VET ಶಕ್ತಿPECVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಾಹಕವು PECVD (ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ವರ್ಧಿತ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ) ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ಉಪಭೋಗ್ಯವಾಗಿದೆ. ಈ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಾಹಕವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ, ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ, ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಇತರ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ, PECVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಸ್ಥಿರವಾದ ವಾಹಕ ವೇದಿಕೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ನ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಚಪ್ಪಟೆತನವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ. ನಿಕ್ಷೇಪ.
PECVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಾಗಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಾಹಕಗಳು ಈ ಕೆಳಗಿನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ:
▪ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ: ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಅಶುದ್ಧತೆ, ಚಿತ್ರದ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸುವುದು ಮತ್ತು ಚಿತ್ರದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುವುದು.
▪ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆ: ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡದ PECVD ಪರಿಸರವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುವ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ.
▪ ಉತ್ತಮ ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆ: ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸಣ್ಣ ಆಯಾಮದ ಬದಲಾವಣೆ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಾತ್ರಿಪಡಿಸುವುದು.
▪ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ: ವೇಫರ್ ಅಧಿಕ ಬಿಸಿಯಾಗುವುದನ್ನು ತಡೆಯಲು ಶಾಖವನ್ನು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ವರ್ಗಾಯಿಸಿ.
▪ ಬಲವಾದ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ: ವಿವಿಧ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದಿಂದ ಸವೆತವನ್ನು ವಿರೋಧಿಸಲು ಸಾಧ್ಯವಾಗುತ್ತದೆ.
▪ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ಸೇವೆ: ವಿಭಿನ್ನ ಗಾತ್ರಗಳು ಮತ್ತು ಆಕಾರಗಳ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಾಹಕಗಳನ್ನು ಗ್ರಾಹಕರ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದು.
SGL ನಿಂದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಸ್ತು:
ವಿಶಿಷ್ಟ ನಿಯತಾಂಕ: R6510 | |||
ಸೂಚ್ಯಂಕ | ಪರೀಕ್ಷಾ ಮಾನದಂಡ | ಮೌಲ್ಯ | ಘಟಕ |
ಸರಾಸರಿ ಧಾನ್ಯದ ಗಾತ್ರ | ISO 13320 | 10 | μm |
ಬೃಹತ್ ಸಾಂದ್ರತೆ | ಡಿಐಎನ್ ಐಇಸಿ 60413/204 | 1.83 | ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ3 |
ತೆರೆದ ಸರಂಧ್ರತೆ | DIN66133 | 10 | % |
ಮಧ್ಯಮ ರಂಧ್ರದ ಗಾತ್ರ | DIN66133 | 1.8 | μm |
ಪ್ರವೇಶಸಾಧ್ಯತೆ | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
ರಾಕ್ವೆಲ್ ಗಡಸುತನ HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ವಿದ್ಯುತ್ ಪ್ರತಿರೋಧ | ಡಿಐಎನ್ ಐಇಸಿ 60413/402 | 13 | μΩm |
ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | ಡಿಐಎನ್ ಐಇಸಿ 60413/501 | 60 | ಎಂಪಿಎ |
ಸಂಕುಚಿತ ಶಕ್ತಿ | DIN 51910 | 130 | ಎಂಪಿಎ |
ಯಂಗ್ಸ್ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | DIN 51915 | 11.5×10³ | ಎಂಪಿಎ |
ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ಇದನ್ನು ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯ ಸೌರ ಕೋಶ ತಯಾರಿಕೆಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದೆ, G12 ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ. ಆಪ್ಟಿಮೈಸ್ಡ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ವಿನ್ಯಾಸವು ಥ್ರೋಪುಟ್ ಅನ್ನು ಗಣನೀಯವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಇಳುವರಿ ದರಗಳು ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಉತ್ಪಾದನಾ ವೆಚ್ಚಗಳನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
ಐಟಂ | ಟೈಪ್ ಮಾಡಿ | ಸಂಖ್ಯೆ ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ |
PEVCD ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ - 156 ಸರಣಿ | 156-13 ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 144 |
156-19 ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 216 | |
156-21 ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 240 | |
156-23 ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 308 | |
PEVCD ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ - 125 ಸರಣಿ | 125-15 ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 196 |
125-19 ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 252 | |
125-21 ಗ್ರಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 280 |