ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಸ್ತುಗಳ ಅಗತ್ಯತೆಗಳ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚು, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ನ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಕಣಗಳ ಗಾತ್ರವು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿ, ಸಣ್ಣ ನಷ್ಟ ಮತ್ತು ಇತರ ಪ್ರಯೋಜನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ: ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಅಚ್ಚು.ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಬಳಸುವ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಉಪಕರಣಗಳು (ಹೀಟರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಅವುಗಳ ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಡೈಗಳು ಸೇರಿದಂತೆ) ಪುನರಾವರ್ತಿತ ತಾಪನ ಮತ್ತು ತಂಪಾಗಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುವ ಅವಶ್ಯಕತೆಯಿದೆ, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಉಪಕರಣಗಳ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸಲು, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಸ್ತುಗಳು ಸ್ಥಿರವಾದ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರಬೇಕು. ಮತ್ತು ಶಾಖ ನಿರೋಧಕ ಪ್ರಭಾವದ ಕಾರ್ಯ.
01 ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಗೆ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬಿಡಿಭಾಗಗಳು
ಅರೆವಾಹಕ ಹರಳುಗಳನ್ನು ಬೆಳೆಯಲು ಬಳಸುವ ಎಲ್ಲಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ ಪರಿಸರದಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ. ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಕುಲುಮೆಯ ಬಿಸಿ ವಲಯವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಶಾಖ-ನಿರೋಧಕ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು-ನಿರೋಧಕ ಉನ್ನತ-ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುತ್ತದೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಹೀಟರ್, ಕ್ರೂಸಿಬಲ್, ಇನ್ಸುಲೇಶನ್ ಸಿಲಿಂಡರ್, ಗೈಡ್ ಸಿಲಿಂಡರ್, ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್, ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ಹೋಲ್ಡರ್, ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ನಟ್, ಇತ್ಯಾದಿ.
ನಾವು ಸ್ಫಟಿಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಧನಗಳ ಎಲ್ಲಾ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಭಾಗಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಬಹುದು, ಅದನ್ನು ಪ್ರತ್ಯೇಕವಾಗಿ ಅಥವಾ ಸೆಟ್ಗಳಲ್ಲಿ ಪೂರೈಸಬಹುದು ಅಥವಾ ಗ್ರಾಹಕರ ಅಗತ್ಯತೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ವಿವಿಧ ಗಾತ್ರದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಭಾಗಗಳನ್ನು ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದು. ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಗಾತ್ರವನ್ನು ಸೈಟ್ನಲ್ಲಿ ಅಳೆಯಬಹುದು, ಮತ್ತು ಸಿದ್ಧಪಡಿಸಿದ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಬೂದಿ ಅಂಶವು ಕಡಿಮೆಯಾಗಿರಬಹುದು5ppm ಗಿಂತ
02 ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಗಾಗಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬಿಡಿಭಾಗಗಳು
ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ತಲಾಧಾರದಂತೆಯೇ ಅದೇ ಲ್ಯಾಟಿಸ್ ಜೋಡಣೆಯೊಂದಿಗೆ ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ವಸ್ತುಗಳ ಪದರದ ಬೆಳವಣಿಗೆಯನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಡಿಸ್ಕ್ನಲ್ಲಿ ಲೋಡ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಡಿಸ್ಕ್ನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟವು ವೇಫರ್ನ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪದರದ ಗುಣಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ, ಬಹಳಷ್ಟು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಮತ್ತು SIC ಲೇಪನದೊಂದಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೇಸ್ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಗಾಗಿ ನಮ್ಮ ಕಂಪನಿಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೇಸ್ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗಬಹುದು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ, ಏಕರೂಪದ ಲೇಪನ, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಸೇವಾ ಜೀವನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.
