವೆಂದರೆ ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿನ ಸ್ಥಾನದಿಂದ ಮಾದರಿಯು ಹೆಚ್ಚು ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕುಲುಮೆಯಲ್ಲಿನ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆವಿಯ ಒತ್ತಡವು ಸೈದ್ಧಾಂತಿಕ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ತಲುಪಲು ಸಾಧ್ಯವಿಲ್ಲ, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಅಸಮ ಲೇಪನ ದಪ್ಪವಾಗುತ್ತದೆ.
1.4 ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ ವಿಧಾನ
ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ (CVD) ಒಂದು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಾಗಿದ್ದು, ಇದರಲ್ಲಿ ಹೈಡ್ರೋಕಾರ್ಬನ್‌ಗಳನ್ನು ಅನಿಲ ಮೂಲವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ರಿಯಾಕ್ಟರ್‌ಗೆ ಮಿಶ್ರ ಅನಿಲಗಳನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಲು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ N2/Ar ಅನ್ನು ವಾಹಕ ಅನಿಲವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹೈಡ್ರೋಕಾರ್ಬನ್‌ಗಳನ್ನು ಕೊಳೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ, ಸಂಶ್ಲೇಷಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಪ್ರಸರಣ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ, ಹೀರಿಕೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಪರಿಹರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಇಂಗಾಲ/ಕಾರ್ಬನ್ ಸಂಯುಕ್ತ ವಸ್ತುಗಳ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಘನ ಚಿತ್ರಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಒತ್ತಡ. ಇದರ ಪ್ರಯೋಜನವೆಂದರೆ ಲೇಪನದ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದು; ಇದು ಕೆಲಸಕ್ಕೆ ಸಹ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ-ಹೆಚ್ಚು ಸಂಕೀರ್ಣ ಆಕಾರವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ತುಂಡು; ಶೇಖರಣಾ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಸರಿಹೊಂದಿಸುವ ಮೂಲಕ ಉತ್ಪನ್ನದ ಸ್ಫಟಿಕದ ರಚನೆ ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ರೂಪವಿಜ್ಞಾನವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಬಹುದು. ಅನನುಕೂಲವೆಂದರೆ ಠೇವಣಿ ಪ್ರಮಾಣವು ತುಂಬಾ ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಸಂಕೀರ್ಣವಾಗಿದೆ, ಉತ್ಪಾದನಾ ವೆಚ್ಚವು ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಬಿರುಕುಗಳು, ಜಾಲರಿ ದೋಷಗಳು ಮತ್ತು ಮೇಲ್ಮೈ ದೋಷಗಳಂತಹ ಲೇಪನ ದೋಷಗಳು ಇರಬಹುದು.
ಸಾರಾಂಶದಲ್ಲಿ, ಎಂಬೆಡಿಂಗ್ ವಿಧಾನವು ಅದರ ತಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳಿಗೆ ಸೀಮಿತವಾಗಿದೆ, ಇದು ಪ್ರಯೋಗಾಲಯ ಮತ್ತು ಸಣ್ಣ-ಗಾತ್ರದ ವಸ್ತುಗಳ ಅಭಿವೃದ್ಧಿ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ; ಅದರ ಕಳಪೆ ಸ್ಥಿರತೆಯಿಂದಾಗಿ ಸಾಮೂಹಿಕ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಲೇಪನ ವಿಧಾನವು ಸೂಕ್ತವಲ್ಲ. CVR ವಿಧಾನವು ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಸಾಮೂಹಿಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ, ಆದರೆ ಇದು ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ತಂತ್ರಜ್ಞಾನಕ್ಕೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. CVD ವಿಧಾನವು ತಯಾರಿಸಲು ಸೂಕ್ತವಾದ ವಿಧಾನವಾಗಿದೆSIC ಲೇಪನ, ಆದರೆ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ನಿಯಂತ್ರಣದಲ್ಲಿ ಅದರ ತೊಂದರೆಯಿಂದಾಗಿ ಅದರ ವೆಚ್ಚವು CVR ವಿಧಾನಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಫೆಬ್ರವರಿ-22-2024