ភាពបរិសុទ្ធនៃម្សៅ SiC នឹងជះឥទ្ធិពលដោយផ្ទាល់ទៅលើគុណភាព និងដំណើរការនៃគ្រីស្តាល់ SiC តែមួយដែលដាំដុះដោយវិធីសាស្ត្រ PVT ហើយវត្ថុធាតុដើមសម្រាប់រៀបចំម្សៅ SiC គឺម្សៅ SiC ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងម្សៅ C ដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ហើយភាពបរិសុទ្ធនៃម្សៅ C នឹងប៉ះពាល់ដោយផ្ទាល់ទៅលើ ភាពបរិសុទ្ធនៃម្សៅ SiC ។
វត្ថុធាតុដើមដែលប្រើក្នុងការផលិតទឹកថ្នាំ ជាធម្មតារួមមាន ក្រាហ្វិចហ្វ្លក កូកាកូឡា និងទឹកថ្នាំថ្មមីក្រូគ្រីស្តាល់។ ភាពបរិសុទ្ធនៃក្រាហ្វីតកាន់តែខ្ពស់ តម្លៃប្រើប្រាស់កាន់តែខ្ពស់។ វិធីសាស្រ្តបន្សុតក្រាហ្វិចអាចបែងចែកជាវិធីសាស្ត្ររូបវន្ត និងវិធីសាស្ត្រគីមី។ វិធីសាស្ត្របន្សុតរាងកាយ រួមមានការបន្សុត និងការបន្សុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ហើយវិធីសាស្ត្របន្សុតគីមីរួមមាន វិធីសាស្ត្រអាស៊ីត-មូលដ្ឋាន វិធីសាស្ត្រអាស៊ីត hydrofluoric និងវិធីសាស្ត្រដុតក្លរួ។ ក្នុងចំនោមពួកគេ វិធីសាស្ត្របន្សុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់អាចប្រើប្រាស់ចំណុចរលាយខ្ពស់ (3773K) និងចំណុចរំពុះនៃក្រាហ្វិត ដើម្បីសម្រេចបាននូវភាពបរិសុទ្ធ 4N5 និងភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ដែលពាក់ព័ន្ធនឹងការហួត និងការបំភាយសារធាតុកខ្វក់ដែលមានចំណុចរំពុះទាប ដើម្បីសម្រេចបាននូវគោលបំណងនៃ ការបន្សុត [6] ។ បច្ចេកវិទ្យាសំខាន់នៃទឹកថ្នាំដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ គឺការកម្ចាត់ចោលនូវសារធាតុមិនបរិសុទ្ធ។ រួមផ្សំជាមួយនឹងលក្ខណៈនៃការបន្សុតគីមី និងការបន្សុតសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដំណើរការបន្សុតកម្ដៅកម្ដៅខ្ពស់ដែលមានសមាសធាតុផ្សំតែមួយគត់ត្រូវបានអនុម័ត ដើម្បីសម្រេចបាននូវការបន្សុតនៃវត្ថុធាតុទឹកថ្នាំដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ហើយភាពបរិសុទ្ធនៃផលិតផលអាចមានលើសពី 6N ។
មុខងារ និងមុខងារផលិតផល៖
1, ភាពបរិសុទ្ធនៃផលិតផល≥99.9999% (6N);
2, ស្ថេរភាពម្សៅកាបូននៃភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់, កម្រិតខ្ពស់នៃក្រាហ្វិច, ភាពមិនបរិសុទ្ធតិច;
3, granularity និងប្រភេទអាចត្រូវបានប្ដូរតាមបំណងបើយោងតាមអ្នកប្រើប្រាស់។
ការប្រើប្រាស់ផលិតផលសំខាន់ៗ៖
■ ការសំយោគម្សៅ SiC ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងសម្ភារៈកាបូនសំយោគដំណាក់កាលរឹងផ្សេងទៀត។
■ ដាំពេជ្រ
■ សម្ភារៈចរន្តកំដៅថ្មីសម្រាប់ផលិតផលអេឡិចត្រូនិច
■ សម្ភារៈ cathode ថ្មលីចូមកម្រិតខ្ពស់
■ សមាសធាតុលោហៈដ៏មានតម្លៃក៏ជាវត្ថុធាតុដើមផងដែរ។
