ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಎಪಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬ್ಯಾರೆಲ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್

ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಎಪಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬ್ಯಾರೆಲ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್

ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಎಪಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬ್ಯಾರೆಲ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್ಠೇವಣಿ ಅಥವಾ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಂತಹ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಲಾಧಾರಗಳನ್ನು ಹಿಡಿದಿಡಲು ಮತ್ತು ಬಿಸಿಮಾಡಲು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಬೆಂಬಲ ಮತ್ತು ತಾಪನ ಸಾಧನವಾಗಿದೆ.

ಇದರ ರಚನೆಯು ವಿಶಿಷ್ಟವಾಗಿ ಸಿಲಿಂಡರಾಕಾರದ ಅಥವಾ ಸ್ವಲ್ಪ ಬ್ಯಾರೆಲ್-ಆಕಾರವನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿರುತ್ತದೆ, ಮೇಲ್ಮೈ ವೈಶಿಷ್ಟ್ಯಗಳು ಬಹು ಪಾಕೆಟ್‌ಗಳು ಅಥವಾ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಇರಿಸಲು ವೇದಿಕೆಗಳು, ತಾಪನ ವಿಧಾನವನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿ ಘನ ಅಥವಾ ಟೊಳ್ಳಾದ ವಿನ್ಯಾಸವಾಗಿರಬಹುದು.

ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬ್ಯಾರೆಲ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್‌ನ ಮುಖ್ಯ ಕಾರ್ಯಗಳು:

-ತಲಾಧಾರ ಬೆಂಬಲ: ಬಹು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ವೇಫರ್‌ಗಳನ್ನು ಸುರಕ್ಷಿತವಾಗಿ ಹಿಡಿದಿಟ್ಟುಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ;
ಶಾಖದ ಮೂಲ: ತಾಪನದ ಮೂಲಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಗೆ ಅಗತ್ಯವಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ;
-ತಾಪಮಾನದ ಏಕರೂಪತೆ: ತಲಾಧಾರಗಳ ಏಕರೂಪದ ತಾಪನವನ್ನು ಖಾತ್ರಿಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ;
-ತಿರುಗುವಿಕೆ: ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಅನಿಲ ವಿತರಣೆಯ ಏಕರೂಪತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ತಿರುಗುತ್ತದೆ.

ಎಪಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬ್ಯಾರೆಲ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್‌ನ ಕಾರ್ಯ ತತ್ವ:
- ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ರಿಯಾಕ್ಟರ್‌ನಲ್ಲಿ, ಬ್ಯಾರೆಲ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್ ಅನ್ನು ಅಗತ್ಯವಾದ ತಾಪಮಾನಕ್ಕೆ ಬಿಸಿಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ (ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಗಾಗಿ 1000℃-1200℃);
ಏಕರೂಪದ ತಾಪಮಾನ ವಿತರಣೆ ಮತ್ತು ಅನಿಲ ಹರಿವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಲು ಬ್ಯಾರೆಲ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್ ತಿರುಗುತ್ತದೆ;
-ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಅನಿಲಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಕೊಳೆಯುತ್ತವೆ, ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪದರಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತವೆ.

ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳು:
-ಪ್ರಾಥಮಿಕವಾಗಿ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಗೆ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ
-GAs, InP, ಇತ್ಯಾದಿ ಇತರ ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಗೆ ಸಹ ಅನ್ವಯಿಸುತ್ತದೆ.

VET ಶಕ್ತಿಯು ರಾಸಾಯನಿಕ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು CVD-SiC ಲೇಪನದೊಂದಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ:

VET ಎನರ್ಜಿ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಎಪಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬ್ಯಾರೆಲ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್‌ನ ಪ್ರಯೋಜನಗಳು:

- ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆ;
- ಉತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಏಕರೂಪತೆ;
- ಬಹು ತಲಾಧಾರಗಳನ್ನು ಏಕಕಾಲದಲ್ಲಿ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೊಳಿಸಬಹುದು, ಉತ್ಪಾದನಾ ದಕ್ಷತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಬಹುದು;
-ರಾಸಾಯನಿಕವಾಗಿ ನಿಷ್ಕ್ರಿಯ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ವಾತಾವರಣವನ್ನು ನಿರ್ವಹಿಸುವುದು.