03 ಅಯಾನ್ ಅಳವಡಿಕೆಗಾಗಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬಿಡಿಭಾಗಗಳು
ಅಯಾನು ಅಳವಡಿಕೆಯು ಬೋರಾನ್, ರಂಜಕ ಮತ್ತು ಆರ್ಸೆನಿಕ್ನ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಕಿರಣವನ್ನು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಶಕ್ತಿಗೆ ವೇಗಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಂತರ ಮೇಲ್ಮೈ ಪದರದ ವಸ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸಲು ವೇಫರ್ ವಸ್ತುವಿನ ಮೇಲ್ಮೈ ಪದರಕ್ಕೆ ಚುಚ್ಚುತ್ತದೆ. ಅಯಾನು ಅಳವಡಿಕೆ ಸಾಧನದ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಶಾಖ ನಿರೋಧಕತೆ, ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ, ಅಯಾನು ಕಿರಣದಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಕಡಿಮೆ ತುಕ್ಕು ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಅಶುದ್ಧತೆಯ ಅಂಶದೊಂದಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ. ಉನ್ನತ-ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಯಾನು ಅಳವಡಿಸುವ ಉಪಕರಣಗಳ ಫ್ಲೈಟ್ ಟ್ಯೂಬ್, ವಿವಿಧ ಸೀಳುಗಳು, ವಿದ್ಯುದ್ವಾರಗಳು, ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ಕವರ್ಗಳು, ವಾಹಕಗಳು, ಬೀಮ್ ಟರ್ಮಿನೇಟರ್ಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳಿಗೆ ಬಳಸಬಹುದು.
ನಾವು ವಿವಿಧ ಅಯಾನು ಅಳವಡಿಕೆ ಯಂತ್ರಗಳಿಗೆ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ರಕ್ಷಾಕವಚವನ್ನು ಒದಗಿಸುವುದು ಮಾತ್ರವಲ್ಲದೆ, ವಿವಿಧ ವಿಶೇಷಣಗಳ ಹೆಚ್ಚಿನ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯೊಂದಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಿದ್ಯುದ್ವಾರಗಳು ಮತ್ತು ಅಯಾನು ಮೂಲಗಳನ್ನು ಸಹ ಒದಗಿಸಬಹುದು. ಅನ್ವಯವಾಗುವ ಮಾದರಿಗಳು: ಈಟನ್, ಅಜ್ಸೆಲಿಸ್, ಕ್ವಾಟಮ್, ವೇರಿಯನ್, ನಿಸ್ಸಿನ್, AMAT, LAM ಮತ್ತು ಇತರ ಉಪಕರಣಗಳು. ಜೊತೆಗೆ, ನಾವು ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ಸೆರಾಮಿಕ್, ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್, ಮಾಲಿಬ್ಡಿನಮ್, ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು ಮತ್ತು ಲೇಪಿತ ಭಾಗಗಳನ್ನು ಸಹ ಒದಗಿಸಬಹುದು.
04 ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ನಿರೋಧನ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಇತರರು
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಉಷ್ಣ ನಿರೋಧನ ಸಾಮಗ್ರಿಗಳು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಗಟ್ಟಿಯಾದ ಭಾವನೆ, ಮೃದುವಾದ ಭಾವನೆ, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫಾಯಿಲ್, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಪೇಪರ್ ಮತ್ತು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಹಗ್ಗವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿವೆ.
ನಮ್ಮ ಎಲ್ಲಾ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಆಮದು ಮಾಡಿಕೊಳ್ಳಲಾಗುತ್ತದೆ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್, ಗ್ರಾಹಕರ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಗಾತ್ರಕ್ಕೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಕತ್ತರಿಸಬಹುದು ಅಥವಾ ಒಟ್ಟಾರೆಯಾಗಿ ಮಾರಾಟ ಮಾಡಬಹುದು.
ಕಾರ್ಬನ್-ಕಾರ್ಬನ್ ಟ್ರೇ ಅನ್ನು ಸೌರ ಮೊನೊಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮತ್ತು ಪಾಲಿಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕೋಶಗಳ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಫಿಲ್ಮ್ ಲೇಪನಕ್ಕಾಗಿ ವಾಹಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಕೆಲಸದ ತತ್ವವೆಂದರೆ: ಸಿಲಿಕಾನ್ ಚಿಪ್ ಅನ್ನು CFC ಟ್ರೇಗೆ ಸೇರಿಸಿ ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಮ್ ಲೇಪನವನ್ನು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೊಳಿಸಲು ಅದನ್ನು ಕುಲುಮೆಯ ಕೊಳವೆಗೆ ಕಳುಹಿಸಿ.