VET Energy silicon carbide (SiC) epitaxial wafer គឺជាសម្ភារៈ semiconductor bandgap ដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ ជាមួយនឹងភាពធន់ទ្រាំនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ប្រេកង់ខ្ពស់ និងលក្ខណៈថាមពលខ្ពស់។ វាគឺជាស្រទាប់ខាងក្រោមដ៏ល្អសម្រាប់ឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិចថាមពលជំនាន់ថ្មី។ VET Energy ប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យា MOCVD epitaxial កម្រិតខ្ពស់ដើម្បីពង្រីកស្រទាប់ SiC epitaxial ដែលមានគុណភាពខ្ពស់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម SiC ធានានូវដំណើរការដ៏ល្អឥតខ្ចោះ និងស្ថិរភាពនៃ wafer ។
Silicon Carbide (SiC) Epitaxial Wafer របស់យើងផ្តល់នូវភាពឆបគ្នាដ៏ល្អជាមួយនឹងសម្ភារៈ semiconductor ជាច្រើនប្រភេទ រួមមាន Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer និង SiN Substrate ។ ជាមួយនឹងស្រទាប់ epitaxial ដ៏រឹងមាំរបស់វា វាគាំទ្រដំណើរការកម្រិតខ្ពស់ដូចជា Epi Wafer ការលូតលាស់ និងការរួមបញ្ចូលជាមួយសម្ភារៈដូចជា Gallium Oxide Ga2O3 និង AlN Wafer ដែលធានាបាននូវការប្រើប្រាស់បានច្រើនតាមបច្ចេកវិទ្យាផ្សេងៗគ្នា។ ត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីឱ្យត្រូវគ្នាជាមួយនឹងប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រង Cassette ស្តង់ដារឧស្សាហកម្ម វាធានានូវប្រតិបត្តិការប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព និងសម្រួលនៅក្នុងបរិយាកាសផលិតគ្រឿងអេឡិចត្រូនិក។
ខ្សែផលិតផលរបស់ VET Energy មិនត្រូវបានកំណត់ចំពោះ SiC epitaxial wafers ទេ។ យើងក៏ផ្តល់នូវសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម semiconductor ជាច្រើនប្រភេទផងដែរ រួមមាន Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer. Wafer ដើម្បីបំពេញតាមតម្រូវការរបស់ឧស្សាហកម្មអេឡិចត្រូនិចថាមពលនាពេលអនាគតសម្រាប់ឧបករណ៍ដែលដំណើរការខ្ពស់ជាងនេះ។
លក្ខណៈពិសេសនៃការវេរលុយ
*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=Semi-lnsulating
ធាតុ | ៨-អ៊ីញ | ៦-អ៊ីញ | ៤-អ៊ីញ | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Bow(GF3YFCD)-តម្លៃដាច់ខាត | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV (SBIR)-10mmx10mm | <2 μm | ||||
គែម Wafer | Beveling |
បញ្ចប់ផ្ទៃ
*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=Semi-lnsulating
ធាតុ | ៨-អ៊ីញ | ៦-អ៊ីញ | ៤-អ៊ីញ | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
ការបញ្ចប់ផ្ទៃ | ប៉ូឡូញអុបទិកចំហៀងទ្វេ, Si-មុខ CMP | ||||
ភាពរដុបលើផ្ទៃ | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
បន្ទះសៀគ្វីគែម | គ្មានការអនុញ្ញាត (ប្រវែង និងទទឹង≥0.5mm) | ||||
ចូលបន្ទាត់ | គ្មានការអនុញ្ញាតទេ។ | ||||
កោស (Si-Face) | Qty.≤5,បង្គរ | Qty.≤5,បង្គរ | Qty.≤5,បង្គរ | ||
ស្នាមប្រេះ | គ្មានការអនុញ្ញាតទេ។ | ||||
ការដកគែម | 3 ម។ |