ឧបករណ៍កំដៅសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបូន

វេត-ចិនសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបូនថ្នាំកូតគឺជាថ្នាំកូតការពារដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ដែលធ្វើពីរឹងខ្លាំង និងធន់នឹងការពាក់ស៊ីលីកុនកាបូអ៊ីដ (SiC)សម្ភារៈដែលផ្តល់នូវភាពធន់ទ្រាំនឹងការ corrosion គីមីដ៏ល្អឥតខ្ចោះនិងស្ថេរភាពសីតុណ្ហភាពខ្ពស់។ លក្ខណៈទាំងនេះមានសារៈសំខាន់ណាស់នៅក្នុងការផលិត semiconductor ដូច្នេះថ្នាំកូតសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបូនត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងសមាសធាតុសំខាន់ៗនៃឧបករណ៍ផលិត semiconductor ។

តួនាទីជាក់លាក់របស់វេតចិនសេរ៉ាមិចស៊ីលីកុនកាបូនថ្នាំកូតនៅក្នុងការផលិត semiconductor មានដូចខាងក្រោម:

បង្កើនភាពធន់នៃឧបករណ៍៖Silicon Carbide Ceramic Coating Silicon Carbide Ceramic Coating ផ្តល់នូវការការពារផ្ទៃដ៏ល្អសម្រាប់ឧបករណ៍ផលិត semiconductor ជាមួយនឹងភាពរឹងខ្ពស់ និងធន់នឹងការពាក់។ ជាពិសេសនៅក្នុងបរិយាកាសដំណើរការដែលមានសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងមានការច្រេះខ្លាំង ដូចជាការបញ្ចេញចំហាយគីមី (CVD) និងការឆ្លាក់ប្លាស្មា ថ្នាំកូតអាចការពារផ្ទៃរបស់ឧបករណ៍យ៉ាងមានប្រសិទ្ធភាពពីការបំផ្លាញដោយសំណឹកគីមី ឬការពាក់រាងកាយ ដោយហេតុនេះអាចពន្យារអាយុសេវាកម្មយ៉ាងសំខាន់។ គ្រឿងបរិក្ខារ និងកាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំដែលបណ្តាលមកពីការជំនួស និងជួសជុលញឹកញាប់។

ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពបរិសុទ្ធនៃដំណើរការ៖នៅក្នុងដំណើរការផលិត semiconductor ការចម្លងរោគតូចៗអាចបណ្តាលឱ្យខូចផលិតផល។ ភាពអសកម្មគីមីនៃ Silicon Carbide Ceramic Coating អនុញ្ញាតឱ្យវារក្សាស្ថិរភាពនៅក្រោមលក្ខខណ្ឌធ្ងន់ធ្ងរ ការពារសម្ភារៈពីការបញ្ចេញភាគល្អិត ឬភាពមិនបរិសុទ្ធ ដោយហេតុនេះធានាបាននូវភាពបរិសុទ្ធនៃបរិស្ថាននៃដំណើរការ។ នេះមានសារៈសំខាន់ជាពិសេសសម្រាប់ជំហានផលិតដែលទាមទារភាពជាក់លាក់ខ្ពស់ និងភាពស្អាតស្អំខ្ពស់ ដូចជា PECVD និងការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង។

បង្កើនប្រសិទ្ធភាពការគ្រប់គ្រងកម្ដៅ៖នៅក្នុងដំណើរការ semiconductor សីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដូចជាដំណើរការកំដៅរហ័ស (RTP) និងដំណើរការអុកស៊ីតកម្ម ចរន្តកំដៅខ្ពស់នៃ Silicon Carbide Ceramic Coating អនុញ្ញាតឱ្យមានការចែកចាយសីតុណ្ហភាពឯកសណ្ឋាននៅក្នុងឧបករណ៍។ នេះជួយកាត់បន្ថយភាពតានតឹងកម្ដៅ និងការខូចទ្រង់ទ្រាយសម្ភារៈដែលបណ្តាលមកពីការប្រែប្រួលសីតុណ្ហភាព ដោយហេតុនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពត្រឹមត្រូវនៃការផលិតផលិតផល និងស្ថិរភាព។

គាំទ្របរិស្ថានដំណើរការស្មុគស្មាញ៖នៅក្នុងដំណើរការដែលទាមទារការគ្រប់គ្រងបរិយាកាសស្មុគ្រស្មាញ ដូចជា ICP etching និង PSS etching process ស្ថេរភាព និងធន់នឹងអុកស៊ីតកម្មនៃ Silicon Carbide Ceramic Coating ធានាថាឧបករណ៍រក្សាបាននូវស្ថេរភាពក្នុងប្រតិបត្តិការរយៈពេលវែង កាត់បន្ថយហានិភ័យនៃការរិចរិលសម្ភារៈ ឬការខូចខាតឧបករណ៍ដោយសារ ទៅនឹងការផ្លាស់ប្តូរបរិស្ថាន។